特許 6027601 ステータディスク

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6027601

(24)【登録日】2016年10月21日

(45)【発行日】2016年11月16日

(54)【発明の名称】ステータディスク

(51)【国際特許分類】

   F04D 19/04 20060101AFI20161107BHJP

【ＦＩ】

   F04D19/04 D

   F04D19/04 E

【請求項の数】11

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2014-250730(P2014-250730)

(22)【出願日】2014年12月11日

(65)【公開番号】特開2015-117699(P2015-117699A)

(43)【公開日】2015年6月25日

【審査請求日】2014年12月11日

(31)【優先権主張番号】10 2013 114 576.0

(32)【優先日】2013年12月19日

(33)【優先権主張国】DE

(73)【特許権者】

【識別番号】391043675

【氏名又は名称】プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー

(74)【代理人】

【識別番号】100069556

【弁理士】

【氏名又は名称】江崎 光史

(74)【代理人】

【識別番号】100111486

【弁理士】

【氏名又は名称】鍛冶澤 實

(74)【代理人】

【識別番号】100173521

【弁理士】

【氏名又は名称】篠原 淳司

(74)【代理人】

【識別番号】100153419

【弁理士】

【氏名又は名称】清田 栄章

(72)【発明者】

【氏名】フロリアン・バーダー

(72)【発明者】

【氏名】ゼンケ・ギルブリヒ

(72)【発明者】

【氏名】ヤン・ホフマン

【審査官】 所村 陽一

(56)【参考文献】

【文献】 登録実用新案第３１８３５７１（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２００４−３５３６５２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ０４Ｄ １９／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ターボ分子ポンプ（１０）の為のステータディスク（２６）であって、その際、ステータディスク（２６）が、部分リング形状に一つの平面内に延在し、そして内側リング（８４）および外側リング（８６）を有しており、これらがステータ羽根（８８）によって互いに接続されているステータディスク（２６）において、
ステータディスク（２６）を硬化させる硬化要素（９２，９８，１００）が、内側リング（８４）と外側リング（８６）の間に設けられており、
硬化要素（９２，９８，１００）が、少なくとも領域的に内側リング（８４）に沿っても延在していることを特徴とするステータディスク（２６）。

【請求項2】

硬化要素（９２，９８，１００）が、ステータ羽根（８８）に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のステータディスク（２６）。

【請求項3】

硬化要素が、条溝（９８）及び／又は曲げ部（１００）によって形成されていることを特徴とする請求項２に記載のステータディスク（２６）。

【請求項4】

硬化要素（９２，９８，１００）が、内側および外側リング（８４，８６）を接続する終端ウェブ（９６）に設けられていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のステータディスク（２６）。
（２６）。

【請求項5】

硬化要素（９２，９８，１００）が、少なくとも領域的に、外側リング（８６）に沿っても延在していることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のステータディスク（２６）。

【請求項6】

別のステータディスク（２６）への当接のために設けられるオーバーラップ領域内に設けられる硬化要素（９２，９８，１００）を特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載のステータディスク（２６）。

【請求項7】

ステータディスク（２６）が、１８０度よりも大きな角度領域、例えば１９０度の角度領域を覆うことを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載のステータディスク（２６）。

【請求項8】

硬化要素（９２，９８，１００）が、終端ウェブ（９６）に、および内側リング（８４）に設けられており、かつ全体的または連続的に形成されていることを特徴とする請求項１、および４から７のいずれか一項に記載のステータディスク（２６）。

【請求項9】

ステータディスク（２６）が、二つの終端ウェブ（９６）を有し、かつ硬化要素（９２，９８，１００）が、第一の終端ウェブ（９６）の領域から、内側リング（８４）を介して、第二の終端ウェブ（９６）の領域まで延在していることを特徴とする請求項１、および４から８のいずれか一項に記載のステータディスク（２６）。

