発明の名称 フォトレジスト組成物
出願人 JSR株式会社 (識別番号 4178)
特許公開件数ランキング 2072 位(10件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 1337 位(13件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6028732
公報発行日 2016年11月16
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6028732
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