特許 6032171 モールドパッケージの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6032171

(24)【登録日】2016年11月4日

(45)【発行日】2016年11月24日

(54)【発明の名称】モールドパッケージの製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/56 20060101AFI20161114BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/56 T

【請求項の数】6

【全頁数】17

(21)【出願番号】特願2013-210445(P2013-210445)

(22)【出願日】2013年10月7日

(65)【公開番号】特開2015-76450(P2015-76450A)

(43)【公開日】2015年4月20日

【審査請求日】2015年12月21日

(73)【特許権者】

【識別番号】000004260

【氏名又は名称】株式会社デンソー

(74)【代理人】

【識別番号】110001128

【氏名又は名称】特許業務法人ゆうあい特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】田中 昌明

(72)【発明者】

【氏名】山岸 哲人

【審査官】 秋山 直人

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１３−０１６６８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−０９６９７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−１４０２０１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／５６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

回路チップ（２）と、
第１平面（３ｃ）、および、前記第１平面と反対側の第２平面（３ｄ）を有し、一端（３ａ）側に前記回路チップと電気的に接続される電気接続部（３ｇ）を備えると共に他端（３ｂ）側にセンシング部（３ｆ）を備える板状のセンサチップ（３）と、
前記回路チップを搭載する回路チップ搭載部（４ａ）を備える板状のチップ搭載部材（４）と、を有し、
前記センサチップの一端側がモールド樹脂（６）で封止され、他端側が外部に露出した構成とされたモールドパッケージの製造方法であって、
前記回路チップと、前記センサチップと、前記チップ搭載部材と、を有する構成とされ、前記回路チップが前記回路チップ搭載部に搭載され、前記センサチップの一端側が前記回路チップ側に位置するように配置され、前記回路チップと前記電気接続部とが接続部材（５）を介して電気的に接続されたワークを用意する第１工程と、
前記第１工程ののちに、第３平面（９ａａ）を有する上型（９ａ）と、第４平面（９ｂａ）を有する下型（９ｂ）と、で構成されるモールド樹脂成形用の金型（９）を用意し、
前記センサチップの第１平面が前記上型の第３平面に向けられると共に前記センサチップの第２平面が前記下型の第４平面に向けられるように、前記センサチップが前記上型と前記下型により直接的または間接的に挟み込まれた状態とされると共に、前記上型と前記下型を合致させたときの前記上型と前記下型との間の空間をキャビティ（９１）として、前記センサチップの一端側が前記キャビティ内に配置されるように、前記ワークを前記金型に設置する第２工程と、
前記第２工程ののちに、溶融した前記モールド樹脂を前記金型の外部から注入して前記キャビティ内に充填することにより、前記センサチップの一端側を前記モールド樹脂で封止すると共に、前記センサチップの他端側を前記モールド樹脂より突出させる第３工程と、を備え、
前記第２工程では、
前記上型または前記下型の少なくとも一方と前記センサチップとの間に樹脂フィルム（１０）を配置し、前記樹脂フィルムを介して前記センサチップが前記上型と前記下型との間に挟み込まれた状態となるように、前記ワークを前記金型に設置し、
前記第３工程では、
前記溶融したモールド樹脂を、前記上型および前記下型のうち前記樹脂フィルムを挟んで前記センサチップの反対側に配置された方と、前記樹脂フィルムのうち前記センサチップに向けられた一面（１０ａ）と反対側の他面（１０ｂ）と、の間を通じて前記キャビティ内に流し込むことを特徴とするモールドパッケージの製造方法。

【請求項2】

前記第２工程では、
前記第２平面に対する法線の方向から見て前記センサチップから離された位置において、前記樹脂フィルムが前記上型と前記下型により直接的または間接的に挟み込まれて固定された状態となるように、前記ワークを前記金型に設置し、
前記第３工程では、
前記第２平面に対する法線の方向から見て前記センサチップと前記樹脂フィルムのうち前記離された位置との間に前記モールド樹脂を流すことで、前記樹脂フィルムを前記センサチップのうち第１平面または第２平面の少なくとも一方に隣接する面（３ｅ）に密着させることを特徴とする請求項１に記載のモールドパッケージの製造方法。

【請求項3】

前記樹脂フィルムのうち前記上型と前記下型により直接的または間接的に挟み込まれて固定された状態となる前記離された位置を、前記第２平面に対する法線の方向から見て、前記センサチップのうち前記モールド樹脂より突出させられる部分において前記樹脂フィルムによって覆われた部分の周囲とすることを特徴とする請求項２に記載のモールドパッケージの製造方法。

【請求項4】

前記第２工程では、
前記下型と前記センサチップとの間に前記樹脂フィルムを配置し、
前記第３工程では、
前記溶融したモールド樹脂を、前記下型と、前記樹脂フィルムのうち前記センサチップに向けられた一面と反対側の他面と、の間を通じて前記キャビティ内に流し込むことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一つに記載のモールドパッケージの製造方法。

