特許 6040190 異物検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6040190

(24)【登録日】2016年11月11日

(45)【発行日】2016年12月7日

(54)【発明の名称】異物検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/04 20060101AFI20161128BHJP

   G01N 23/18 20060101ALI20161128BHJP

【ＦＩ】

   G01N23/04

   G01N23/18

【請求項の数】2

【全頁数】20

(21)【出願番号】特願2014-53803(P2014-53803)

(22)【出願日】2014年3月17日

(65)【公開番号】特開2015-28464(P2015-28464A)

(43)【公開日】2015年2月12日

【審査請求日】2015年7月13日

(31)【優先権主張番号】特願2013-133084(P2013-133084)

(32)【優先日】2013年6月25日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000226781

【氏名又は名称】日新電子工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100137752

【弁理士】

【氏名又は名称】亀井 岳行

(72)【発明者】

【氏名】金澤 正夫

(72)【発明者】

【氏名】大宮 正

【審査官】 比嘉 翔一

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００８−２６８０３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０９−０４９８８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２００５／０４３１４９（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開平１１−１２５５５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−１１３６１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０３１２００（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１１／０１２９０６３（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ ２３／００−２３／２２７

Ｇ０１Ｎ ２７／７２−２７／９０

ＪＭＥＤＰｌｕｓ（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被検査物を搬送する搬送手段と、
磁界を発生させる送信手段と、前記送信手段で発生した磁界が直接鎖交する位置に配置
され且つ前記被検査物の搬送路に沿って前記送信手段に並んで配置された受信手段と、を
有し、前記搬送手段によって搬送される前記被検査物に混入した金属性異物を前記磁界に
基づいて検出する金属検出部と、前記送信手段と前記受信手段とを収容し且つ前記被検査
物が搬送される搬送路に沿って延びる通路部が形成されて、前記金属検出部からの漏洩磁
界および外来磁界の進入を遮蔽する筐体部と、前記筐体部に形成され且つ前記送信手段と
前記受信手段との間または前記送信手段および前記受信手段の少なくとも一方の内部を通
過するＸ線通過部と、を有する金属検出手段と、
前記Ｘ線通過部を通過するＸ線により、前記通路部を通過する前記被検査物に混入した
異物を検出するＸ線検査手段と、
前記金属検出手段の前記筐体部を内部に収容し且つ前記Ｘ線検査手段を内部に収容し、
Ｘ線の外部への漏洩を遮蔽する異物検査装置の筐体と、
を備えたことを特徴とする異物検査装置。

【請求項2】

被検査物を搬送する搬送手段と、
磁界を発生させる送信手段と、前記送信手段で発生した磁界が直接鎖交する位置に配置
され且つ前記被検査物の搬送路を挟んで前記送信手段に対向して配置された受信手段と、
を有し、前記搬送手段によって搬送される前記被検査物に混入した金属性異物を前記磁界
に基づいて検出する金属検出部と、前記送信手段と前記受信手段とを収容し且つ前記被検
査物が搬送される搬送路に沿って延びる通路部が形成されて、前記金属検出部からの漏洩
磁界および外来磁界の進入を遮蔽する筐体部と、前記筐体部に形成され且つ前記送信手段
と前記受信手段との間または前記送信手段および前記受信手段の少なくとも一方の内部を
通過するＸ線通過部と、を有する金属検出手段と、
前記Ｘ線通過部を通過するＸ線により、前記通路部を通過する前記被検査物に混入した
異物を検出するＸ線検査手段と、
前記金属検出手段の前記筐体部を内部に収容し且つ前記Ｘ線検査手段を内部に収容し、
Ｘ線の外部への漏洩を遮蔽する異物検査装置の筐体と、
を備えたことを特徴とする異物検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、食品等の被検査物中に混入した異物を検査する異物検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

食品等の製造工場においては異物の混入した製品が出荷されないように、原料の受入や生産過程および製品の最終段階で金属検出装置やＸ線異物検査装置等の検査装置を用いて異物混入の検査が行われている。しかしながら、金属検出装置は被検査物に混入した金属性異物を検出することができるが、非金属性異物の検出はできない。Ｘ線異物検査装置は被検査物に混入した金属性異物以外も検出することができるが、原理上密度の低いものほど検出しにくくなり、例えば鉄さびやアルミニウムの検出ができないという問題があった。これらの弱点を補完する目的で金属検出装置とＸ線異物検査装置は搬送手段の前後に直列に配置して使用されてきた。

