特許 6031304 基板処理装置及び基板処理方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6031304

(24)【登録日】2016年10月28日

(45)【発行日】2016年11月24日

(54)【発明の名称】基板処理装置及び基板処理方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20161114BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

【請求項の数】3

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2012-205748(P2012-205748)

(22)【出願日】2012年9月19日

(65)【公開番号】特開2014-60337(P2014-60337A)

(43)【公開日】2014年4月3日

【審査請求日】2015年9月16日

(73)【特許権者】

【識別番号】000001122

【氏名又は名称】株式会社日立国際電気

(72)【発明者】

【氏名】柴田 剛吏

(72)【発明者】

【氏名】野上 孝志

【審査官】 山口 大志

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１２−１６９５３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０８−１６８９８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０３−１１１１９６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−１３０７３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開平０４−１１２７３５（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 米国特許第０５１１１７０９（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板収容容器を搬送する搬送装置であって、
前記基板収容容器が移動する方向に延在して設置される本体ベース部と、
前記本体ベース部に配置される第１の駆動部と、
前記第１の駆動部に接続されて動力を伝達する第１の動力伝達機構と、
前記第１の駆動部が動作することによって生じる動力が前記第１の動力伝達機構を介して伝達されることで摺動する第１のテーブルと、
前記第１のテーブルに配置される第２の駆動部と、
前記第２の駆動部に接続されて動力を伝達する第２の動力伝達機構と、
前記第２の駆動部が動作することによって生じる動力が前記第２の動力伝達機構を介して伝達されることで前記基板収容容器を移動させる第２のテーブルと、
前記第１のテーブルと前記第２のテーブルとのストローク比は、前記第１の動力伝達機構と前記第２の動力伝達機構とのリード比と同一になるように構成され、
前記第１の駆動部と前記第２の駆動部は、同じ回転数で動作するように制御信号を受信することで前記第１のテーブルと前記第２のテーブルを同期運転させる搬送装置。

【請求項2】

基板を処理する処理室と、
前記基板を収容する基板収容容器が移動する方向に延在して設置される本体ベース部と、前記本体ベース部に配置される第１の駆動部と、前記第１の駆動部に接続されて動力を伝達する第１の動力伝達機構と、前記第１の駆動部が動作することによって生じる動力が前記第１の動力伝達機構を介して伝達されることで摺動する第１のテーブルと、前記第１のテーブルに配置される第２の駆動部と、前記第２の駆動部に接続されて動力を伝達する第２の動力伝達機構と、前記第２の駆動部が動作することによって生じる動力が前記第２の動力伝達機構を介して伝達されることで前記基板収容容器を移動させる第２のテーブルと、を有し、前記基板収容容器を搬送する搬送装置と、
前記第１の駆動部と前記第２の駆動部を制御する制御部と、を有し、
前記前記第１のテーブルと前記第２のテーブルとのストローク比は、前記第１の動力伝達機構と前記第２の動力伝達機構とのリード比と同一になるように構成され、
前記制御部は、前記第１の駆動部と前記第２の駆動部を同じ回転数で動作させるように同一の制御信号を前記第１の駆動部と前記第２の駆動部に供給する基板処理装置。

【請求項3】

基板を処理する処理室と、前記基板を収容する基板収容容器が移動する方向に延在して設置される本体ベース部と、前記本体ベース部に配置される第１の駆動部と、前記第１の駆動部に接続されて動力を伝達する第１の動力伝達機構と、前記第１の駆動部が動作することによって生じる動力が前記第１の動力伝達機構を介して伝達されることで摺動する第１のテーブルと、前記第１のテーブルに配置される第２の駆動部と、前記第２の駆動部に接続されて動力を伝達する第２の動力伝達機構と、前記第２の駆動部が動作することによって生じる動力が前記第２の動力伝達機構を介して伝達されることで前記基板収容容器を移動させる第２のテーブルと、を有し、前記基板収容容器を搬送する搬送装置と、前記第１の駆動部と前記第２の駆動部を制御する制御部と、を有し、前記前記第１のテーブルと前記第２のテーブルとのストローク比は、前記第１の動力伝達機構と前記第２の動力伝達機構とのリード比と同一になるように構成され、前記制御部は、前記第１の駆動部と前記第２の駆動部を同じ回転数で動作させるように同一の制御信号を前記第１の駆動部と前記第２の駆動部に供給基板処理装置を準備する工程と、
前記基板収容容器を前記処理室に搬送する工程と、
前記処理室に搬送された前記基板を処理する工程と、
を有する半導体装置の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板を処理する基板処理装置に関し、特に基板径の大きな基板処理装置における、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ：単にポッドともいう）ローダ（基板収容容器昇降機構）に関するものである。

