特許6025250基板ケース洗浄装置

発明の名称　基板ケース洗浄装置

出願人　ヒューグルエレクトロニクス株式会社　（識別番号 591252781）

　　　　特許公開件数ランキング 14682 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12559 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6025250

公報発行日　2016年11月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6025250

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