【請求項5】

前記第１工程では、
前記チップ搭載部材を、前記回路チップ搭載部を有すると共に、前記センサチップの他端側を支持するための第５平面（４ｃａ）と、前記第５平面から前記第５平面と反対側の面（４ｃｂ）まで貫通する貫通孔（４ｃｃ）と、が形成されたセンサチップ支持部（４ｃ）を有する構成とし、
前記第２平面に対する法線の方向から見て、前記第５平面に形成された前記貫通孔の開口部（４ｃｄ）の少なくとも一部を前記樹脂フィルムが内包するように、前記樹脂フィルムを前記第５平面上に配置すると共に、
前記開口部の少なくとも一部が前記第２平面の外方に位置するように、かつ、前記センサチップの第２平面と前記センサチップ支持部の第５平面により前記樹脂フィルムが挟み込まれた状態となるように、前記センサチップを、前記樹脂フィルムを介して前記センサチップ支持部の第５平面上に設置し、
前記樹脂フィルムを介して前記センサチップ支持部によって前記センサチップの他端側が支持された状態のワークを得て、
前記第２工程では、
前記下型として、その内部において、前記下型の外部から注入される前記溶融したモールド樹脂を通過させるための内部通路（９ｂｂ）が形成され、前記内部通路の前記キャビティ側の出口である放出口（９ｂｃ）が前記第４平面に形成された構成とされている下型を用意し、
前記貫通孔が前記内部通路と連通するように前記センサチップ支持部を前記下型の第４平面上に配置し、
前記第３工程では、
前記センサチップ支持部による前記支持を維持した状態にて、前記溶融したモールド樹脂を、前記下型の外部から前記内部通路を介して前記放出口に流し、さらに前記貫通孔に流して、前記貫通孔の開口部から前記キャビティ内に流し込み、
前記第３工程ののちに、前記センサチップの他端側から前記センサチップ支持部を除去することを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一つに記載のモールドパッケージの製造方法。

【請求項6】

前記樹脂フィルムが、ワークを前記金型から離型するために使用される樹脂モールド成形用の離型フィルムであることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか一つに記載のモールドパッケージの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、センサチップの一端側がモールド樹脂で封止され、他端側が外部に露出した構成とされたモールドパッケージの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、センサチップの一端側がモールド樹脂で封止され、他端側が外部に露出した構成とされたモールドパッケージが知られている。この種のモールドパッケージとして、例えば、特許文献１に記載されているものが提案されている。このモールドパッケージは、センサの制御等を行う回路チップと、センシング部を備えたセンサチップとがリードフレームの上面に搭載されると共に、センサチップの一端側がモールド樹脂で封止され、他端側が外部に露出した構成とされている。この種のモールドパッケージの製造方法は、一般に、次の通りである。

【0003】

まず、第１工程として、まず、回路チップと、一端側に回路チップと電気的に接続される電気接続部を有すると共に他端側にセンシング部を有するセンサチップと、回路チップおよびセンサチップを搭載するアイランド部を有するリードフレームとを用意する。次に、アイランド部の上面に回路チップを搭載すると共に、一端側を回路チップ側に位置させつつセンサチップをアイランド部に載せて、電気接続部と回路チップとをボンディングワイヤなどの接続部材を介して電気的に接続する。これにより、アイランド部、回路チップ、接続部材、およびセンサチップよりなるワークが得られる。ここまでが第１工程である。

【0004】

第１工程ののちに、第２工程として、ワークをモールド樹脂成形用の金型に設置する。なお、この金型は上型と下型とにより構成される。

【0005】

第２工程ののちに、第３工程として、アイランド部、回路チップ、接続部材およびセンサチップの一端側をモールド樹脂で封止すると共に、センサチップの他端側をモールド樹脂より突出させる。

【0006】

このような製造方法により、特許文献１に記載されているモールドパッケージは完成する。このモールドパッケージは、最終的にセンサチップの他端側がモールド樹脂より突出した状態となることで、他端側に位置するセンシング部にて正確なセンシングを実現する。

【0007】

ここで、センサチップは、通常、一方の平面と、この一方の平面と反対側の他方の平面とを有する板状とされる。そして、上記の第２工程では、センサチップの一方の平面を下型に形成された平面に接触させると共に他方の平面を上型に形成された平面に接触させるようにワークを設置する。

【0008】

また、この種のモールドパッケージの製造方法では、センサチップを下型に設置する際に、下型の平面に平行な方向かつセンサチップの一端から他端へ向かう方向に垂直な方向において、センサチップの設置位置が目標位置に対してずれてしまうことがある。このため、通常、金型は、その内部空間（下型と上型が重ねられることでできる内部空間）がセンサチップの外形と一致する形状とされない。つまり、金型は、下型と上型が重ねられたときにセンサチップの側面（センサチップのうち一方の平面もしくは他方の平面に隣接する面）に対向する空間において隙間ができる形状とされる。そして、この種のモールドパッケージの製造方法では、このような金型を用いて第２工程が行われたのち、上記の第３工程として、センサチップの一端側を封止するために金型のキャビティ内にモールド樹脂が注入される。ここで、キャビティとは、下型と上型を合致させたときの下型と上型との間の空間である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0009】