【0003】

金属検出装置とＸ線異物検査装置を搬送手段の前後に直列に配置した異物検査方法として、下記の特許文献１、特許文献２、特許文献３記載の従来技術が公知である。

【0004】

図１７は前段の金属検出装置２００と後段のＸ線異物検査装置１００を直列に配置した従来の実施例である。
特許文献１（特開平９−４９８８３号公報）や、特許文献２（特開２００３−２９４８５２号公報）、特許文献３（特開２００８−２６８０３５号公報）には、被検査物の搬送方向に対して、金属検出器とＸ線検査装置とを直列に並べて配置した構成が記載されている。具体的には、図１７に示すように、被検査物１８０は矢印の方向にコンベヤ２６０により搬送されて、前段の金属検出装置の検出手段２２０の開口部２２０ａと開口部２２０ｂを通して搬入搬出されるが、検出手段による磁界の変化を演算処理することにより被検査物に混入した金属性異物が検出できる。各種パラメータの設定や検出結果表示等は操作表示器２１０により行われる。続いて被検査物はコンベヤ１６０により後段のＸ線異物検査装置の開口部１９０ａからＸ線遮蔽カーテン１２０ａ、およびＸ線遮蔽カーテン１２０ｂから開口部１９０ｂを通して搬入搬出されるが、Ｘ線発生器１３０により発生したＸ線が照射されるＸ線検出器１４０の間を通過するとき、被検査物と混入異物の密度差を画像解析することにより異物を検出する。各種パラメータの設定や画像および検出結果表示等は操作表示器１１０により行われる。検出された異物が混入した被検査物はＸ線異物検査装置の開口部１９０ｂから搬出された後、図示していない除去装置により製造ラインから排除されるような構成が一般的である。

【0005】

図１８は前段の金属検出装置２００を後段のＸ線異物検査装置１００内に直列に配置した従来の実施例である。
また、特許文献１には、金属検出器を、Ｘ線検査装置のＸ線遮蔽体（シールド）の内部に収容し、且つ、Ｘ線センサに対して上流側に直列に配置した構成が記載されている。具体的には、図１８に示すように、被検査物１８０は矢印の方向にコンベヤ１６０により搬送されて、Ｘ線異物検査装置の開口部１９０ａからＸ線遮蔽カーテン１２０ａ、および金属検出装置の検出手段２２０の開口部２２０ａと開口部２２０ｂ、さらにＸ線遮蔽カーテン１２０ｂからＸ線異物検査装置の開口部１９０ｂを通して搬入搬出されるが、前段の金属検出装置の検出手段による磁界の変化を演算処理することにより被検査物に混入した金属性異物が検出され、各種パラメータの設定や検出結果表示等は操作表示器２１０により行われる。被検査物が後段のＸ線発生器１３０により発生したＸ線が照射されるＸ線検出器１４０の間を通過するとき、被検査物と混入異物の密度差を画像解析することにより異物を検出する。各種パラメータの設定や画像および検出結果表示等は操作表示器１１０により行われる。検出された異物が混入した被検査物はＸ線異物検査装置の開口部１９０ｂから搬出された後、図示していない除去装置により製造ラインから排除されるような構成が一般的である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開平９−４９８８３号公報（図７、図８）

【特許文献2】特開２００３−２９４８５２号公報（図１、図４、図５）

【特許文献3】特開２００８−２６８０３５号公報（図１）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

（従来技術の問題点）
特許文献１〜３に記載の装置では、金属検出装置とＸ線異物検査装置を前後に直列に配置しているため、装置全体のサイズが大型になる。ところが、工場における製造ラインは次々に設備が増設されて狭隘な現場が多く、金属検出装置とＸ線異物検査装置を前後に直列に配置した特許文献１、特許文献２、特許文献３記載の装置を工場の製造ラインに設置するのには制限があり、スペース・セービングされた装置の開発が望まれていた。

【0008】

また、前段の金属検出装置による金属検出情報と後段のＸ線異物検査装置による異物検出情報とを照合して、異物が金属性なのか、アルミニウムまたは鉄さびなのか、または金属性以外の異物なのかを判別するには、金属検出装置とＸ線異物検査装置との間に距離があり検出時期が異なるので、その間に複数の製品があって複数の異物混入があった場合には判別が複雑になる問題がある。また、検出時期が異なるため、その間に搬送手段の停止や、搬送手段の振動等、その他の状況により製品が移動しやすく、確実に判別することができない場合があるという問題があった。