【請求項10】

ターボ分子ポンプ（１０）の為に設けられたステータディスク（２６）を製造するための方法であって、このステータディスク（２６）が、部分リング形状に一つの平面内に延在しており、そして内側リング（８４）および外側リング（８６）を有しており、これらがステータ羽根（８８）によって互いに接続されている方法において、
ステータディスク（２６）を硬化させるための硬化要素（９２，９８，１００）が、内側リング（８４）と外側リング（８６）の間に形成され、硬化要素（９２，９８，１００）が、少なくとも領域的に内側リング（８４）に沿っても延在していることを特徴とする方法。

【請求項11】

請求項１から９に記載の少なくとも一つのステータディスク（２６）を有するターボ分子ポンプ（１０）。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ターボ分子ポンプのステータディスクに関する。該ステータディスクは、一平面内に部分リング形状に延在しており、かつ一つの内側リングと一つの外側リングを有する。これら内側リングと外側リングは複数のステータ羽根によって接続されている。

【背景技術】

【0002】

ターボ分子ポンプは、真空の発生のために使用される。これは例えば、電子顕微鏡または質量分析計のためのものである。その際、ガス粒子は、ターボ分子ポンプのローターディスクによって加速され、そしてステータディスクによって好ましい方向に向けられる。これによって真空を発生させる流れが生じる。この目的の為、ローターディスクもステータディスクも、ガス粒子を加速させるまたは他の方向に向ける平面に対して傾斜して立てられた複数の羽根を有している。

【0003】

ステータディスクは、ステータディスクがターボ分子ポンプ内に組み込まれるとき、通常スペーサーリングによって、その外側リングの領域中に固定されている。ステータディスクの内側リングの領域は、しかしながら固定されていない。特に、例えば、真空引きされた空間がターボ分子ポンプを通してオーバーフローする際に発生する可能性のある、ステータディスクの強い機械的負荷の際には、ステータディスクに、ねじりまたはたわみが生じ、これによって隣接するローターディスクと接触するに至る可能性がある。よって、所定の軸方向間隔をステータディスクおよびローターディスクの間に保つ必要がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】独国特許出願公開第１０２０１００５２６５９Ａ１号

【特許文献2】独国特許出願公開第１０２０１００５２６６０Ａ１号

【特許文献3】独国特許出願公開第１０２０１１１０８１１５Ａ１号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明の課題は、改善された強度を有する、ターボ分子ポンプの為のステータディスクを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

この課題は、請求項１に記載の特徴を有するステータディスク、そして特に、ステータディスクを硬化させる少なくとも一つの硬化要素が内側リングと外側リングの間に設けられていることにより解決される。

【0007】

その際、本発明は、ステータディスクのたわみが、例えば真空引きされた空間がオーバーフローする際に、内側リングの領域中で最大であるという知見に基づいている。外側リングの領域では、これと反対に、ステータディスクがスペーサーリングによって挟まれており、そしてそこでたわむことが出来ない。硬化要素を内側リングと外側リングの間に配置することによって、いうならば、スペーサーリングとステータディスクの外側リングが協働することによって、外側リングの領域に引き起こされる強度が、内側リングへと伝達される。換言すると、内側リングと外側リングの間に設けられた硬化要素によって、内側リングと外側リングの間の接続が硬化され、そして内側リングが支持される。このようにして、ステータディスクの軸方向のまげ強度が向上する。

【0008】

よって、硬化要素によって、負荷のもとでの内側リングのたわみが最小とされるので、ステータディスクとローターディスクの間の軸方向の間隔が減少されることが可能である。これによって、結果として、小型のターボ分子ポンプを製造することが可能である。

【0009】

本発明の有利な実施形は、下位の請求項、明細書および図面より見て取れる。

【0010】

有利な実施形に従い、硬化要素はステータ羽根に設けられている。ステータ羽根には、例えば少なくとも一つの独立して形成された硬化要素が取り付けられている、例えば接着されている、または溶接されていることが可能である。代替としてステータ羽根自体が、硬化要素を形成していることも可能である。これは、例えば凹形状または凸形状の湾曲が、設けられていることにより行われる。この湾曲はステータディスクの長さにわたって推移している。