【特許文献1】特開平１１−６７５２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0010】

特許文献１に記載されている製造方法では、上記の第３工程におけるセンサチップと金型（上型および下型）との各接触面が平面とされている。従って、この製造方法における第３工程では、下型と上型が重ねられたときに、センサチップが、その一方の平面および他方の平面において金型（上型および下型）と密着状態とされる。このため、この製造方法では、キャビティ内にモールド樹脂を充填する際に、モールド樹脂がセンサチップの一方の面や他方の面に付着することは無い。

【0011】

しかしながら、この製造方法では、上記したように、下型と上型が重ねられたときにセンサチップの側面に対向する空間において隙間ができる構成とされるため、この隙間もモールド樹脂が入り込むキャビティの一部となる。

【0012】

以上のことから、特許文献１に記載されている製造方法では、第３工程において、センサチップの一方の平面や他方の平面にモールド樹脂が付着することは無いものの、センサチップの側面にモールド樹脂が付着する問題が生じていた。このため、センサチップの側面に付着したモールド樹脂をレーザー等によって除去する別途の工程を設けるなどの対応が必要となっていた。

【0013】

本発明は上記点に鑑みて、センサチップの一端側がモールド樹脂で封止され、他端側が外部に露出した構成とされたモールドパッケージの製造方法において、センサチップの側面にモールド樹脂が付着し難い製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0014】

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、回路チップ（２）と、第１平面（３ｃ）、および、第１平面と反対側の第２平面（３ｄ）を有し、一端（３ａ）側に回路チップと電気的に接続される電気接続部（３ｇ）を備えると共に他端（３ｂ）側にセンシング部（３ｆ）を備える板状のセンサチップ（３）と、回路チップを搭載する回路チップ搭載部（４ａ）を備える板状のチップ搭載部材（４）と、を有し、センサチップの一端側がモールド樹脂（６）で封止され、他端側が外部に露出した構成とされたモールドパッケージの製造方法であって、以下の特徴を有する。すなわち、溶融したモールド樹脂を金型（９）の外部から注入してキャビティ（９１）内に充填することによりセンサチップの一端側をモールド樹脂で封止すると共に他端側をモールド樹脂より突出させる工程において、溶融したモールド樹脂を、上型（９ａ）および下型（９ｂ）のうち樹脂フィルム（１０）を挟んでセンサチップの反対側に配置された方と、樹脂フィルムのうちセンサチップに向けられた一面（１０ａ）と反対側の他面（１０ｂ）と、の間を通じてキャビティ内に流し込むことを特徴とする。

【0015】

このため、モールド樹脂とセンサチップ（の側面）との間に備えられた樹脂フィルムがシールドとなることで、モールド樹脂がセンサチップの側面に付着することが抑制され、センサチップの側面にモールド樹脂が付着し難い製造方法とすることができる。

【0016】

なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明の第１実施形態におけるモールドパッケージを示す概略断面図である。

【図2】図１に示すモールドパッケージを示す概略平面図である。

【図3】図１に示すモールドパッケージの第２工程後のワークの概略平面図である。

【図4】図１に示すモールドパッケージの製造工程中におけるモールド封止前の工程を示す概略断面図である。

【図5】図４に続くモールドパッケージの製造工程中におけるモールド封止前の工程を示す概略断面図である。

【図6】図５に続くモールドパッケージの製造工程中におけるモールド封止前の工程を示す概略断面図である。

【図7】図１に示すモールドパッケージのワークをモールド樹脂成形用の金型に設置した状態（モールド封止前）を示す概略断面図である。

【図8】図７のVIII−VIII断面を示した図である。

【図9】図１に示すモールドパッケージのワークをモールド樹脂成形用の金型に設置した状態を下型側から上型側に視たときの概略平面図である。

【図10】図１に示すモールドパッケージのワークをモールド樹脂成形用の金型に設置した状態（モールド封止後）を示す概略断面図である。

【図11】図１０のＸＩ−ＸＩ断面を示した図である。

【図12】図１に示すモールドパッケージの製造工程中におけるモールド封止後の工程を示す概略断面図である。

【図13】図１２に続くモールドパッケージの製造工程中におけるモールド封止後の工程を示す概略断面図である。

【図14】本発明の第２実施形態におけるモールドパッケージのワークをモールド樹脂成形用の金型に設置した状態（モールド封止前）を示す概略断面図である。

【図15】図１４のＸＶ−ＸＶ断面を示した図である。

【図16】図１４に示すモールドパッケージのワークをモールド樹脂成形用の金型に設置した状態を下型側から上型側に視たときの概略平面図である。

【図17】本発明の第３実施形態におけるモールドパッケージのワークを示す概略断面図である。

【図18】図１７に示すモールドパッケージのワークをモールド樹脂成形用の金型に設置した状態（モールド封止前）を示す概略断面図である。

【図19】図１７に示すモールドパッケージのワークをモールド樹脂成形用の金型に設置した状態を下型側から上型側に視たときの概略平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明の実施形態について図１〜１８に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。

