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特許 6037691出願番号 特願 2012-157489
回転型アクチュエータ
出願人 国立大学法人九州大学（識別番号 504145342）
2026年 特許公開件数ランキング 544位 94件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 471位 79件（※）
出願人 富士電機株式会社（識別番号 5234）
2026年 特許公開件数ランキング 45位 460件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 28位 523件（※）
公報発行日 2016年12月7
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6037691 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
特許文献２に記載の技術では、可動電極と検出用電極の間に生じる静電容量の変化が小さくなるため、回転角度の検出精度が低くなってしまう。 本発明は事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、可動電極の回転方向及び回転角度の双方を検出することができ、かつ回転角度の検出精度が低くなることを抑制できる回転型アクチュエータを提供することにある。課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】回転型アクチュエータの構成を示す平面図である。
【図2】図１のＡ−Ａ´断面図である。
【図3】図１の変形例を示す平面図である。
【図4】回転型アクチュエータの製造方法を示すための断面図である。
【図5】回転型アクチュエータの製造方法を示すための断面図である。
【図6】可動電極の回転角度と、可動電極と第１検出用電極の間に生じる静電容量との関係を示す図である。
【図7】可動電極の回転角度と、可動電極と第２検出用電極の間に生じる静電容量との関係を示す図である。
【図8】可動電極を１ｋＨｚで±５°の範囲で振動させたときの、可動電極と第１検出用電極の間の静電容量の変化を示す図である。
【図9】可動電極を１ｋＨｚで±５°の範囲で振動させたときの、可動電極と第２検出用電極の間の静電容量の変化を示す図である。
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
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