【0011】

有利には、硬化要素は、条溝及び／又は曲げ部によって形成されている。ステータディスクが例えば、打ち抜き曲げ部材（独語でいうＳｔａｎｚｂｉｅｇｅｔｅｉｌ）として、特に一体式に薄板から製造されるとき、条溝及び／又は曲げ部の形成は、簡単に製造プロセス中に統合することができ、そして理想的には、一つの打ち抜き曲げステップで製造可能である。条溝に代えて、フランジ縁部（独語でいうＢｏｅｒｄｅｌｋａｎｔｅ）もまたは硬化要素として設けられることが可能である。

【0012】

代替として、硬化要素は、追加的にもたらされた材料によって形成されることが可能である。これは、例えば接着または溶接によってステータディスクに取り付けられる。

【0013】

特に有利には、硬化要素は、内側リングと外側リングを接続する終端ウェブに設けられる。終端ウェブは、その際、内側リングと外輪がリングの間に延在し、しかしステータ羽根として使用されず、よって、ステータディスクによって定義される平面内に位置している。

【0014】

特に、終端ウェブは、部分リング形状のステータディスクの一方の端部に設けられている。有利には、ステータディスクは、二つの終端ウェブによって半リング形状または半円形状に形成されている。ターボ分子ポンプの組立の際には、一つの完全なディスクを形成するために、二つの半円形状のステータディスクが組合せされる。その際、各二つの終端ウェブが互いに隣接している。

【0015】

硬化された終端ウェブをステータディスクの複数端部に設けることは、高い負荷にさらされる、特に内側リングの複数端部が効果的にたわみに対して保護されるという利点を有する。

【0016】

別の有利な実施形に従い、硬化要素は、少なくとも領域的に内側リングにも沿って延在している。このようにして、内側リング自体もたわみに対して保護される。同時に、内側リングが硬化要素によって厚くされることが可能であり、これによってステータディスクおよび隣接するローターディスクの間の軸方向の間隙が減少するという利点が生じる。減少されたクリアランスによって、アドミタンスが減少され、そしてポンピングすべき分子の逆流が防止される。

【0017】

特に、内側リングに沿って延在する硬化要素は、相並んで配置された二つの条溝によって形成されることが可能である。これによって、ステータディスクの雷文形状の断面または蛇行形状の断面がこの領域に生じる。

【0018】

別の有利な実施形に従い、硬化要素は少なくとも領域的に、外側リングにもそって延在している。ステータディスクは、これによって外側リングの領域においても追加的に硬化されることが可能である。

【0019】

ステータディスクは、半円形状に形成されていることが可能である。つまり１８０度の角度領域を有している。

【0020】

代替的な実施形に従い、ステータディスクは１８０度よりも大きな角度領域、例えば１９０度の角度領域を覆う。ターボ分子ポンプのローター軸を組み立てられた状態で取り囲む二つのステータディスクが、其々１９０度の角度領域を有して形成されているとき、これらステータディスクは、お互いの方を向いたそれらの端部において、１０度の各角度領域にわたって互いに重なり合って位置する、つまりオーバーラップし、これによってステータディスクの追加的な硬化が達成される。

【0021】

ステータディスクの軸方向のまげ強度は、ステータディスクが硬化要素を、別のステータディスクに当接するために設けられたオーバーラップ領域中に有するとき、更に向上する。例えば、オーバーラップ領域は終端ウェブによって形成されることが可能である。ステータディスクの組み立てられた状態で、二つのステータディスクのオーバーラップ領域は、追加的なステータディスクの硬化を生じさせるために、軸方向でみて重なり合って位置する。

【0022】

オーバーラップ領域中の硬化要素は、その上、これらが入り込み合って係合し、そしてステータディスクの位置が互いに一つの平面内で固定するよう形成されていることが可能である。

【0023】

特に有利には、硬化要素は、終端ウェブにも内側リングにも設けられ、そして全体にわたって形成されている。これによって、内側リングに作用する力は、極めて良好に、固定された外側リングによって保持される終端ウェブに伝達されることが可能である。このよういにして、内側リングは更に良好にたわみに対して保護される。