【0019】

（第１実施形態）
本発明の第１実施形態に係るモールドパッケージ１について図１〜１３を参照して説明する。

【0020】

図１、２に示すように、本実施形態に係るモールドパッケージ１は、回路チップ２と、センサチップ３と、回路チップ２を搭載するリードフレーム４と、両チップ２、３を電気的に接続するボンディングワイヤ５と、これらを封止するモールド樹脂６とを有する。モールドパッケージ１は、センサチップ３の一端３ａ側がモールド樹脂６で封止され、他端３ｂ側が外部に露出した構成とされている。

【0021】

回路チップ２は、シリコン半導体などを用いて形成され、半導体集積回路を備えた一般的なＩＣチップなどである。回路チップ２は、センサチップ３と電気的に接続されてセンサチップ３の制御等を行うものである。

【0022】

センサチップ３は、回路チップ２と同様、シリコン半導体などを用いて形成され、半導体集積回路を備えた一般的なＩＣチップなどである。図１に示すように、センサチップ３は、一方の平面（以下、第１平面という）３ｃと、第１平面と反対側の他方の平面（以下、第２平面という）３ｄと、第１平面３ｃもしくは第２平面３ｄに隣接する面（以下、側面という）３ｅとを有する板状に構成される。本実施形態では、第１平面３ｃおよび第２平面３ｄに隣接する面が側面３ｅとなる構成とされている。センサチップ３は、長手方向の一端３ａ側が後述する回路チップ２側に位置し、反対側の他端３ｂ側が回路チップ２とは反対側に位置する状態で配置されている。

【0023】

ここで、センサチップ３は、モールド樹脂６より突出する他端３ｂ側にセンシング部３ｆを備えた構成とされている。このセンシング部３ｆは、たとえば圧力検出や流量検出を行う薄肉部としてのメンブレンや、加速度や角速度検出を行う梁構造体などである。ここでは、センシング部３ｆは、センサチップ３の第２平面３ｄ側に設けられている。

【0024】

また、センサチップ３の第１平面３ｃのうち一端３ａ側には、電気接続部としてのパッド３ｇが設けられている。パッド３ｇは蒸着やスパッタなどにより形成されたアルミなどにより構成されている。

【0025】

リードフレーム４は、回路チップ２を搭載する回路チップ搭載部４ａを有するチップ搭載部材である。リードフレーム４は、回路チップ搭載部４ａとしてのアイランド部４ａと、外部との電気的接続を行う端子としてのリード部４ｂとを有する構成とされている。リードフレーム４は、一般的なものと同様、Ｃｕや４２アロイなどの導電性に優れた金属よりなるもので、エッチングやプレスなどにより形成されたものである。リードフレーム４は、センサチップ３の一端３ａに対向するように配置されている。

【0026】

アイランド部４ａは、回路チップ２よりも一回り大きい板状をなし、回路チップ２は、導電性あるいは電気絶縁性の接着剤７を介してアイランド部４ａ上に接着されて固定されている。そして、回路チップ２とリード部４ｂとは、金やアルミなどよりなるボンディングワイヤ８により結線され電気的に接続されている。

【0027】

また、回路チップ２とパッド３ｇとは、金やアルミなどよりなる接続部材としてのボンディングワイヤ５を介して結線され電気的に接続されている。このように、回路チップ２、センサチップ３、リード部４ｂは、各ボンディングワイヤ５、８を介して互いに電気的に接続されている。

【0028】

そして、これら各チップ２、３、リードフレーム４、ボンディングワイヤ５、８は、モールド樹脂６により封止されている。モールド樹脂６は、一般的なエポキシ樹脂などよりなるものであり、金型を用いたトランスファーモールド法などにより成形されたものである。

【0029】

ここで、センサチップ３の他端３ｂ側は、モールド樹脂６より突出して露出している。これにより、センシング部３ｆにおける精度のよい検出が可能とされている。また、リード部４ｂの一部がモールド樹脂６より突出して露出することで、外部との電気的接続が可能とされている。

【0030】

また、図１、２に示すように、センサチップ３の一端３ａ側は、アイランド部４ａに接触して支持される構成とされている。なお、本実施形態において、センサチップ３の一端３ａ側がアイランド部４ａに支持されない構成、すなわちセンサチップ３の一端３ａ側がアイランド部４ａから離された構成としてもよい。

【0031】

次に、本実施形態に係るモールドパッケージ１の製造方法について、図３〜１３を参照して説明する。

【0032】

本製造方法の第１工程では、まず、回路チップ２と、センサチップ３と、アイランド部４ａ、リード部４ｂおよびセンサチップ支持部４ｃを有するチップ搭載部材４としてのリードフレーム４とを用意する。

