知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
- 弁理士法人プロスペック特許事務所 (東京、名古屋、在宅勤務可)
▶ 株式会社ＳＣＲＥＥＮセミコンダクターソリューションズの特許一覧 ▶ 株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングスの特許一覧
特許6034144処理液供給装置およびこれを備えた基板処理装置
発明の名称 処理液供給装置およびこれを備えた基板処理装置
出願人 株式会社ＳＣＲＥＥＮセミコンダクターソリューションズ （識別番号 506322684）
特許公開件数ランキング 31340 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 25341 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス （識別番号 207551）
特許公開件数ランキング 59 位（428件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 69 位（332件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6034144
公報発行日 2016年11月30
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6034144
知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6034144「処理液供給装置およびこれを備えた基板処理装置」の公報全文を閲覧することができます。
ログインはこちら ログイン・ユーザー登録