【0009】

金属検出装置とＸ線異物検査装置の後段に共通の除去装置を設けて異物が混入した製品を自動的に排除するのが通常である。ところがそれぞれを直列に配置した場合には、その間に複数の製品があって複数の異物混入があった場合には除去処理が複雑になり、さらに金属検出装置から除去装置までの到達時間とＸ線異物検査装置から除去装置までの到達時間も異なるので装置別に排除するまでの時間の設定が必要という問題があった。

【0010】

本発明は、金属検出とＸ線異物検査が可能な装置を小型化することを技術的課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0011】

前記技術的課題を解決するために、請求項１に記載の発明の異物検査装置は、
被検査物を搬送する搬送手段と、
磁界を発生させる送信手段と、前記送信手段で発生した磁界が直接鎖交する位置に配置
され且つ前記被検査物の搬送路に沿って前記送信手段に並んで配置された受信手段と、を
有し、前記搬送手段によって搬送される前記被検査物に混入した金属性異物を前記磁界に
基づいて検出する金属検出部と、前記送信手段と前記受信手段とを収容し且つ前記被検査
物が搬送される搬送路に沿って延びる通路部が形成されて、前記金属検出部からの漏洩磁
界および外来磁界の進入を遮蔽する筐体部と、前記筐体部に形成され且つ前記送信手段と
前記受信手段との間または前記送信手段および前記受信手段の少なくとも一方の内部を通
過するＸ線通過部と、を有する金属検出手段と、
前記Ｘ線通過部を通過するＸ線により、前記通路部を通過する前記被検査物に混入した
異物を検出するＸ線検査手段と、
前記金属検出手段の前記筐体部を内部に収容し且つ前記Ｘ線検査手段を内部に収容し、
Ｘ線の外部への漏洩を遮蔽する異物検査装置の筐体と、
を備えたことを特徴とする。

【0012】

前記技術的課題を解決するために、請求項２に記載の発明の異物検査装置は、
被検査物を搬送する搬送手段と、
磁界を発生させる送信手段と、前記送信手段で発生した磁界が直接鎖交する位置に配置
され且つ前記被検査物の搬送路を挟んで前記送信手段に対向して配置された受信手段と、
を有し、前記搬送手段によって搬送される前記被検査物に混入した金属性異物を前記磁界
に基づいて検出する金属検出部と、前記送信手段と前記受信手段とを収容し且つ前記被検
査物が搬送される搬送路に沿って延びる通路部が形成されて、前記金属検出部からの漏洩
磁界および外来磁界の進入を遮蔽する筐体部と、前記筐体部に形成され且つ前記送信手段
と前記受信手段との間または前記送信手段および前記受信手段の少なくとも一方の内部を
通過するＸ線通過部と、を有する金属検出手段と、
前記Ｘ線通過部を通過するＸ線により、前記通路部を通過する前記被検査物に混入した
異物を検出するＸ線検査手段と、
前記金属検出手段の前記筐体部を内部に収容し且つ前記Ｘ線検査手段を内部に収容し、
Ｘ線の外部への漏洩を遮蔽する異物検査装置の筐体と、
を備えたことを特徴とする。

【発明の効果】

【0013】

請求項１，２に記載の発明によれば、本発明の構成を有しない場合に比べて、金属検出とＸ線異物検査が可能な装置を小型化することができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】図１は実施例１の異物検査装置の説明図である。