【0033】

回路チップ２およびセンサチップ３として、それぞれ、シリコン半導体などを用いて形成され、半導体集積回路を備えたＩＣチップを用意する。センサチップ３としては、特に、第１平面３ｃと、第２平面３ｄと、第１平面３ｃおよび第２平面３ｄに隣接する側面３ｅとを有し、第１平面３ｃのうち一端３ａ側にパッド３ｇを備えると共に、他端３ｂ側にセンシング部３ｆを備える板状のＩＣチップを用意する。

【0034】

また、リードフレーム４として、図３に示すように、アイランド部４ａ、リード部４ｂおよびセンサチップ支持部４ｃが、これら４ａ〜４ｃの外側を取り囲むように位置する枠状のフレーム部４ｄに対してタイバー４ｅで連結され、一体化されたものを用意する。なお、図３において、最終的に形成されるモールド樹脂６の外形を一点鎖線で示してある。

【0035】

センサチップ支持部４ｃは、センサチップ３の他端３ｂ側が設けられるべき位置に配置され、センサチップ３の他端３ｂ側においてセンサチップ３の第２平面３ｄを受けて支持するものである（図５を参照）。また、センサチップ支持部４ｃは、センサチップ３の他端３ｂ側を受けて支持する平面４ｃａ、および、該平面４ｃａから該平面と反対側の面４ｃｂまで貫通する貫通孔４ｃｃが形成されたものである（図４を参照）。

【0036】

次に、アイランド部４ａに回路チップ２を搭載すると共に、センサチップ３の一端３ａ側を回路チップ２側に位置させてパッド３ｇと回路チップ２とをボンディングワイヤ５を介して電気的に接続する。

【0037】

具体的には、まず、図４に示すように、センサチップ支持部４ｃのうちセンサチップ３の他端３ｂ側を受けて支持する平面４ｃａに対して樹脂フィルム１０を密着するように貼り付ける。この樹脂フィルム１０は、センサチップ３に対する密着性を有する樹脂よりなる薄膜である。樹脂フィルム１０としては、後述する金型９からワークを離型するために使用される樹脂モールド成形用の離型フィルムであることより好ましく、例えば、ポリイミド樹脂や、フッ素系樹脂、各種の発泡樹脂、あるいはＵＶ硬化性樹脂などを成形したものが採用され得る。

【0038】

このとき、本製造方法では、第２平面３ｄに対する法線の方向から見て、センサチップ支持部４ｃの平面４ｃａに形成された貫通孔４ｃｃの開口部（図３、４の符号４ｃｄ）の少なくとも一部を内包するように、樹脂フィルム１０を配置する。ここでは、図３に示すように、開口部４ｃｄの全部を内包するように樹脂フィルム１０を配置している。

【0039】

そののち、図５に示すように、センサチップ３の第２平面３ｄのうち他端３ｂ側の部分を樹脂フィルム１０に貼り付けるようにして、センサチップ３をセンサチップ支持部４ｃに搭載させる。これにより、センサチップ３は樹脂フィルム１０を介してセンサチップ支持部４ｃの平面４ｃａ上に設置され、樹脂フィルム１０はセンサチップ３の第２平面３ｄと前記センサチップ支持部４ｃの平面４ｃａにより挟み込まれた状態となる。このとき、本製造方法では、第２平面３ｄに対する法線の方向から見て、開口部４ｃｄの少なくとも一部がセンサチップ３の第２平面３ｄの外方に位置するように、センサチップ３を配置する。ここでは、図３に示すように、開口部４ｃｄの全部が第２平面３ｄの外方に位置するように、センサチップ３を配置している。こうして、センサチップ３は、その他端３ｂが、第２平面３ｄに密着した樹脂フィルム１０を介してセンサチップ支持部４ｃによって支持された状態となる。

【0040】

また、図５に示すように、接着剤７を介してアイランド部４ａに回路チップ２を搭載し、固定する。続いて、図６に示すように、回路チップ２とリード部４ｂとの間および回路チップ２とセンサチップ３のパッド３ｇとの間にてワイヤボンディングを行い、これらの間をボンディングワイヤ５、８で電気的に接続する。ここまでが第１工程である。

【0041】

次に、第２工程では、第１工程を経て得られたワークを図７〜９に示すように設置する。

【0042】

まず、上型９ａと下型９ｂとを合致させてなるモールド成形用の金型９を用意する。金型９は、上型９ａと下型９ｂとがワークを挟んだ状態で合致したときにキャビティ９１の一部がモールド樹脂６の外形に対応するような形状とされたものである。図７に示すように、上型９ａおよび下型９ｂとしては、それぞれ、平面を有する構成とされているものを用意する（以下、上型９ａが有する平面を第３平面９ａａ、下型９ｂが有する平面を第４平面９ｂａという）。また、下型９ｂとしては、その内部において、下型９ｂの外部から注入されるモールド樹脂６を通過させるための内部通路９ｂｂが形成され、内部通路９ｂｂのキャビティ９１側の出口である放出口９ｂｃが第４平面９ｂａに形成されているものを用意する。

【0043】

本製造方法では特に、図７、８に示すように、上型９ａとして、一面９ａｂを有し、この一面９ａｂにおいて凹部９ａｃが形成されており、この凹部９ａｃの底面が第３平面９ａａとされたものを用意する。

