公報発行日 2016年11月16
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【図1】この発明の第1実施例に係る半導体装置の要部平面図である。
【図2】この発明の第1実施例に係る半導体装置の断面図であり、(a)は図1のA−A線で切断した要部断面図、(b)は図1のB−B線で切断した要部断面図である。
【図3】p型低濃度領域3aとp型高濃度領域3bが交互に接して同心円状に配置したp型拡散層3の横方向抵抗について説明した概略説明図である。
【図4】ダブルリサーフ構造の高耐圧NchMOSFETの等価回路図である
【図5】本実施例の構造と従来構造の変位電流を計算した図である。
【図6】p型拡散層3のp型高濃度領域3bをドット状に配置をした要部平面図である。
【図7】この発明の第2実施例に係る半導体装置200の要部平面図である。
【図8】図7のF部の拡大要部平面図である。
【図9】この発明の第2実施例に係る半導体装置200の断面図であり、(a)は図8のA−A線で切断した要部断面図、(b)は図8のB−B線で切断した要部断面図である。
【図10】この発明の第3実施例に係る半導体装置の製造方法であり、(a)〜(c)は工程順に示した要部製造工程断面図である。
【図11】この発明の第4実施例に係る半導体装置の製造方法であり、(a)〜(d)は工程順に示した要部製造工程断面図である。
【図12】この発明の第5実施例の半導体装置300の要部断面図である。
【図13】この発明の第6実施例に係る半導体装置400の構成図であり、図13は図7のF部の別の例の拡大要部平面図である。
【図14】図14(a)は図13のA−A線で切断した要部断面図、図14(b)は図13のC−C線で切断した要部断面図である。
【図15】図15は図7のF部の別の例の拡大要部平面図である。
【図16】高耐圧ICにおける一般的なゲート駆動回路図である。
【図17】ダブルリサーフ構造のモデル図である。
【図18】特許文献1に示されているdV/dtノイズによる誤動作を解決するための回路図である。
【図19】従来のダブルリサーフ構造である高耐圧分離構造を有する半導体装置の要部平面図である。
【図20】従来のダブルリサーフ構造である高耐圧分離構造を有する半導体装置の断面図であり、(a)は図19のA−A線で切断した要部断面図、(b)は図19のB−B線で切断した要部断面図である。
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