【背景技術】

【0002】

多数の基板（ウエハ）を１度に熱処理するバッチ式の基板処理装置においては、ウエハは通常ＦＯＵＰに複数枚収納された状態で装置内に搬送され、１度のプロセス処理（以下、１バッチという。）で数十〜数百枚のウエハが同時に処理される。

【0003】

このようなバッチ式の基板処理装置において、ウエハが複数枚収納されたＦＯＵＰを装置内に十分にストックできるように、収容棚（以下、ＦＯＵＰ棚という。）が設置されている。

【0004】

またウエハ移載室との間にはＦＯＵＰの扉を開閉するＦＯＵＰオープナが設置されている。
基板処理装置において、ＦＯＵＰローダは外部から受け渡しステージへ搬入されたＦＯＵＰをＦＯＵＰ棚、またはＦＯＵＰオープナへ搬送するものである。

【0005】

例えば、４５０ｍｍウエハ対応の縦型基板処理装置（以下、４５０ｍｍ装置という。）としての１バッチあたりのウエハ処理枚数は、３００ｍｍウエハ対応の縦型基板処理装置（以下、３００ｍｍ装置という。）の場合と同じである。よって、必要とされる４５０ｍｍウエハ用ＦＯＵＰの数も３００ｍｍ装置の場合と同じである。
しかし、ウエハ径が３００ｍｍから４５０ｍｍへと大径化することにより、ＦＯＵＰのサイズもそれに応じて大型化する。具体的にはＦＯＵＰ内のウエハ間の装填ピッチは１０ｍｍから１２ｍｍとなり、1つのＦＯＵＰに２５枚のウエハを収納する場合のＦＯＵＰの高さは３００ｍｍウエハの場合に比べて、高さは５０ｍｍ以上高くなる。また、ウエハを装填したＦＯＵＰの重量は３００ｍｍウエハの場合に比べて３倍以上となる。
そのため、４５０ｍｍ装置は３００ｍｍ装置に比べて装置高さが高くなり、ＦＯＵＰローダは縦型基板処理装置の上方から下方にまで配置されたＦＯＵＰ載置箇所にアクセスが必須となる。それらに伴いＦＯＵＰローダは３００ｍｍ装置のものに比べ大型・長尺化してしまう。縦型基板処理装置を航空機等により輸送の際には高さの制限がある。よって、長尺化したＦＯＵＰローダは解体し、４５０ｍｍ装置から外した状態で輸送しなければならない。そして解体したＦＯＵＰローダは装置搬入後に再度組み付け・調整を行う必要がある。

【0006】

【特許文献1】特開２００８−２７０２６６号公報

【発明の開示】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

本発明は、斯かる実情に鑑み、大径化する基板対応により長尺化した基板処理装置でも、搬送装置がそれぞれの基板収容容器載置箇所にアクセスすることが可能であり、且つ、輸送時には高さ制限以下に収納することができ、搬入後の組み付け・調整の工程を省くことができる、多段昇降システムの搬送装置を備えた基板処理装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の一態様によれば、基板を収容する基板収容容器を搬送する基板処理装置において、ベース部と、前記ベース部に配置される第１の駆動部と、前記第１の駆動部が動作することによって摺動する第１のテーブルと、前記第１のテーブルに配置される第２の駆動部と、前記第２の駆動部が動作することによって前記基板収容容器を移動させる第２のテーブルと、を有し、前記基板収容容器を搬送する搬送装置と、前記第１の駆動部と前記第２の駆動部に接続され、前記第１の駆動部と前記第２の駆動部に信号を送信し、前記第１のテーブルと前記第２のテーブルとが同期して摺動するように制御する制御部と、を有する基板処理装置置を提供することができる。

