特許第6027072号(P6027072)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」

▶ ブルックス オートメーション インコーポレイテッドの特許一覧

特許6027072複数の独立可動アームを伴う基板搬送装置