【0044】

このような金型９を用意したのち、第１工程を経て得られたワーク（図６を参照）を金型９に設置する。なお、本製造方法では、上型９ａからワークを容易に離型できるようにするために、図７に示すように、上記樹脂フィルム１０とは別の樹脂モールド成形用の離型フィルム１１を上型９ａの外形に倣うように設けている。

【0045】

このとき、図７，８に示すように、センサチップ３の第１平面３ｃが上型９ａの第３平面９ａａに向けられると共に第２平面３ｄが下型９ｂの第４平面９ｂａに向けられるようにワークを配置する。また、センサチップ３を、上型９ａと下型９ｂにより直接的または間接的に挟まれた状態とする。また、下型９ｂとセンサチップ３との間に樹脂フィルム１０を配置する。よって、本製造方法では、センサチップ３が樹脂フィルム１０などを介して上型９ａと下型９ｂにより挟み込まれた状態とされる。また、本製造方法では、センサチップ３の一端３ａ側をキャビティ９１内に配置する。また、本製造方法では、貫通孔４ｃｃが内部通路９ｂｂと連通するようにセンサチップ支持部４ｃを下型９ｂの第４平面９ｂａ上に配置する。すなわち、第２平面３ｄに対する法線の方向から見て、貫通孔４ｃｃのうち上記開口部４ｃｄと反対側の開口部（面４ｃｂに形成された開口部）４ｃｅが放出口９ｂｃにオーバーラップするように、センサチップ支持部４ｃを下型９ｂの第４平面９ｂａ上に配置する。

【0046】

また、第２平面３ｄに対する法線の方向から見て、センサチップ３のうちモールド樹脂６より突出させられる部分において樹脂フィルム１０によって覆われた部分の周囲（図９の実線ハッチング部分）において、樹脂フィルム１０が固定された状態となるようにする。より具体的には、上記周囲（図９の実線ハッチング部分）において、樹脂フィルム１０が上型９ａと下型９ｂとにより直接的または間接的に挟み込まれて固定された状態となるようにする。本製造方法では、上記周囲において、図７、８に示すように、樹脂フィルム１０が、離型フィルム１１やセンサチップ支持部４ｃを介して、上型９ａの一面９ａｂと下型９ｂの第４平面９ｂａとにより挟み込まれて固定された状態となるようにしている。

【0047】

次に、第３工程では、溶融したモールド樹脂６を金型９の外部から注入してキャビティ９１内に充填することにより、アイランド部４ａ、回路チップ２、ボンディングワイヤ５、８およびセンサチップ３の一端３ａ側をモールド樹脂６で封止する。そして、センサチップ３の他端３ｂ側をモールド樹脂６より突出させる。

【0048】

具体的には、まず、上記のようにワークを金型９に配置したのち、センサチップ支持部４ｃによるセンサチップ３の他端３ｂ側の支持を維持した状態にて、溶融したモールド樹脂６を、下型９ｂの外部から内部通路９ｂｂ内へ注入する。上記したように内部通路９ｂｂが貫通孔４ｃｃと連通しているため、注入したモールド樹脂６は、内部通路９ｂｂ内を通過して放出口９ｂｃ、さらには貫通孔４ｃｃへと至り、貫通孔４ｃｃの開口部４ｃｄからキャビティ９１内に放出されることとなる。

【0049】

そして、本製造方法では、上記したように、第２平面３ｄに対する法線の方向から見て、貫通孔４ｃｃの開口部４ｃｄの少なくとも一部を内包するように樹脂フィルム１０が配置されている。このため、開口部４ｃｄから放出されるモールド樹脂６が、樹脂フィルム１０のうち第２平面３ｄの外方の部分に対して下面（センサチップ支持部４ｃに対向する面）側から衝突する。これにより、樹脂フィルム１０のうち開口部４ｃｄの周辺の部分が下型９ｂ側から上型９ａ側に押し上げられる。そののち、モールド樹脂６は、樹脂フィルム１０のうち、センサチップ３と、上型９ａと下型９ｂとの間において固定された部分との間の領域（図９の破線ハッチング部分。以下、押上げ領域という）を下型９ｂ側から上型９ａ側に押し上げつつ進行する。そして、モールド樹脂６は、キャビティ９１内に充填されていく。

【0050】

このように、本製造方法では、モールド樹脂６を、下型９ｂと、樹脂フィルム１０のうちセンサチップ３に向けられた一面１０ａと反対側の他面１０ｂとの間を通じてキャビティ９１内に流し込む。

【0051】

このため、本製造方法では、モールド樹脂６とセンサチップ３（の側面３ｅ）との間に備えられた樹脂フィルム１０がシールドとなることで、モールド樹脂６がセンサチップ３の側面３ｅに付着することが抑制される。