【図2】図２は実施例１の金属検出手段およびＸ線検出手段の拡大図である。

【図3】図３は実施例１の金属検出手段およびＸ線検出手段の斜視図である。

【図4】図４は実施例２の金属検出手段およびＸ線検出手段の拡大図であり、実施例１の図２に対応する図である。

【図5】図５は実施例２の金属検出手段およびＸ線検出手段の斜視図であり、実施例１の図３に対応する図である。

【図6】図６は実施例３の金属検出手段およびＸ線検出手段の拡大図であり、実施例１の図２に対応する図である。

【図7】図７は実施例３の金属検出手段およびＸ線検出手段の斜視図であり、実施例１の図３に対応する図である。

【図8】図８は実施例４の異物検査装置の説明図であり、実施例１の図１に対応する図である。

【図9】図９は実施例４の金属検出手段およびＸ線検出手段の拡大図であり、実施例１の図２に対応する図である。

【図10】図１０は実施例５の金属検出手段およびＸ線検出手段の拡大図であり、実施例１の図２に対応する図である。

【図11】図１１は実施例６の金属検出手段およびＸ線検出手段の拡大図であり、実施例１の図２に対応する図である。

【図12】図１２は実施例７の金属検出手段およびＸ線検出手段の拡大図であり、実施例１の図２に対応する図である。

【図13】図１３は実施例８の金属検出手段およびＸ線検出手段の拡大図であり、実施例１の図２に対応する図である。

【図14】図１４は実施例９の金属検出手段およびＸ線検出手段の拡大図であり、実施例１の図２に対応する図である。

【図15】図１５は実施例１０の金属検出手段およびＸ線検出手段の拡大図であり、実施例１の図２に対応する図である。

【図16】図１６は実施例１１の金属検出手段およびＸ線検出手段の拡大図であり、実施例１の図２に対応する図である。

【図17】図１７は前段の金属検出装置２００と後段のＸ線異物検査装置１００を直列に配置した従来の実施例である。

【図18】図１８は前段の金属検出装置２００を後段のＸ線異物検査装置１００内に直列に配置した従来の実施例である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

次に図面を参照しながら、本発明の実施の形態の具体例としての実施例を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面において、前後方向をＸ軸方向、左右方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とし、矢印Ｘ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ，Ｚ，−Ｚで示す方向または示す側をそれぞれ、前方、後方、右方、左方、上方、下方、または、前側、後側、右側、左側、上側、下側とする。
また、図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものとする。
なお、以下の図面を使用した説明において、理解の容易のために説明に必要な部材以外の図示は適宜省略されている。

【実施例1】

【0016】

図１は実施例１の異物検査装置の説明図である。
図１において、本発明の実施例１の異物検査装置１０は、各種パラメータの設定や画像および検出結果表示等を共通で行う操作表示器１１を有する。異物検査装置１０の左端には、搬入用の開口部１９ａが形成され、右端には搬出用の開口部１９ｂが形成されている。なお、各開口部１９ａ，１９ｂには、Ｘ線遮蔽カーテン１２ａ，１２ｂが配置されている。
異物検査装置１０には、搬送手段の一例としてのコンベア１６が配置されている。コンベア１６は、搬入部１９ａの左方から、異物検査装置１０の内部を貫通して、搬出部１９ｂの右方まで延びている。実施例１のコンベア１６は、被検査物１８を左方から右方に向けて搬送可能に構成されている。

【0017】

図２は実施例１の金属検出手段およびＸ線検出手段の拡大図である。
図３は実施例１の金属検出手段およびＸ線検出手段の斜視図である。
図２、図３において、異物検査装置１０の内部には、金属検出手段の一例としてのサーチコイル２２が配置されている。実施例１のサーチコイル２２は、筐体の一例として、左右方向に延びる筒状の角筒フレーム２２ａを有する。角筒フレーム２２ａには、筒の中央の中空部分により通路部２２ｂが構成されている。通路部２２ｂには、前記コンベア１６が貫通した状態で配置されている。
前記角筒フレーム２２ａには、金属検出部の一例としてのコイル本体２３，２４が収容されている。実施例１のサーチコイル２２では、第１のコイルの一例であって、送信手段の一例としての送信コイル２３が、通路部２２ｂを囲む環状（リング状）に構成されている。

【0018】

また、送信コイル２３に対して、コンベア１６による被検査物１８の搬送方向の上流側および下流側には、第２のコイルの一例であって、受信手段の一例としての受信コイル２４ａ，２４ｂが配置されている。実施例１の各受信コイル２４ａ，２４ｂも、送信コイル２３と同様に、通路部２２ｂを囲むように、左右対称且つ同軸の環状に配置されている。前記送信コイル２３には、金属検出制御部３１から交番励磁電流が供給されており、通路部２２ｂ内に磁界を発生させる。したがって、実施例１のサーチコイル２２は、いわゆる送受信コイル同軸配置型のサーチコイルにより構成されている。

【0019】

前記角筒フレーム２２ａには、Ｘ線通過部の一例としてのＸ線通過スリット２２ｃ，２２ｄが形成されている。実施例１のＸ線通過スリット２２ｃ，２２ｄは、通路部２２ｂに対して上下に配置されている。また、実施例１のＸ線通過スリット２２ｃ，２２ｄは、被検査物１８の搬送方向に対して、送信コイル２３と、下流側の受信コイル２４ｂとの間に形成されている。
なお、実施例１のＸ線通過スリット２２ｃ，２２ｄは、被検査物１８の搬送方向に沿った幅が、一例として、２ｍｍに設定されているが、幅の具体的な数値は、この値に限定されず、設計や仕様変更等に応じて任意に変更可能である。