【0009】

また、本発明の他の一態様によれば、基板処理装置の筐体内に設けられた基板収容容器を収容する収納棚へ前記基板収容容器を搬送する搬送装置において、
前記搬送装置は、ベース部と、前記ベース部に配置される第１の駆動部と、前記第１の駆動部が動作することによって摺動する第１のテーブルと、前記第１のテーブルに配置される第２の駆動部と、前記第２の駆動部が動作することによって前記基板収容容器を移動させる第２のテーブルと、を有し、前記第１の駆動部と前記第２の駆動部は、制御信号を受信して前記第１のテーブルと第２のテーブルを同期して摺動させる搬送装置を提供することができる。

【0010】

また、本発明の他の一態様によれば、ベース部と前記ベース部に配置される第１の駆動部と前記第１の駆動部が動作することによって摺動する第１のテーブルと前記第１のテーブルに配置される第２の駆動部と前記第２の駆動部が動作することによって前記基板収容容器を移動させる第２のテーブルとを有し、基板を収容する基板収容容器を搬送する搬送装置と、前記搬送装置を制御する制御部とを備える基板処理装置の基板処理方法において、前記搬送装置が前記基板収容容器を保持し、前記第１の駆動部と前記第２の駆動部が前記制御部からの信号を受信し前記第１のテーブルと前記第２のテーブルを同期して摺動させ、前記基板収容容器を所定の位置に搬送する工程と、前記搬送された基板収容容器から基板を搬出する工程と、前記搬出された基板を処理する工程と、を有する基板処理方法を提供することができる。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、大径基板への対応によって長尺化した基板処理装置でも、搬送装置がそれぞれの基板収容容器載置箇所に効率よくアクセスすることが可能であり、且つ、輸送時には高さ制限以下に収納することができ、搬入後の組み付け・調整の工程を省くことができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の実施形態で好適に用いられる基板処理装置の概略斜視図である。

【図2】本発明の実施形態で好適に用いられる基板処理装置の概略側断面図である。

【図3】本発明の実施形態で好適に用いられる基板処理装置のコントローラの構成を示す図である。

【図4】本発明の実施形態で好適に用いられる基板収容容器の搬送装置の概略動作図である。

【図5】本発明の実施形態で好適に用いられる基板収容容器の搬送装置の概略動作図である。

【図6】本発明の実施形態で好適に用いられる基板収容容器の搬送装置の概略図である。

【図7】本発明の実施形態で好適に用いられる基板収容容器の搬送装置の概略図である。

【図8】一般的な基板処理装置における基板収容容器の搬送装置の概略図である。

【発明を実施するための最良の形態】

【0013】

次に本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
本発明が適用される実施形態において、基板処理装置は、一例として、半導体装置（ＩＣ）の製造方法における処理装置を実施する半導体製造装置として構成されている。尚、以下の説明では、基板処理装置として基板に酸化、拡散処理やＣＶＤ処理などを行う縦型の装置（以下、単に処理装置という）を適用した場合について述べる。

【0014】

図８は一般的な縦型の基板処理装置における、基板収容容器の搬送装置としてのＦＯＵＰローダの機構を示した概略図について記載したものである。ＦＯＵＰローダは、モータ８１、リニアガイド８２、ボールねじ８３、本体ベース８４、テーブル８５から構成されている。モータ８１の回転により、ボールねじ８３が回転する。このボールねじ８３はテーブル８５に接続されている。これらの協働関係により、テーブル８５に設置された図示しないＦＯＵＰ搬送部に乗せられたＦＯＵＰを上下左右方向に移動することが可能となる。
しかし、図８に記載の通り、モータ８１とテーブル８５はそれぞれが一つずつ設置されているだけであるため、ＦＯＵＰローダの最下位置から最上位置へ移動する際に時間がかかる。さらに、４５０ｍｍ装置に対応するようＦＯＵＰローダを長尺化すると輸送の際の高さ制限があるため、単純に長尺化することができない。

【0015】

図１は、本発明が適用される基板処理装置の斜視図として示されている。また、図２は図１に示す基板処理装置の側面透視図である。

【0016】

図１及び２に示されているように、シリコン等からなる複数のウエハ（基板）２００を収容し、収容容器として用いられるウエハキャリアとしてＦＯＵＰ（以下ポッドという。）１１０が使用されている基板処理装置１００は、基板処理装置本体として用いられる筐体１１１を備えている。

