特許第6037994号(P6037994)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6037994光酸発生化合物およびそれを含むフォトレジスト組成物、そのフォトレジストを含むコーティングされた物品、並びに物品を製造する方法
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