特許6024698基板搬送用真空吸着アーム

発明の名称　基板搬送用真空吸着アーム

出願人　ウシオ電機株式会社　（識別番号 102212）

　　　　特許公開件数ランキング 262 位（128件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 414 位（64件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6024698

公報発行日　2016年11月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6024698

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6024698「基板搬送用真空吸着アーム」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録