特許 6039253 振動波駆動装置および、振動波駆動装置を搭載した機器。

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6039253

(24)【登録日】2016年11月11日

(45)【発行日】2016年12月7日

(54)【発明の名称】振動波駆動装置および、振動波駆動装置を搭載した機器。

(51)【国際特許分類】

   H02N 2/00 20060101AFI20161128BHJP

   H02N 2/12 20060101ALI20161128BHJP

【ＦＩ】

   H02N2/00

   H02N2/12

【請求項の数】5

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2012-134519(P2012-134519)

(22)【出願日】2012年6月14日

(65)【公開番号】特開2013-258866(P2013-258866A)

(43)【公開日】2013年12月26日

【審査請求日】2015年6月8日

(73)【特許権者】

【識別番号】000001007

【氏名又は名称】キヤノン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100126240

【弁理士】

【氏名又は名称】阿部 琢磨

(74)【代理人】

【識別番号】100124442

【弁理士】

【氏名又は名称】黒岩 創吾

(72)【発明者】

【氏名】末藤 啓

【審査官】 槻木澤 昌司

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−２６３７６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０３−０３６９６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０７−２３６２８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０６−２６１５６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０５−２６０７６８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０２Ｎ ２／００

Ｈ０２Ｎ ２／１２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

電気−機械エネルギー変換素子と、
前記電気−機械エネルギー変換素子が設けられた振動体と、
前記振動体と加圧接触する移動体と、
前記振動体と前記移動体とを加圧する加圧ばねが設けられた加圧手段と、
を有する振動波駆動装置であって、
前記移動体は、
前記加圧手段と接触するひとつのばね受け部と、
同心状に設けられた少なくとも２つの本体部と、
前記振動体に接触する少なくとも２つの接触部と、
前記ひとつのばね受け部と前記少なくとも２つの本体部の間に同心状に設けられた弾性部材を備えることを特徴とする振動波駆動装置。

【請求項2】

前記移動体の前記接触部は、前記加圧手段からの加圧力によって弾性変形可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載の振動波駆動装置。

【請求項3】

前記弾性部材における前記加圧手段からの加圧力によって該加圧力の方向に変形する変形量は、前記移動体の前記接触部の前記加圧手段からの加圧力によって該加圧力の方向に変形する変形量よりも大きいことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の振動波駆動装置。

【請求項4】

前記移動体の前記本体部及び前記接触部は、夫々円環状に形成されており、前記振動体に対して同心円状に設けられていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の振動波駆動装置。

【請求項5】

請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動波駆動装置を搭載した機器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、振動体に移動体を加圧接触させ摩擦駆動するいわゆる振動波駆動装置（振動波モータ）に関し、特に振動波駆動装置の加圧構造に関するものである。

【背景技術】

【0002】

一般に、振動波駆動装置は、進行性振動波が形成される振動体と、振動体に加圧接触する移動体とを有し、振動体と移動体とを進行性振動波により摩擦駆動させることにより駆動力を得る。
従来において、このような振動波駆動装置として、例えば特許文献１では図６（ａ）に示すような構成の振動波駆動装置が提案されている。
図６（ａ）において、ハウジング１０１に固定された振動体１０２は円環状をしており、弾性体１０２ｂの上部には複数の突起１０２ｄが全周にわたって設けられている。弾性体１０２ｂはステンレス鋼からなり、突起１０２ｄに耐久性を高めるための窒化処理をしている。
圧電セラミックス１０２ａは、弾性体１０２ｂの底面に接着剤にて接着され、モータ駆動時に不図示の駆動回路により位相差を有する２つの交流電圧が印加され、進行性振動波を発生させる。
移動体１０３は、円環状をしており、焼入処理をしたステンレス鋼で形成されている。
移動体１０３の上面にはばね受け部材１０４及び加圧部材１０５が取り付けられている。

