特許6033652両面研削装置における静圧パッドの熱変形防止装置および両面研削装置

発明の名称　両面研削装置における静圧パッドの熱変形防止装置および両面研削装置

出願人　光洋機械工業株式会社　（識別番号 167222）

　　　　特許公開件数ランキング 3969 位（4件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4213 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6033652

公報発行日　2016年11月30

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6033652

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