【0052】

また、本製造方法では特に、上記したように、センサチップ３の上記周囲（図９の実線ハッチング部分）において、樹脂フィルム１０を固定された状態としている。このように樹脂フィルム１０を固定した状態とすることで、モールド樹脂６が下型９ｂと樹脂フィルム１０の他面１０ｂとの間に流し込まれた際に、モールド樹脂６の流れによって樹脂フィルム１０がしわ寄せされるように変形されることが防止される。また、上記のように樹脂フィルム１０を固定することで、樹脂フィルム１０のうち上記押上げ領域（図９の破線ハッチング部分）の部分は、モールド樹脂６に押されることにより、伸ばされて張った状態で下型９ｂ側から上型９ａ側に押し上げられ易くなる。つまり、樹脂フィルム１０のうち上記押上げ領域の部分は、しわとならずに押し上げられ易くなる。

【0053】

このため、本製造方法における封止では、図１０、１１に示すように、樹脂フィルム１０が、センサチップ３の側面３ｅの外形や第３平面９ａａの外形（より正確には離型フィルム１１の外形）に沿って変形し、これら各面３ｅ、９ａａ、１１に密着し易くなる。ここで、樹脂フィルム１０がセンサチップ３の側面３ｅに密着していれば、モールド樹脂６が回路チップ２側からセンサチップ３側に流れ込んできた場合でも、モールド樹脂６が樹脂フィルム１０とセンサチップ３の側面３ｅとの間に流れ込むことを防止できる。本製造方法では、上記のように樹脂フィルム１０を固定された状態とすることで樹脂フィルム１０がセンサチップ３の側面３ｅに密着し易くなるようにすることにより、センサチップ３の側面３ｅにモールド樹脂６がより付着し難くなる。

【0054】

本製造方法では、樹脂フィルム１０を、第２平面３ｄに対する法線の方向から見て、貫通孔４ｃｃの開口部４ｃｄの少なくとも一部を内包する程度に大きい寸法で、かつ、センサチップ３の側面３ｅの寸法に対応する寸法としている。ここで、「センサチップ３の側面３ｅの寸法に対応する寸法」とは、第３工程において、上記のように樹脂フィルム１０が押し上げられてセンサチップ３の側面３ｅに密着してモールド樹脂６の付着を抑制できる程度に大きい寸法をいう。具体的には、例えば、センサチップ３の側面３ｅのうち他端３ｂ側の全面に樹脂フィルム１０が密着する程度に大きい寸法などとすることが好ましい。

【0055】

以上説明したように、センサチップ支持部４ｃによるセンサチップ３の他端３ｂ側の支持を維持した状態にて、キャビティ９１に溶融したモールド樹脂６を注入し充填し、モールド樹脂６による封止が行われる。そして、センサチップ３の他端３ｂ側のうち第１平面３ｃ、第２平面３ｄおよび側面３ｅは露出し、チップ３の一端３ａ側のみがモールド樹脂６で封止される。このようにして、第３工程が完了し、図１２に示すようなワークが得られる。

【0056】

こののち、図１３に示すように、リードフレーム４からセンサチップ支持部４ｃをカットして、センサチップ３の他端３ｂ側からセンサチップ支持部４ｃを除去する。具体的には、まず、ワークから離型フィルム１１を除去し、カット型によりフレームと一緒にモールド樹脂６を打ち抜くことで、センサチップ３の側面３ｅ付近に形成されたモールド樹脂６などのモールド樹脂６の不要部分を除去する。次に、リードフレーム４におけるタイバー４ｅをカットして、アイランド部４ａおよびリード部４ｂを残して、フレーム部４ｄとともにセンサチップ支持部４ｃおよび樹脂フィルム１０を除去する。こうして、本モールドパッケージ１が完成する（図１を参照）。

【0057】

上記で説明したように、本製造方法では、モールド樹脂６を、下型９ｂと、樹脂フィルム１０のうちセンサチップ３に向けられた一面１０ａと反対側の他面１０ｂとの間を通じてキャビティ９１内に流し込む。このため、本製造方法では、モールド樹脂６とセンサチップ３（の側面３ｅ）との間に備えられた樹脂フィルム１０がシールドとなることで、モールド樹脂６がセンサチップ３の側面３ｅに付着することが抑制される。

【0058】

また、本製造方法では、モールド樹脂６による封止前において、センサチップ３を、その他端３ｂ側にてセンサチップ支持部４ｃにより支持している。このため、本製造方法によれば、封止前におけるセンサチップ３のぐらつきを防止して、工程中のワークの取り扱い性に優れた製造方法を実現することができる。

【0059】

（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について図１４〜１６に基づいて説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して、センサチップ支持部４ｃの形状を変更したものあり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、第１実施形態と異なる部分についてのみ説明する。

【0060】

本実施方法における第１工程では、リードフレーム４として、センサチップ支持部４ｃのうちセンサチップ３の他端３ｂ側を受けて支持する側の平面４ｃａにおいて溝４ｃｆが形成されたものを用意する（図１４〜１６を参照）。