【0017】

筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が開設され、この正面メンテナンス口１０３を開閉する正面メンテナンス扉１０４がそれぞれ建て付けられている。
筐体１１１の正面壁１１１ａにはポッド搬入搬出口１１２が筐体１１１の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口１１２はフロントシャッタ１１３によって開閉されるようになっている。
ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側には、搬入搬出部として用いられるロードポート１１４が設置されており、ロードポート１１４はポッド１１０を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド１１０はロードポート１１４上に工程内搬送装置（図示せず）によって搬入され、かつまた、ロードポート１１４上から搬出されるようになっている。

【0018】

筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、ポッド棚（収容棚）１０５が設置されている。ポッド棚１０５は垂直に立設される支持部１１６と、支持部１１６に対して上中下段の各位置において垂直方向にそれぞれ独立して移動可能に保持された複数段の載置部１１７とを備えており、ポッド棚１０５は、複数段の載置部１１７にポッド１１０を複数個宛それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。すなわち、ポッド棚１０５は、例えば２つのポッド１１０を一直線上に同一方向を向いて配置して垂直方向に複数段に複数個のポッド１１０を収容する。

【0019】

筐体１１１内におけるロードポート１１４とポッド棚１０５との間には、ポッド１１０を搬送する搬送装置としてのＦＯＵＰローダ（収容容器搬送機構）１１８が設置されている。ＦＯＵＰローダ１１８は、ポッド１１０を保持したまま垂直方向に昇降可能な軸部としてのポッドエレベータ１１８ａとポッド１１０を載置して水平方向に搬送する搬送部としてのポッド搬送部１１８ｂとで構成されており、ＦＯＵＰローダ１１８はポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送部１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、ポッド棚１０５、ポッドオープナ１２１との間で、ポッド１１０を搬送するように構成されている。

【0020】

筐体１１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１９が後端にわたって構築されている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａにはウエハ２００をサブ筐体１１９内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口１２０が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口１２０、１２０には一対のポッドオープナ１２１、１２１がそれぞれ設置されている。ポッドオープナ１２１はポッド１１０を載置する載置台１２２、１２２と、密閉部材として用いられるポッド１１０のキャップを着脱するキャップ着脱機構１２３、１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は載置台１２２に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。

【0021】

サブ筐体１１９はＦＯＵＰローダ１１８やポッド棚１０５の設置空間から流体的に隔絶された移載室１２４を構成している。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構１２５が設置されており、ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置１２５ａ及びウエハ移載装置１２５ａを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ１２５ｂとで構成されている。図１に模式的に示されているようにウエハ移載装置エレベータ１２５ｂは耐圧筐体１１１右側端部とサブ筐体１１９の移載室１２４前方領域右端部との間に設置されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ及びウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ（基板保持体）１２５ｃをウエハ２００の載置部として、ボート（基板保持具）２１７に対してウエハ２００を装填（チャージング）及び脱装（ディスチャージング）するように構成されている。

【0022】

移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させる待機部１２６が構成されている。待機部１２６の上方には、処理室として用いられる処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部は、炉口シャッタ１４７により開閉されるように構成されている。

【0023】

図１に模式的に示されているように、耐圧筐体１１１右側端部とサブ筐体１１９の待機部１２６右端部との間にはボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５の昇降台に連結された連結具としてのアーム１２８には蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられており、シールキャップ２１９はボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。
ボート２１７は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０〜１２５枚程度）のウエハ２００をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。

【0024】

図１に模式的に示されているように移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側及びボートエレベータ１１５側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう供給ファン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されており、ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、図示はしないが、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置が設置されている。
クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、ノッチ合わせ装置及びウエハ移載装置１２５ａ、待機部１２６にあるボート２１７に流通された後に、図示しないダクトにより吸い込まれて、筐体１１１の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット１３４によって、移載室１２４内に吹き出されるように構成されている。