【0003】

加圧部材１０５は、ディスク１０５ａ、加圧ばね１０５ｂ、及び加圧ばねゴム１０５ｃから構成されており、移動体１０３に加圧力を付与している。
加圧ばね１０５ｂの内周部は、出力軸１０６に焼嵌めされたディスク１０５ａに取り付けられており、移動体１０３の駆動力を出力軸１０６に伝達している。
ばね受け部材１０４は、円環状の錘部材１０４ａと制振ゴム１０４ｂから構成されている。
これにより、移動体１０３に発生する不要な振動を防止し、騒音の発生や効率の低下を抑えており、振動波駆動装置の安定した駆動を実現している。

【0004】

図６（ｂ）に、図６（ａ）に示す振動波モータの一部を拡大した断面図を示す。
図６（ｂ）において、移動体１０３は本体部１０３ａ、複数の支持部１０３ｂ、及び振動体１０２の突起１０２ｄに摩擦接触する摺動面を有する複数の接触部１０３ｃから構成されている。
支持部１０３ｂ及び接触部１０３ｃは、ばね性を有する厚みで形成されており、振動体１０２に対して安定した接触が可能となっている。
また、接触部が複数設けられているため、接触面積が広く、振動波モータの耐久性を向上させることができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１０−２６３７６９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、上記図６（ａ）及び図６（ｂ）に示す従来例のような振動波駆動装置においては、つぎのような課題を有している。
すなわち、加工の誤差や組立の誤差により、移動体１０３の複数の接触部１０３ｃ間に高低差が生じる場合がある。
この高低差が大きくなるほど、移動体１０３の一方の接触部に作用する面圧が大きくなる。
そして、加圧付与時の移動体１０３の接触部の加圧力方向の変形量よりも該高低差が大きくなると、移動体１０３の一方の接触部のみで振動体１０２と接触し、移動体１０３の他方の接触部は振動体１０２と接触しなくなる。

【0007】

これにより、移動体１０３の一方の接触部に作用する面圧が、複数の接触部で振動体１０２に接触していた場合よりも増大し、摩耗が局所的に進みやすくなり、振動波駆動装置の耐久性能が悪化する恐れがある。
さらに、局所的に摩耗が進むことにより移動体１０３の接触部の平面性が悪化し、振動波駆動装置の出力や効率が低下し、鳴きと呼ばれる異音の発生が起きやすくなってしまう。
また、複数の接触部１０３ｃの摩耗の進み方が異なると、振動波駆動装置の長期の駆動の間、接触部１０３ｃに付与される加圧力のバランスが常に変化するので、振動波駆動装置の出力が安定しなくなる恐れがある。
さらに、例えば、複数の接触部１０３ｃの発生するトルクを均等にするために、内側に配置された接触部に付与される加圧力を増加させるなど、複数の接触部１０３ｃにかかる加圧力のバランスを調整する場合がある。
そのために、従来例の場合、移動体１０３の支持部１０３ｂ及び接触部１０３ｃの加圧力方向の剛性を変化させて加圧のバランスを調整していた。
しかし、支持部１０３ｂ及び接触部１０３ｃの加圧力方向の剛性を変化させると、振動体１０２の振動に対する接触部１０３ｃの追従性が変わり、振動波駆動装置の性能が変化するため、容易に加圧力のバランスのみ変化させることが困難であった。

【0008】

これらに対処するため、図７に示すように、複数の移動体１１３を複数のばね受け部材１１４及び加圧部材１１５によって夫々独立に加圧すると、複数の接触部１１３ｃ間に高低差が生じても、振動体１１２と接触を保つことができる。
また、複数の移動体１１３に付与される加圧力を夫々独立に調整可能となる。
しかしながら、上記図７に示すような振動波駆動装置においては、ばね受け部材１１４及び加圧部材１１５が加圧力方向に積み重なるように配置されているため、振動波駆動装置が大型化するとともに、イナーシャが増大し、振動波駆動装置の制御性能が悪化する。
また、部品点数が大幅に増加するため、コストが増加してしまう。
以上のように、従来の振動波駆動装置では、移動体の複数の接触部間に高低差が生じると、振動波駆動装置の耐久性能が低下するとともに、出力性能が低下するという課題があった。
また、複数の移動体を独立に加圧できる構成にすると、振動波駆動装置の制御性能が低下するという課題があった。