【0024】

同様に有利には、ステータディスクは、二つの終端ウェブを有している。その際、硬化要素は第一の終端ウェブの領域から、内側リングを介して、第二の終端ウェブの領域まで延在している。これによって内側リングに作用する力は、硬化要素によって二つの箇所において外側リングへと伝達されることが可能である。

【0025】

一般的に、上記すべての硬化要素は互いに組合せ可能であり、そして接続可能であり、そして特に全体にわたって形成可能である。

【0026】

本発明は更に、ターボ分子ポンプの為に設けられたステータディスクの製造のための方法を含む。これらステータディスクは部分リング形状に一つの平面内に延在しており、そして内側リングおよび外側リングを有する。これら内側リングおよび外側リングはステータ羽根によって互いに接続されている。この方法においては、ステータディスクを硬化させるための少なくとも一つの硬化要素が内側リングと外側リングの間に形成されている。例えば、一または複数の硬化要素、内側リングおよび外側リング、およびステータディスクの羽根が、一つのそして同一のプロセスステップ中に製造され、そしてこれによって特に経済的に製造されることが可能である。

【0027】

更に本発明は、上記形式の少なくとも一つのステータディスクを有するターボ分子ポンプに関する。これに対して、上述した利点およびステータディスクの発展形は相応して有効である。

【0028】

以下に本発明を、添付の図面を参照しつつ可能な実施形に基づいて説明する。図は以下を示している。

【図面の簡単な説明】

【0029】

【図1】発明に係るターボ分子ポンプの断面図。

【図2a】発明に係るステータディスクの第一の実施形を領域的に斜視図であらわした図。

【図2b】同じく上面図で表した図。

【図3】発明に係るステータディスクの第二の実施形を上面図であらわした図。

【図4】発明に係るステータディスクの第三の実施形を上面図であらわした図。

【図5】発明に係るステータディスクの第四の実施形を上面図であらわした図。

【図6】二つの隣接するローターディスクの間に置かれた、先行技術に従うステータディスクの配置の断面図。

【図7】二つの隣接するローターディスクの間に置かれた発明にかかるステータディスクの配置の断面図。

【発明を実施するための形態】

【0030】

図１に示されたターボ分子ポンプ１０は、インレットフランジ１２によって取り囲まれたポンプインレット１４と、ポンプインレット１４に至るガスを図１に表されていないポンプアウトレットに搬送するための複数のポンピングステージを有している。ターボ分子ポンプ１０のハウジング１６内には、回転軸２０を中心として回転可能に支承されたローター軸２２を有するローター１８が設けられている。

【0031】

ポンプ作用の発生のために、ターボ分子ポンプ１０は、ローター軸２２に固定された複数のローターディスク２４と、軸方向でローターディスク２４の間に配置されたステータディスク２６を有し、ポンプ効率よく互いに直列に接続されたターボ分子式のポンピングステージを有している。複数のステータディスク２６は、スペーサーリング２８によって、お互い所望の軸方向間隔に保持されている。

【0032】

更に、三つの半径方向で互いに入り込んで配置された、および互いにポンプ効率よく互いに直列に接続されたホルベックポンピングステージが設けられている。ホルベックポンピングステージのローター側の部分は、ローター軸２２と接続される一つのローターハブ３０と、これによって担持されるシリンダー側面形状のホルベックロータースリーブ３２，３４を有している。このホルベックロータースリーブは、回転軸２２に同軸に向けられており、半径方向で互いに入り込みあって接続されている。更に、二つのシリンダー側面形状のホルベックステータスリーブ３６，３８が設けられている。これらも同様に回転軸２２に同軸に向けられており、および半径方向で互いに入り込み合って接続されている。

【0033】

ホルベックポンピングステージのポンプ作用を発揮する表面は、各ホルベックロータースリーブ３２，３４とホルベックステータスリーブ３６，３８の、互いに一つの狭い半径方向のホルベック間隙を形成しつつ向かい合って位置する半径方向の各側面によって形成さている。その際、ポンプ作用を発揮する各表面はなめらかに形成されており、主としてホルベックロータースリーブ３２，３４のそれと、向かい合って位置するホルベックステータスリーブ３６，３８のポンプ作用を発揮する表面は、回転軸２２を中心としてねじ線形状に回って軸方向に推移する溝を有する構造化部分を有している。この中で、ガスがローター１８の回転の際に前方へと押しやられ、これによってポンピングを行われる。