【0025】

次に、基板処理装置１００の動作について説明する。
尚、以下の説明において、基板処理装置１００を構成する各部の動作は、コントローラ２４０により制御される。
図３には、コントローラ２４０の構成が示されている。コントローラ２４０は、入出力装置２４１を介して、ＦＯＵＰローダ１１８、ポッド棚１０５、ウエハ移載機構１２５、モータ１、モータ２、第１のポッドテーブル、第２のポッドテーブル等を制御する。
また、コントローラ２４０は図示しない温度センサやヒータを制御する温度制御部、バルブやＭＦＣを制御するガス流量制御部、ＡＰＣバルブや圧力センサなどを制御する圧力制御部と接続され、それぞれを制御するように構成されている。
図１及び図２に示されているように、ポッド１１０がロードポート１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放され、ロードポート１１４の上のポッド１１０はＦＯＵＰローダ１１８によって筐体１１１の内部へポッド搬入搬出口１１２から搬入される。
搬入されたポッド１１０は、ポッド棚１０５の指定された載置部１１７へＦＯＵＰローダ１１８によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、ポッド棚１０５から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、ポッド棚１０５から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載される。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４にはクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、筐体１１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。

【0026】

載置台１２２に載置されたポッド１１０はその開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口を開放される。
ポッド１１０がポッドオープナ１２１によって開放されると、ウエハ２００はポッド１１０からウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、図示しないノッチ合わせ装置１３５にてウエハを整合した後、移載室１２４の後方にある待機部１２６へ搬入され、ボート２１７に装填（チャージング）される。ボート２１７にウエハ２００を受け渡したウエハ移載装置１２５ａはポッド１１０に戻り、次のウエハ２００をボート２１７に装填する。

【0027】

この一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載機構１２５によるウエハのボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１にはポッド棚１０５から別のポッド１１０がＦＯＵＰローダ１１８によって搬送されて移載され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。

【0028】

予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７に装填されると、炉口シャッタ１４７によって閉じられていた処理炉２０２の下端部が、炉口シャッタ１４７によって、開放される。続いて、ウエハ２００群を保持したボート２１７はシールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されることにより、処理炉２０２内へ搬入（ローディング）されて行く。

【0029】

ローディング後は、処理炉２０２にてウエハ２００に任意の処理が実施される。
処理後は、図示しないノッチ合わせ装置１３５でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ２００及びポッド１１０は筐体の外部へ払い出される。

【0030】

次に、図４〜図７において、本発明に係る第１の実施例におけるＦＯＵＰローダ１１８について詳細に説明する。

【0031】

図４（ａ）および図４（ｂ）に示すようにＦＯＵＰローダ１１８は、ＦＯＵＰが移動する長手方向に延在して設置される本体ベース９３と、本体ベース９３に設けられている駆動源（駆動部）として第１のモータ９１、第１テーブル９６の案内機構としてのガイドレール９４、動力伝達機構としてのボールねじ９２、ボールねじ９２と第１テーブル９６との接続機構１０が配置されており、本体ベース９３上でガイドレール９４を介して第１テーブル９６を上下に摺動（昇降）させることができる。ここで、本体ベース９３は、長手方向が垂直方向になるように設置されても良いし、水平方向に設置されても良く、設置空間に応じて適宜変更することができる。なお、ボールねじ９２と第１テーブル９６との接続は、前記接続機構１０を介さずに、直接接続されていても構わない。

【0032】

更に第１のテーブル９６には駆動源（駆動部）としての第２のモータ９５、案内機構としての第２のガイドレール９７、動力伝達機構としての第２ボールねじ９８、第２のボールねじ９８と第２テーブル９９を接続する第２の接続機構１１が配置され、第２の接続機構１１にＦＯＵＰを搬送する搬送部１１８ｂが接続されており、第1テーブル９６上で第２テーブル９９を上下（または左右）に摺動（昇降）させることでＦＯＵＰを搬送することができる。なお、ボールねじ９８と第２テーブル９９との接続は、前記接続機構１１を介さずに、直接接続されていても構わない。

【0033】

上述した第１のテーブルおよび第２のテーブル、本体ベースの構成は後述する図６または図７に記載する断面図のように併設されており、第１テーブル９６と第２テーブル９９を制御することにより、ＦＯＵＰローダ１１８の伸縮を第１テーブル９６の上下（または左右）動と第２テーブル９９の上下（または左右）動の２段で行うことができる。