【0009】

本発明は、上記課題に鑑み、移動体の接触部の局所的な摩耗を低減し、長期の駆動による性能の劣化を低減することが可能となる振動波駆動装置を提供することを目的とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の振動波駆動装置は、電気−機械エネルギー変換素子と、
前記電気−機械エネルギー変換素子が設けられた振動体と、
前記振動体と加圧接触する移動体と、
前記振動体と前記移動体とを加圧する加圧ばねが設けられた加圧手段と、
を有する振動波駆動装置であって、
前記移動体は、
前記加圧手段と接触するひとつのばね受け部と、
同心状に設けられた少なくとも２つの本体部と、
前記振動体に接触する少なくとも２つの接触部と、
前記ひとつのばね受け部と前記少なくとも２つの本体部の間に同心状に設けられた弾性部材を備えることを特徴とする。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、移動体の接触部の局所的な摩耗を低減し、長期の駆動による性能の劣化を低減することが可能となる振動波駆動装置を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の実施例１に係る振動波駆動装置の構成を説明する断面図。

【図2】本発明の実施例１の図１に示す振動波駆動装置の一部を拡大した断面図。

【図3】（ａ）は本発明の実施例１に係る振動波駆動装置の第１の変形例に係る振動波駆動装置の一部を拡大した断面図。（ｂ）はその第２の変形例に係る振動波駆動装置の一部を拡大した断面図。

【図4】本発明の実施例２に係る振動波駆動装置の一部を拡大した断面図。

【図5】本発明の実施例３に係る振動波駆動装置の一部を拡大した断面図。

【図6】（ａ）は従来例における振動波駆動装置の構成を説明する断面図。（ｂ）はその振動波駆動装置の一部を拡大した断面図。

【図7】従来例における振動波駆動装置の一部を拡大した断面図。

【発明を実施するための形態】

【0013】

本発明を実施するための形態を、以下の実施例により説明する。

【実施例】

【0014】

以下に、本発明の実施例について説明する。
［実施例１］
実施例１として、本発明を適用した振動波駆動装置の構成例について、図１を用いて説明する。
本実施例の振動波駆動装置は、図１に示すように、円環状に形成されており、振動体２と、この振動体と摩擦接触する移動体３を備えている。
振動体２は、電気量を機械量に変換する電気−機械エネルギー変換素子による圧電素子２ａと、この圧電素子２ａと結合された弾性体２ｂとによって形成されている。
そして、圧電素子２ａに駆動電圧（交流電圧）を印加し、公知の技術により、振動体２に進行性の振動波により楕円運動を生じさせ、これによって移動体３を振動体２と摩擦駆動により相対的に回転させる。
弾性体２ｂは、基部２ｃ、突起部２ｄ、及び基部２ｃから延出し、弾性体２ｂをハウジング１に固定するためのフランジ部２ｅから構成されている。
突起部２ｄは、基部２ｃの外周側に沿って、弾性体２ｂの中心軸に対して同心円状に配置されている。突起部２ｄの移動体３側の面が移動体３との摺動面となっている。
弾性体２ｂは、金属製の弾性部材であり、本実施例ではステンレス鋼で形成されている。さらに、耐久性を高めるための硬化処理として、突起部２ｄの移動体３との摺動面を窒化処理している。

【0015】

移動体３は、円環状に形成されており、本体部３ａ、支持部３ｂ、接触部３ｃ、加圧力調節部（加圧力調節手段）３ｄ、及びばね受け部３ｅから構成されている。
ばね受け部３ｅの上面には加圧部材（加圧手段）５が取り付けられており、加圧部材５は、ディスク５ａと加圧ばね５ｂ、及び加圧ばねゴム５ｃからなる。加圧ばね５ｂの内周部は出力軸６に焼嵌めされたディスク５ａに取り付けられており、移動体３の駆動力を出力軸６に伝達している。