【0034】

ローター軸２２の回転可能な支承は、ポンプアウトレットの領域中の転がり支承部４０によってと、ポンプインレット１４の領域中の永久磁石支承部４２によって実現される。

【0035】

永久磁石支承部４２は、ローター側の支承半部４４とステータ側の支承半部４６を有する。これらは、軸方向に互いに積層された永久磁石リング４８、５０から成る各一つのリング積層部を有している。その際、磁石リング４８，５０は半径方向の支承間隙５２を形成しつつ互いに向き合っている。

【0036】

磁石支承部４２は、緊急用または安全用支承部５４を設けられている。これは、潤滑なしの転がり支承部として形成されており、そしてターボ分子ポンプ１０の通常運転の間は非接触で空転し、そしてローター１８がステータに対して半径方向で過剰に移動すると、ローター１８のための半径方向のストッパーを形成するために、初めて介入するにいたる。このストッパーは、ローター側の構造のステータ側の構造による衝突を防止する。緊急用支承部５４は、これによってローター１８の最大の半径方向移動を定める。

【0037】

転がり支承部４０の領域には、ローター軸２２に一つのすい形のスプラッシュナット５６が設けられている。このスプラッシュナットは、転がり支承部４０に向かって増加する外直径を有している。スプラッシュナット５６は、互いに積層された吸収性の複数ディスク５８を有する作動媒体貯蔵部の少なくとも一つのスキマーとなめからな接触状態にある。これらは、作動媒体、例えば転がり支承部４０の潤滑剤を入れられている。

【0038】

ターボ分子ポンプ１０の運転中、作動媒体は、毛細管効果によって作動媒体貯蔵部からスキマーを介して回転するスプラッシュナット５６へと運ばれる。そして遠心力の結果、スプラッシュナットに沿って、スプラッシュナットの大きくなる外直径の方向へ転がり支承部４０に向かって搬送される。そこで、例えば潤滑機能を発揮する。

【0039】

ターボ分子ポンプ１０は、一つのモーター室６０を有している。この中に、ローター軸２２が延在している。モーター室６０は、ローター軸２２の進入の領域中でジーグバーンステージ（独語でいうＳｉｅｇｂａｈｎｓｔｕｆｅ）６２によって、ターボ分子ポンプ１０の作動または汲み上げ室（Ｓｃｈｏｅｐｆｒａｕｍ）に対してシールされている。シーリングガスインレット６４は、モーター室６０内へのシーリングガスの供給を可能とする。

【0040】

モーター室６０内には、駆動モーター６６が配置されている。この駆動モーターはローター１８の回転的駆動のために使用される。駆動モーター６６は、コア７０と図１には簡略的にのみ表された複数のコイル７２を有するモーターステータ６８を有する。これらは、コアの半径方向内側に設けられた、コア７０の溝内に固定されている。コア７０は、軟磁性の材料からなる、軸方向に互いに積層された薄板ディスクを有する薄板パケットから成る。

【0041】

電機子とも称される、駆動モーター７７のアマチャー（独語でいうＬａｅｕｆｅｒ）は、ローター軸２２によって形成され、このローター軸は、モーターステータ６８を通って延在している。ローター軸２２のモーターステータ６８を通って延在する部分には、半径方向と外側で永久磁石装置７４が固定されている。モーターステータ６８と、ローター軸２２のモーターステータ６８を通って延在する部分の間には、半径方向のモーター間隙７６が形成されている。これを介して、モーターステータ６８と永久磁石装置７４が駆動トルク伝達の為に磁気的に影響を及ぼす。