【0034】

大径ウエハ処理装置向けのＦＯＵＰローダ１１８はウェーハ２００が入った約２５ｋｇものＦＯＵＰ（ポッド）１１０を昇降させなければならず、本体ベース９３や第１テーブル９６には強度が求められる。また第２テーブル９９は本体ベース９３や第１テーブル９６にかける負荷を少しでも軽減できるようにする必要がある。したがって強度を持たせた本体ベース９３上にある第1テーブル９６のストローク（摺動する長さ）を長くし、第１テーブル９６に比べ軽量化された第２テーブル９９のストロークは第1テーブル９６のストロークに比べ短くなるように構成した方が良い。よって、本体ベース９３の全長は第１テーブル９６の全長より長くした方が良い。同様に第１テーブル９６の全長は第２テーブル９９の全長より長くした方が良い。

【0035】

図４において、例として第１テーブル９６のストロークｎを２、第２テーブル９９のストロークｍを１とする。（図４（ｂ）のｎ：ｍを２：１とする。）
これら２つの第１テーブル９６，第２テーブル９９を同期させて伸縮させるには、ボールねじ９２、ボールねじ９８のリード比も２：１とし、それぞれ２つのモータ９１、９５を同じ回転数で運転を行う。これにより、全ストロークを第１テーブル９６、第２テーブル９９をともにスムースに昇降することができる。ここで、２つのモータ９１、９５を同じ回転数で運転を行うということは、１つの制御信号をそれぞれのモータに供給することができるということである。
上記の手段を用いることにより、上位のコントローラから各モータ９１、９５への指令を１つの制御信号で複数のモータを制御にすることができる。
上位コントローラからの指令を１つにすることで、２つ以上のモータを用いてテーブル(ワーク)の同期運転を非常に容易にすることができる。

【0036】

図５（ａ）および図５（ｂ）を用いて複数のモータにそれぞれ個別の制御信号を使用する場合について、説明する。図５（ａ）において、第１のモータ９１を制御して、第１のテーブル９６を距離Ａ上昇させる。更に、図５（ｂ）に示すように、第２のモータ９５を制御することにより、第２のテーブル９９を距離Ｂ上昇させる。これにより第２のテーブル９９は、Ａ＋Ｂだけ上昇することとなる。本例のようにそれぞれのモータ９１、９５に別々の制御信号を送ることにより動作を制御することは、細かな位置調整を行うことができる一方、テーブル９６、９９の位置の組み合わせは無数にあるため、オペレータによるバラツキが生じるだけでなく、位置調整のティーチングにも手間がかかることになる。
テーブルの位置制御を行う対象が、本発明のように、移動しない（固定である）ＦＯＵＰ棚のようなものであれば、前述のように、複数のモータに対して一つの制御信号で動作させる方が、位置調整が容易にできるというメリットが生じる。
このように、複数のモータに対して一つの制御信号でテーブル９６、９９の位置制御を行うということは、一方のテーブルが動いているときは必ずもう一方のテーブルも同期して動くこととなる。

【0037】

第２の実施例として、ボールねじ９２とボールねじ９８のリード比を１：１としても、各モータ内に持つ電子ギヤの比率を２：１にすることにより、第１テーブル９６、第２テーブル９９のスムースな動作を満足することができる。ここで、各モータのギヤ比は、２：１に限らず、適宜自由に選択すればよいことは言うまでもない。

【0038】

図６には、２つのモータを横方向（図２の装置でいうと、装置の奥行方向）にずらして配置してＦＯＵＰローダ１１８を構成する例を示す。このように２つのモータ９１、９５を横方向に並べて配置することにより、ＦＯＵＰローダ１１８の厚みを減らすことが可能となる。

【0039】

図７には、高さ方向（図２の装置の高さ方向）に２つのモータを並べて配置した例を示す。この例によれば、ＦＯＵＰローダ１１８の幅が小さくなることとり、装置内のスペースが有効活用できる事となる。

【0040】

以上のように、本発明に係るＦＯＵＰローダによって、大径化した基板を処理する基板処理装置でも、従来装置と変わらない筐体の高さで、従来同様の基板処理効率を有することが可能となるとともにＦＯＵＰローダがそれぞれのＦＯＵＰ載置箇所にアクセスすることが可能であり、且つ、輸送時には高さ制限以下に収納することができ、搬入後の組み付け・調整の工程を省くことができるという効果がある。