【0016】

加圧ばねゴム５ｃはブチルゴムやクロロプレンゴム等で形成されている。
加圧ばねゴム５ｃの弾性変形により、移動体３のばね受け部３ｅの加圧ばねゴム５ｃが設けられている面の平面度の影響を緩和している。
そのため、加圧ばね５ｂからの加圧力が移動体３に回転方向のムラなく均一に付与され、振動体２と移動体３の安定した接触が保たれている。

【0017】

出力軸６は、ハウジング１に固定された外輪と、出力軸６の外周に嵌合した内輪とを有する一対の転がり軸受７ａ、７ｂによって回転自在に支持される。
転がり軸受７ａの内輪は、移動体３を振動体２に適切な力で加圧接触させるための加圧ばね５ｂの変位量分だけ予圧がかけられている。これにより、転がり軸受７ａの径方向のがたが排除され、出力軸６の径方向の振れを抑えることができる。

【0018】

図２に、図１に示す振動波駆動装置の一部を拡大した断面図を示す。
図２において、移動体３は、２つの本体部３ａ−１、３ａ−２、２つの支持部３ｂ−１、３ｂ−２、及び振動体２の突起２ｄに摩擦接触する摩擦面を有する２つの接触部３ｃ−１、３ｃ−２、２つの加圧力調節部３ｄ−１、３ｄ−２、ばね受け部３ｅから構成されている。
本実施例では、本体部３ａ−１、３ａ−２、支持部３ｂ−１、３ｂ−２、接触部３ｃ−１、３ｃ−２は、焼入処理したステンレス鋼で形成されている。
２つの接触部３ｃ−１、３ｃ−２は、振動体２の中心軸に対して同心円状に配置されるように形成されている。
支持部３ｂ−１、３ｂ−２及び接触部３ｃ−１、３ｃ−２は、ばね性を有する厚みで形成されており、それぞれが片持ち梁断面構造を有する。
そのため、支持部３ｂ−１、３ｂ−２、及び接触部３ｃ−１、３ｃ−２は、移動体３の回転軸方向及び径方向にそれぞれ弾性変形可能となっている。
本発明において、回転軸とは、移動体が相対的に回転する際に回転の中心となる軸を示し、径方向とは回転軸方向と垂直な方向を示す。

【0019】

また、支持部３ｂ−１、３ｂ−２は夫々の本体部３ａ−１、３ａ−２から内径側に延出しており、接触部３ｃ−１、３ｃ−２は夫々の支持部端部から外径側に延出している。
さらに、接触部３ｃ−１、３ｃ−２の摩擦面の回転軸方向及び径方向の変位が周方向で一様になるように、支持部３ｂ−１、３ｂ−２及び接触部３ｃ−１、３ｃ−２の厚みは周方向で均一に形成されている。
これにより、振動体２の振動時の突起２ｄの上面の傾斜と、接触部３ｃ−１、３ｃ−２の摩擦面の傾斜は、平行を保ったまま接触を繰り返す。
そのため、接触部３ｃ−１、３ｃ−２の摩擦面は全面にわたって振動体２との接触が可能となる。

【0020】

加圧力調節部３ｄは、第１の加圧力調節部３ｄ−１と、第２の加圧力調節部３ｄ−２から構成されている。
第１の加圧力調節部３ｄ−１は、移動体３の外径側に配置された本体部３ａ−１の上面とばね受け部３ｅとの間に設けられている。
第２の加圧力調節部３ｄ−２は、移動体３の内径側に配置された本体部３ａ−２の上面とばね受け部３ｅとの間に設けられている。
２つの加圧力調節部３ｄ−１、３ｄ−２は、円環状であり、振動減衰性能が高いブチルゴムやシリコーンゴム等の圧力調節部材で形成されている。
そして、ばね受け部３ｅは、真鍮で形成された円環状の錘部材で構成されている。
そのため、２つの加圧力調節部３ｄ−１、３ｄ−２とばね受け部３ｅとにより、振動波駆動装置の駆動中に発生する移動体３の不要な振動を抑え、振動波駆動装置の騒音や出力の低下を防止している。