【0042】

永久磁石装置７４は、接着及び／又は収縮及び／又は圧迫によりローター軸２２に固定される。永久磁石装置７４は、鉄薄板からなるまたは中実の鉄から成る軟磁性のバックキー（Ｒｕｅｃｋｓｃｈｌｕｓｓ）７５ａと、永久磁石７５ｂを有している。ＣＦＫスリーブまたは特殊鋼スリーブとして形成されているカプセル化部８０は、永久磁石装置７４をその半径方向外側面において取り囲んでおり、そしてこれをモーター間隙７６に対してシールする。ローター軸２２には、更にバランスリング７８が接着及び／又は収縮及び／又は圧迫により取り付けられている。このバランスリングは、バランスウェイト収容の為のねじ穴を有している。バランスリング７８は、永久磁石装置７４に軸方向の強制力を伝達しないよう、永久磁石装置７４に対する直接の機械的な接続を有していない。

【0043】

制御兼電力供給装置８２は、ターボ分子ポンプ１０の運転の間、駆動モーター６６に電気エネルギーを供給するよう設けられている。

【0044】

図２には、ステータディスク２６の第一の実施形が示されている。ステータディスク２６は、一つの平面を定め、そして一つの内側リング８４および一つの外側リング８６を有している。内側リング８４と外側リング８６の間には、半径方向に複数のステータ羽根８８が延在している。これらは其々、ウェブ９０を介して内側リング８４および外側リング８６と接続されている。ステータ羽根８８は、それぞれウェブ９０の周りを回転し、そしてステータディスク２６によって定められる平面に対して傾斜している（図２ａ）。このためステータ羽根８８は、略台形に形成されており、その際、内側リング８４と接続される基礎面（独語でいうＧｒｕｎｄｓｅｉｔｅ）は、外側リング８６と接続される基礎面よりも短く形成されている。

【0045】

ステータ羽根８８内には、複数の凸部９２が設けられている。これら凸部は、強化要素として使用され、そして特に内側リング８４を外側リング８６に対して強化する。凸部９２は、同様に略台形に形成されており、そして台形の基礎面の領域において、三角形状の移行領域９４へと移行する。台形状の凸部９２の脚部は、半径方向に推移し、そしてこれに応じて、ステータ羽根８８の周囲方向に向けられた縁部に対して同じままの間隔を有する。

【0046】

ステータディスク２６は、一体式に形成されており、および打ち抜き折り曲げ成型法（独語でいうＳｔａｎｚｂｉｅｇｅｖｅｒｆａｈｒｅｎ）によって薄板から製造される。打ち抜き折り曲げ成型法によって、ステータ羽根８８の凸部９２もまた作られる。

【0047】

ステータディスク２６は、１８０度の角度領域を覆い、そしてこれによって半円形に形成されている（図２ｂ）。ターボ分子ポンプ１０内には、一つの完全なディスクを形成するために各二つのステータディスク２６が、一つの平面内に配置されている。

【0048】

図３は、ステータディスク２６の第二の実施形を示す。このステータディスクは、半円形状または半リング形状に形成されており、そしてこれによって１８０度の角度領域を覆っている。図３には、例示的に二つのステータ羽根８８のみが表されているが、第一の実施形におけるように、別のステータ羽根８８が存在している。これは矢印８９によって示されている。

【0049】

図３には、その上、ステータディスク２６の内側リング８４と外側リング８６を接続する二つの終端ウェブ９６が示されている。これらは、周囲方向におけるステータディスク２６の終端部を定義する。終端ウェブ９６は、台形状に形成されている。その際、台形の脚部はそれぞれ半径方向に推移している。

【0050】

図３のステータディスク２６は、硬化要素を有している。この硬化要素は、条溝９８として形成されている。条溝９８は、半径方向でみて、終端ウェブ９６の略中央で開始しており、そこから半円形状の内側リング８４のほうへと延在し、内側リング８４に完全に続き、そして他の終端ウェブ９６内へと、同様におよそ半分くらいまで入り込む。条溝９８は、その際、連続的に形成されており、そしてそのようにして上面図で近似的にギリシャ文字のオメガ（Ω）を形成する。