【0041】

また、以上は、本発明の好ましい実施形態を述べたに過ぎず、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。

【0042】

以上、本発明を実施形態に沿って説明してきたが、ここで本発明の主たる態様を付記する。

【0043】

（付記１）
基板を収容する基板収容容器を搬送する基板処理装置において、
ベース部と、
前記ベース部に配置される第１の駆動部と、
前記第１の駆動部が動作することによって摺動する第１のテーブルと、
前記第１のテーブルに配置される第２の駆動部と、
前記第２の駆動部が動作することによって前記基板収容容器を移動させる第２のテーブルと、を有し、前記基板収容容器を搬送する搬送装置と、
前記第１の駆動部と前記第２の駆動部に接続され、前記第１の駆動部と前記第２の駆動部に信号を送信し、前記第１のテーブルと前記第２のテーブルとが同期して摺動するように制御する制御部と、を有する基板処理装置。

【0044】

（付記２）
前記第１のテーブルが摺動する第１の摺動長さと前記第２のテーブルが摺動する第２の摺動長さは、前記第１の摺動長さの方が前記第２の摺動長さよりも長く設定される付記１に記載の基板処理装置。

【0045】

（付記３）
前記第１のテーブルと前記第２のテーブルは、併設されて同方向に摺動する付記１または２に記載の基板処理装置。

【0046】

（付記４）
前記第１の駆動部と前記第２の駆動部は電子ギヤを有するモータによって構成され、
前記第１の駆動部と前記第２の駆動部の電子ギヤの比率は、２：１となるように設けられている付記１から３のいずれかに記載の基板処理装置

【0047】

（付記５）
基板処理装置の筐体内に設けられた基板収容容器を収容する収納棚へ前記基板収容容器を搬送する搬送装置において、
前記搬送装置は、ベース部と、
前記ベース部に配置される第１の駆動部と、
前記第１の駆動部が動作することによって摺動する第１のテーブルと、
前記第１のテーブルに配置される第２の駆動部と、
前記第２の駆動部が動作することによって前記基板収容容器を移動させる第２のテーブルと、
を有し、
前記第１の駆動部と前記第２の駆動部は、制御信号を受信して前記第１のテーブルと第２のテーブルを同期して摺動させる搬送装置。

【0048】

（付記６）
前記第１のテーブルが摺動する第１の摺動長さと前記第２のテーブルが摺動する第２の摺動長さは、前記第１の摺動長さの方が前記第２の摺動長さよりも長く設定される付記３に記載の搬送装置。

【0049】

（付記７）
ベース部と前記ベース部に配置される第１の駆動部と前記第１の駆動部が動作することによって摺動する第１のテーブルと前記第１のテーブルに配置される第２の駆動部と前記第２の駆動部が動作することによって前記基板収容容器を移動させる第２のテーブルとを有し、基板を収容する基板収容容器を搬送する搬送装置と、前記搬送装置を制御する制御部とを備える基板処理装置の基板処理方法において、
前記搬送装置が前記基板収容容器を保持し、前記第１の駆動部と前記第２の駆動部が前記制御部からの信号を受信し前記第１のテーブルと前記第２のテーブルを同期して摺動させ、前記基板収容容器を所定の位置に搬送する工程と、
前記搬送された基板収容容器から基板を搬出する工程と、
前記搬出された基板を処理する工程と、
を有する基板処理方法。

【0050】

（付記８）
基板収容容器を搬送する基板処理装置において、
本体ベースと、
前記本体ベースに配置される第１のモータと、
前記第１のモータに接続される第１のボールねじと、
前記第１のボールねじと接続される第１のテーブルと、
前記第１のテーブルに配置された第２のモータと、
前記第２のモータに接続される第２のボールねじと、
前記第２のボールねじと接続される第２のテーブルと、
を備え、
前記第１のモータ及び第２のモータへ同一の信号を送信する制御部と
を備えた基板処理装置。

【符号の説明】

【0051】

９１・・・・第1のモータ
９３・・・・本体ベース
９５・・・・第２のモータ
９６・・・・第１のテーブル
９９・・・・第２のテーブル
１００・・・基板処理装置
１１８・・・ＦＯＵＰローダ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】