【0021】

さらに、加圧部材５の加圧ばね５ｂからの加圧力によって、移動体３の２つの支持部３ｂ、接触部３ｃ、及び加圧力調節部３ｄは加圧力の方向に弾性変形する。ここで、加圧力の方向とは、本実施例においては移動体３の回転軸方向と同一である。
このとき、加圧力調節部３ｄは、焼入処理したステンレス鋼で形成されている支持部３ｂ及び接触部３ｃよりも剛性が低いゴム材料で形成されている。
よって、加圧部材５からの加圧力によって加圧力方向に変形する移動体３の外径側に配置された第１の加圧力調節部３ｄ−１の変形量は、該加圧力による移動体３の外径側に配置された支持部３ｂ−１及び接触部３ｃ−１の変形量よりも大きくなっている。
また、同様に、加圧部材５からの加圧力によって加圧力方向に変形する移動体３の内径側に配置された第２の加圧力調節部３ｄ−２の変形量は、該加圧力による移動体３の内径側に配置された支持部３ｂ−２及び接触部３ｃ−２の変形量よりも大きくなっている。

【0022】

これにより、加工の誤差や組立の誤差等により２つの接触部３ｃ−１、３ｃ−２間に高低差が生じても、加圧付与時に２つの加圧力調節部３ｄが大きく変形することで高低差が緩和される。
よって、高低差によって生じる２つの接触部３ｃに作用する面圧の変化を抑制することができる。
そのため、従来構造では課題となっていた、接触部の高低差に伴って発生していた局所的な摩耗やモータ性能の劣化を低減することが可能となる。
また、２つの接触部３ｃ−１、３ｃ−２の摩耗の進み方が異なっても、２つの接触部３ｃ−１、３ｃ−２に付与させる加圧力のバランスはほとんど変化しないため、振動波駆動装置の長期にわたる駆動中も安定した出力が得られるようになる。

【0023】

さらに、２つの加圧力調節部３ｄ−１、３ｄ−２の剛性の比を変更することで、移動体３の２つの接触部３ｃ−１、３ｃ−２に付与される加圧力のバランスを容易に調整することができる。
例えば、２つの接触部３ｃ−１、３ｃ−２が発生するトルクを均等にする場合、内径側に配置された加圧力調節部３ｄ−２の径方向の幅を大きくし、加圧力の方向に垂直な面の面積を外径側に配置された加圧力調節部３ｄ−１よりも大きくする。
これにより、外径側に配置された加圧力調節部３ｄ−１よりも内径側に配置された加圧力調節部３ｄ−２の方が、加圧力方向の剛性が高くなる。
よって、外径側に配置された接触部３ｃ−１に作用する加圧力よりも、内径側に配置された接触部３ｃ−２に作用する加圧力が高くなり、接触部の径の比を相殺するような加圧力の比にすることで、発生するトルクが均等になる。
２つの加圧力調節部３ｄの剛性は、加圧力調節部の径方向の幅だけでなく、厚みやゴムの種類などを変更することでも調整することが可能となっている。
これにより、従来構造のように、振動波駆動装置の性能に影響が大きい移動体３の支持部３ｂや接触部３ｃの加圧力方向の剛性を変化させることなく、２つの接触部３ｃ−１、３ｃ−２に作用する加圧力のバランスを調整することができる。さらに、加圧力方向に加圧部材が積み重なることなく加圧力のバランスを調整することができるため、振動波駆動装置が大型化せず、振動波駆動装置の高い制御性能を維持することができる。

【0024】

なお本実施例においては、移動体３の加圧力調節部３ｄは、第１の加圧力調節部３ｄ−１と第２の加圧力調節部３ｄ−２とから構成されている。
しかし、本発明はこのような構成に限定されるものではない。
例えば、図３（ａ）に示すように、１つの加圧力調節部１３ｄから移動体１３が構成されてもよい。
移動体１３においても、加圧力調節部１３ｄの加圧部材１５からの加圧力による加圧力方向の変形量が、２つの支持部１３ｂ、及び２つの接触部１３ｃの該変形量よりも大きくなっている。
これにより、２つの接触部１３ｃ−１、１３ｃ−２の高低差によって生じる面圧の変化が抑制され、移動体の接触部の局所的な摩耗を低減し、長期の駆動による性能の劣化を低減することが可能となる。
さらに、本体部１３ａ側に設けてある凹部の溝の幅を変えることで、２つの接触部１３ｃ−１、１３ｃ−２に付与される加圧力のバランスを容易に調整することができる。

