特許6036946炭化珪素単結晶の製造方法および製造装置

発明の名称　炭化珪素単結晶の製造方法および製造装置

出願人　住友電気工業株式会社　（識別番号 2130）

　　　　特許公開件数ランキング 81 位（690件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 50 位（749件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6036946

公報発行日　2016年11月30

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6036946

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