【0051】

条溝９８は、ステータディスク２６によって定義される平面から、上に向かって突出しており、そして例えばＶ字形状、Ｕ字形状、長方形、または円形の断面を有している。

【0052】

条溝９８は、終端ウェブ９６のねじりにも、内側リング８４のねじりにも反対に作用し、そしてそのようにして全体のステータディスク２６を硬化させる。

【0053】

図４内には、ステータディスク２６の第三の実施形が示されている。このステータディスクは、第二の実施形とは、終端ウェブ９６が長方形に形成されている点で異なっている。その上、ステータディスク２６の硬化の為に使用される条溝９８が、終端ウェブ９６の一つの中央の領域から出発し、内側リング８４の大部分を介しているが、しかし、他の終端ウェブ９６に沿ってはいないよう推移する。これによって条溝９８は、上面図において略三日月形を形成する。

【0054】

図５は、ステータディスク２６の第四の実施形を示す。このステータディスクは、図３に示されたステータディスクとは、終端ウェブ９６の半径方向内側の半分におよそ沿って延在し、そして内側リング８４に沿って続行し、そしてこれを其々約３０度の角度領域にわたって覆う二つの条溝９８が設けられている点で異なっている。両方の条溝９８は、互いに分離している。

【0055】

図６は、ローター軸２２により連結された二つのローターディスク２４の間に位置する、先行技術に従うステータディスク２６の配置を簡略的に示す。ステータディスク２６のローター軸２２の方を向いた内側リング８４は、ここでは平坦に形成されている。半径方向外側に向かって、平面に対して傾斜して立てられたステータディスク羽根８８が、内側リング８４に続いている。

【0056】

図７は、図６と異なり、内側リング８４に二重式の二つの直角な曲げ部（独語でいうＡｂｋａｎｔｕｎｇｅｎ）を有する発明に係るステータディスク２６を示す。これら曲げ部はステータディスク２６の硬化の為に使用される。断面でみると、内側リング８４の雷文形状または蛇行形状の推移が生じる。曲げ部１００によって、ステータディスク２６と隣接するローターディスク２４の間の軸方向のクリアランス１０２は小さくなる。これによって、ポンピングすべき分子の逆流が妨げられる。これは、アドミタンス（独語でいうＬｅｉｔｗｅｒｔ）を減少させ、そのようにしてターボ分子ポンプ１０の効率を向上させる。

【0057】

一般的に、示された様々な硬化要素の実施形は、其々互いに組み合わせることも可能であり、特に、図２のステータ羽根８８の凸部９２と、図３から５の条溝９８は互いに組み合わせられることが可能であるという点、付記する。条溝９８に代えて、図７に示されるような曲げ部１００も使用されることが可能である。同様に、一つの別の硬化要素が追加的に、または代替的に外側リング８６に設けられることが可能である。これは例えば、二つの終端ウェブ９６と完全な内側リング８４に延在する閉じた周回する条溝の形式である。

【符号の説明】

【0058】

１０ ターボ分子ポンプ
１２ インレットフランジ
１４ ポンプインレット
１６ ハウジング
１８ ローター
２０ 回転軸
２２ ローター軸
２４ ローターディスク
２６ ステータディスク
２８ スペーサーリング
３０ ローターハブ
３２ ホルベックロータースリーブ
３４ ホルベックロータースリーブ
３６， ３８ ホルベックステータスリーブ
４０ 転がり支承部
４２ 永久磁石支承部
４４ ローター側の支承半部
４６ ステータ側の支承半部
４８ 磁石リング
５０ 磁石リング
５２ 支承間隙
５４ 安全用支承部
５６ スプラッシュナット
５８ 吸収性のディスク
６０ モーター室
６２ ジーグバーンステージ
６４ シーリングガスインレット
６６ 駆動モーター
６８ モーターステータ
７０ コア
７２ コイル
７４ 永久磁石装置
７５ａ 軟磁性のバックキー
７５ｂ 永久磁石
７６ モーター間隙
７８ バランスリング
８０ カプセル化部
８２ 制御兼電力供給ユニット
８４ 内側リング
８６ 外側リング
８８ ステータ羽根
８９ 矢印
９０ ウェブ
９２ 凸部
９４ 移行領域
９６ 終端ウェブ
９８ 条溝
１００ 曲げ部
１０２ クラランス

【図1】

【図2a】

【図2b】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】