【0025】

また、本実施例において、移動体３の２つの本体部３ａ、支持部３ｂ、及び接触部３ｃは、焼入処理したステンレス鋼で形成されており、支持部３ｂ、及び接触部３ｃは、ばね性を有する厚みで形成されている。
しかし、本発明はこのような構成に限定されるものではなく、振動体の振動に対して移動体の接触部が安定した接触を得られるばね性を有し、かつ加圧力調節部がその接触部の加圧力方向の剛性よりも低い剛性となるように構成されていればよい。
例えば、振動体２をステンレス鋼にニッケルメッキ処理をして形成し、移動体３の２つの本体部３ａ、支持部３ｂ、及び接触部３ｃをアルミニウム合金にアルマイト処理をして形成した振動波駆動装置でも、本発明により同様の効果が得られる。
また、例えば、図３（ｂ）に示すように、２つの本体部２３ａ−１、２３ａ−２にそれぞれ接着剤による接着等で樹脂製の接触部２３ｃ−１、２３ｃ−２を結合し、移動体２３を構成してもよい。

【0026】

接触部２３ｃは、フッ素樹脂粉末（ＰＴＦＥ：ポリテトラフルオロエチレン）を主材として、添加材としてカーボンファイバ、ポリイミド、二硫化モリブデンを用いて、焼成して製作した樹脂で形成されている。
そのため、接触部２３ｃは振動体２２との接触時に弾性変形が可能となり、振動体２２と安定した接触が可能となる。
そして、２つの加圧力調節部２３ｄは、加圧部材２５からの加圧力による加圧力方向の変形量が、接触部２３ｃの該変形量よりも大きくなるように形成されている。
これにより、２つの接触部２３ｃ−１、２３ｃ−２の高低差によって生じる面圧の変化が抑制され、移動体の接触部の局所的な摩耗を低減し、長期の駆動による性能の劣化を低減することが可能となる。

【0027】

さらに、接触部２３ｃは、円環状の平板で形成されているため、支持部及び接触部を一体的に形成する場合に比べ、加工が容易で、コスト削減や製作時間の短縮を図ることができる。
ここで、本実施例において移動体３は少なくとも２つの本体部３ａと２つの接触部３ｃから構成されているが、本発明はこのような構成に限定されるものではない。
例えば３つの本体部と３つの接触部とで構成されるなど、２つ以上の本体部と接触部を有する移動体であれば、本発明により同様の効果が得られる。

【0028】

［実施例２］
実施例２として、上記した実施例１とは異なる形態の振動波駆動装置の構成例について、図４を用いて説明する。
本実施例の振動波駆動装置は、移動体の加圧力調節部を図４に示す構造とした点において、実施例１のものと構成が相違する。
本実施例のその他の要素（振動体、出力軸等）は、上述した実施例１の対応するものと同一なので、説明を省略する。なお、本実施例の図４に示す構成は、図２、図３（ａ）、図３（ｂ）に対応している。図４は、本実施例における振動波駆動装置の一部を拡大した断面図である。