【0061】

図１６に示すように、溝４ｃｆは、第２平面３ｄに対する法線の方向から見て、樹脂フィルム１０の押上げ領域に形成されている。この押上げ領域は、第１実施形態の場合と同様、第２平面３ｄに対する法線の方向から見て、樹脂フィルム１０のうち、センサチップ３と、上型９ａと下型９ｂとの間において固定された部分との間の領域（図１６の破線ハッチング部分）である。また、溝４ｃｆは、平面４ｃａに対する法線の方向から見て、貫通孔４ｃｃにオーバーラップするように形成されている。すなわち、溝４ｃｆは、貫通孔４ｃｃと連続的に形成されている。さらに、溝４ｃｆは、貫通孔４ｃｃの位置からセンサチップ３を挟んだ両側を通じて回路チップ２側の端部まで連続的に形成されている。

【0062】

上記したような溝４ｃｆが樹脂フィルム１０の上記押上げ領域に形成されていることで、本実施形態における第３工程では、開口部４ｃｄから放出されるモールド樹脂６が、溝４ｃｆを通って上記押上げ領域の全体に流れ易くなる。さらに、上記したような溝４ｃｆが貫通孔４ｃｃと連続的かつ樹脂フィルム１０のうち回路チップ２側の端部まで連続的に形成されていることで、貫通孔４ｃｃから放出されたモールド樹脂６が回路チップ２側に流れ易くなる。さらに、上記したような溝４ｃｆが貫通孔４ｃｃの位置からセンサチップ３を挟んだ両側を通じて連続的に形成されていることで、開口部４ｃｄから放出されるモールド樹脂６がより効率的に上記押上げ領域の全体に流れ易くなり、回路チップ２側に流れ易くなる。

【0063】

（他の実施形態）
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。

【0064】

例えば、第１、２実施形態においては、チップ搭載部材をリードフレーム４として構成していたが、チップ搭載部材としては、回路チップ２などを搭載する部材であればリードフレーム以外の部材であってもよい。すなわち、例えば、チップ搭載部材を配線基板として構成してもよい。

【0065】

また、第１、２実施形態における樹脂フィルム１０として、少なくともモールド樹脂６を透過しない材質であればどのようなものであってもよく、樹脂以外の材質のフィルムを用いることもできる。なお、樹脂フィルム１０としては、センサチップ３のうち第１平面３ｃもしくは第２平面３ｄに隣接する面３ｅに対する密着性を有し、モールド樹脂６に押されて伸びる程度の塑性を有するものであることがより好ましい。

【0066】

また、第１、２実施形態における製造方法では、下型９ｂとセンサチップ３との間に樹脂フィルム１０を配置するようにしていたが、上型９ａとセンサチップ３との間に樹脂フィルム１０を配置するようにしてもよい。なお、この方法では、第１、２実施形態のように離型フィルム１１を上型９ａの外形に倣うように設ける場合、上型９ａから離型フィルム１１を挟んで反対側に樹脂フィルム１０を設けることとなる。

【0067】

また、第１、２実施形態における製造方法では、チップ搭載部材としてセンサチップ支持部４ｃを有するものを用いていたが、センサチップ支持部４ｃを有さないもの（例えば、回路チップ搭載部４ａとリード部４ｂのみを有するリードフレーム４）を用いてもよい。すなわち、例えば、第１、２実施形態における第１工程にてセンサチップ支持部４ｃを省いたワーク（図１７を参照）を得て、センサチップ支持部４ｃを介さずに樹脂フィルム１０を下型９ｂの第４平面９ｂａに対して直接的に設置するようにしてもよい（図１８、１９を参照）。この場合、センサチップ支持部４ｃによる封止前におけるセンサチップ３のぐらつきを防止する効果は得られないものの、第１、２実施形態と同様、モールド樹脂６がセンサチップ３の側面３ｅに付着することが抑制される等の効果が得られる。

【0068】

また、第１、２実施形態では、第２平面３ｄに対する法線の方向から見て、センサチップ３のうちモールド樹脂６より突出させられる部分において樹脂フィルム１０によって覆われた部分の周囲において、樹脂フィルム１０が固定された状態となるようにしていた。しかしながら、樹脂フィルム１０を固定する領域は、上記周囲に限られず、第２平面３ｄに対する法線の方向から見てセンサチップ３から離された別の領域であってもよい。例えば、第１、２実施形態において、センサチップ３の第２平面３ｄを多角形（例えば、四角形）とした場合に、この多角形を構成する辺のうち一部の辺（例えば、対向する２辺）に対応する位置のみにおいて樹脂フィルム１０を固定するようにしてもよい。この場合においても、センサチップ３と、樹脂フィルム１０のうち上型９ａと下型９ｂとの間において固定された部分との間にモールド樹脂６を流した際には、モールド樹脂６の流れによって樹脂フィルム１０がしわ寄せされるように変形されることが防止される。

【符号の説明】

【0069】

１ モールドパッケージ
３ センサチップ
３ｅ センサチップの側面
４ リードフレーム
４ｃ リードフレームのセンサチップ支持部
４ｃｃ 貫通孔
４ｃｄ 開口部
４ｃｆ 溝
６ モールド樹脂
９ 金型

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】