【0029】

図４において、移動体３３は、２つの本体部３３ａ、２つの支持部３３ｂ、２つの接触部３３ｃ、２つの加圧力調節部３３ｄ、２つの回転伝達部３３ｆ、及びばね受け部３３ｅから構成されている。
加圧力調節部３３ｄは、第１の加圧力調節部３３ｄ−１と、第２の加圧力調節部３３ｄ−２から構成されている。
第１の加圧力調節部３３ｄ−１は、移動体３３の外径側に配置された本体部３３ａ−１の上面に設けられた回転伝達部３３ｆ−１とばね受け部３３ｅとの間に設けられており、第１の加圧力調節部３３ｄ−１の外周部は、ばね受け部３３ｅに取り付けられている。
第２の加圧力調節部３３ｄ−２は、移動体３３の内径側に配置された本体部３３ａ−２の上面に設けられた回転伝達部３３ｆ−２とばね受け部３３ｅとの間に設けられており、第２の加圧力調節部３３ｄ−２の内周部は、ばね受け部３３ｅに取り付けられている。

【0030】

２つの回転伝達部３３ｆは、ブチルゴムやクロロプレンゴム等で形成されており、２つの接触部３３ｃの駆動力をばね受け部３３ｅに伝達している。
２つの加圧力調節部３３ｄは、移動体３３の２つの支持部３３ｂ及び接触部３３ｃよりも加圧力方向の剛性が低くなるように、薄板状のばね鋼で形成された皿ばねで構成されている。
よって、加圧部材３５からの加圧力によって加圧力方向に変形する第１の加圧力調節部３３ｄ−１の変形量は、該加圧力による移動体３の外径側に配置された支持部３３ｂ−１及び接触部３３ｃ−１の変形量よりも大きくなっている。
また、同様に、加圧部材３５からの加圧力によって加圧力方向に変形する第２の加圧力調節部３３ｄ−２の変形量は、該加圧力による移動体３３の内径側に配置された支持部３３ｂ−２及び接触部３３ｃ−２の変形量よりも大きくなっている。

【0031】

これにより、加工の誤差や組立の誤差等により２つの接触部３３ｃ−１、３３ｃ−２間に高低差が生じても、加圧付与時に２つの加圧力調節部３３ｄが大きく変形することで高低差が緩和される。
よって、高低差によって生じる２つの接触部３３ｃに作用する面圧の変化を抑制することができ、局所的な摩耗やモータ性能の劣化を低減することが可能となる。
また、２つの加圧力調節部３３ｄ−１、３３ｄ−２の板厚や形状、及び材質を変更し、剛性の比を調整することで、移動体３３の２つの接触部３３ｃ−１、３３ｃ−２に付与される加圧力のバランスを容易に調整することが可能となる。
さらに、２つの加圧力調節部３３ｄをばね鋼などの金属で形成しており、加圧力調節部をゴム等で形成する場合に比べ、振動波駆動装置の周囲の温度や湿度の変化に対して影響を受けにくくなる。これにより、環境が変化しても振動波駆動装置の安定した性能が得られるようになる。

【0032】

［実施例３］
実施例３として、上記した実施例１とは異なる形態の振動波駆動装置の構成例について、図５を用いて説明する。
本実施例の振動波駆動装置は、移動体の加圧力調節部を図５に示す構造とした点において、上記各実施例のものと構成が相違する。本実施例のその他の要素（振動体、出力軸等）は、上記各実施例の対応するものと同一なので、説明を省略する。
なお、本実施例の図５に示す構成は、図２、図３（ａ）、図３（ｂ）、図４に対応している。図５は、本実施例における振動波駆動装置の一部を拡大した断面図である。

【0033】

図５において、移動体４３は、２つの本体部４３ａ、２つの支持部４３ｂ、２つの接触部４３ｃ、２つの加圧力調節部４３ｄ、２つの回転伝達部４３ｆ、及びばね受け部４３ｅから構成されている。
２つの本体部４３ａと２つの支持部４３ｂはそれぞれ別部材で形成されており、支持部４３ｂ及び接触部４３ｃは板金プレスにより一体的に形成されている。
支持部４３ｂ及び接触部４３ｃはステンレス鋼板からなり、耐久性を高めるための硬化処理として焼入、焼戻処理をした。

【0034】

また、支持部４３ｂ及び接触部４３ｃは、ばね性を有する厚みで形成されており、支持部４３ｂおよび接触部４３ｃは、移動体４３の回転軸方向及び径方向にそれぞれ弾性変形可能となっている。そのため、接触部４３ｃの摩擦面は全面にわたって振動体４２との接触が可能となる。
２つの本体部４３ａと２つの支持部４３ｂはそれぞれ、接着剤による接着や、はんだ付け等の金属ろう付け、レーザーや電気抵抗熱などによる溶接等の方法で接合している。
加圧力調節部４３ｄは、第１の加圧力調節部４３ｄ−１と、第２の加圧力調節部４３ｄ−２から構成されている。
第１の加圧力調節部４３ｄ−１は、移動体４３の外径側に配置された本体部４３ａ−１の加圧部材４５側に一体的に形成されており、ばね受け部４３ｅとの間に回転伝達部４３ｆ−１を設けている。
第２の加圧力調節部４３ｄ−２は、移動体４３の内径側に配置された本体部４３ａ−２の加圧部材４５側に一体的に形成されており、ばね受け部材４３ｅとの間に回転伝達部４３ｆ−２を設けている。

【0035】

２つの回転伝達部４３ｆは、ブチルゴムやクロロプレンゴム等で形成されており、２つの接触部４３ｃの駆動力をばね受け部４３ｅに伝達している。
２つの加圧力調節部４３ｄは、移動体４３の２つの支持部４３ｂ及び接触部４３ｃよりも加圧力方向の剛性が低くなるように、径方向のスリットを本体部４３ａに形成し構成されている。
よって、加圧部材４５からの加圧力によって加圧力方向に変形する第１の加圧力調節部４３ｄ−１の変形量は、該加圧力による移動体４３の外径側に配置された支持部４３ｂ−１及び接触部４３ｃ−１の変形量よりも大きくなっている。
また、同様に、加圧部材４５からの加圧力によって加圧力方向に変形する第２の加圧力調節部４３ｄ−２の変形量は、該加圧力による移動体４３の内径側に配置された支持部４３ｂ−２及び接触部４３ｃ−２の変形量よりも大きくなっている。

【0036】

これにより、加工の誤差や組立の誤差等により２つの接触部４３ｃ−１、４３ｃ−２間に高低差が生じても、加圧付与時に２つの加圧力調節部４３ｄが大きく変形することで高低差が緩和される。
よって、高低差によって生じる２つの接触部４３ｃに作用する面圧の変化を抑制することができ、局所的な摩耗やモータ性能の劣化を低減することが可能となる。
また、２つの加圧力調節部４３ｄ−１、４３ｄ−２のスリット幅などの形状を変更し、剛性の比を調整することで、移動体４３の２つの接触部４３ｃ−１、４３ｃ−２に付与される加圧力のバランスを容易に調整することが可能となる。
さらに、２つの加圧力調節部４３ｄは金属で形成されている本体部４３ａに一体的に形成されている。そのため、加圧力調節部をゴム等で形成する場合に比べ、振動波駆動装置の周囲の温度や湿度の変化に対して影響を受けにくくなり、環境が変化しても振動波駆動装置の安定した性能が得られるようになっている。

【0037】

また、支持部４３ｂ及び接触部４３ｃをプレス加工で一体的に形成しているため、従来の切削加工に比べて大幅なコスト削減や製作時間の短縮を図ることができる。
さらに、板金プレス加工に用いる素材の板厚精度は極めて高いため、支持部４３ｂ及び接触部４３ｃの剛性のバラツキを小さくすることができ、振動体４２と安定した接触が可能となる。
なお、本実施例において、耐摩耗性を向上させるための表面処理として、焼入、焼戻処理を行ったが、本発明はこれらに限定されるものではなく、窒化処理や溶射等で接触部の摩擦面を硬化してもよい。
以上に説明したように、本発明の上記各実施例の構成によれば、移動体の接触部の局所的な摩耗を低減し、長期の駆動による性能の劣化を低減することが可能となる。

【符号の説明】

【0038】

１：ハウジング
２：振動体
２ａ：圧電素子
２ｂ：弾性体
３：移動体
３ａ：本体部
３ｃ：接触部
３ｄ：加圧力調節部
５：加圧部材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】