【0020】

なお、実施例１のサーチコイル２２では、通路部２２ｂとＸ線通過スリット２２ｃ，２２ｄを除き金属材料の筐体２２ａで構成し、外部への磁界漏洩と外来磁界の進入を遮蔽することにより、サーチコイル２２に近接するプーリ１７やＸ線遮蔽カーテン１２ａ，１２ｂのような金属体の回動や変位、および外来電磁ノイズの影響を回避している。また、実施例１のサーチコイル２２では、角筒フレーム２２ａの内部には、充填剤の一例としてのエポキシ樹脂が充填されており、コイル本体２３，２４が樹脂内に埋設（モールド）された状態で構成されている。

【0021】

なお、高感度が要求されないサーチコイル２２においては、筐体２２ａ内に樹脂等の充填の必要はないが、高感度に対応したサーチコイル２２は耐振特性向上の目的で、通路部２２ｂとＸ線通過スリット２２ｃ，２２ｄを除き、筐体２２ａ内にエポキシ樹脂等を充填することが望ましい。なお、充填する充填剤は、エポキシ樹脂に限定されず、磁界を利用する金属検出手段において使用可能な任意の材料を使用可能である。
また、実施例１のサーチコイル２２は、耐振特性向上の目的で金属検出部２２は防振台２５ａ，２５ｂにより保持されることが望ましいが、防振台２５ａ，２５ｂは省略することも可能である。

【0022】

上側のＸ線通過スリット２２ｃの上方には、Ｘ線発生器１３が配置されている。なお、実施例１のＸ線発生器１３には、図示しない絞り装置が設けられており、一例として、１ｍｍ幅のファンビームとして、通路部２２ｂの前後方向の全領域が検査できるように、Ｘ線１５が出力される。また、下側のＸ線通過スリット２２ｄの下方には、前後方向に延びるＸ線検出器１４が配置されている。
したがって、Ｘ線発生器１３により発生したＸ線１５は、Ｘ線通過スリット２２ｃ，２２ｄを通過して、Ｘ線検出器１４に照射される。前記Ｘ線発生器１３およびＸ線検出器１４等により、実施例１のＸ線検査手段の一例としてのＸ線センサ１３，１４が構成されている。
なお、実施例１の異物検査装置１０の筐体は、Ｘ線発生器１３で発生したＸ線が外部に漏洩することを遮蔽する従来公知の構成を有する。例えば、異物検査装置１０の筐体は、Ｘ線を遮蔽可能な鉛等で構成可能である。また、図２からわかるように、実施例１の異物検査装置１０では、前記被検査物の搬送方向に対して交差する方向である上方から見た場合に、サーチコイル２２とＸ線センサ１３，１４とが重なった状態で配置されている。

【0023】

異物検査装置１０の制御部（コントローラ）３０は、サーチコイル２２の制御を行う金属検出制御部３１と、Ｘ線センサ１３，１４の制御を行うＸ線検査制御部３２と、表示制御部３３と、を有する。なお、前記制御部３０は、外部との信号の入出力等を行う入出力インターフェースＩ／Ｏや、必要な処理を行うためのプログラムおよび情報等が記憶されたＲＯＭ：リードオンリーメモリ、必要なデータを一時的に記憶するためのＲＡＭ：ランダムアクセスメモリ、ＲＯＭ等に記憶されたプログラムに応じた処理を行うＣＰＵ：中央演算処理装置等を有する。したがって、実施例１の制御部３０は、小型の情報処理装置、いわゆるマイクロコンピュータにより構成されている。よって、制御部３０は、ＲＯＭ等に記憶されたプログラムを実行することにより種々の機能を実現することができる。

【0024】

実施例１の金属検出制御部３１は、送信コイル２３への交番励磁電流を制御するとともに、受信コイル２４に流れる電流に基づいて、被検査物１８に金属性異物が混入しているか否かを判定する。また、実施例１のＸ線検査制御部３２は、Ｘ線発生器１３によるＸ線１５の発生を制御するとともに、Ｘ線検出器１４の検出結果に基づいて、被検査物１８に異物が混入しているか否かを判定する。実施例１の表示制御部３３は、操作表示器１１（いわゆるタッチパネル）の画像表示や検査結果の表示を制御するとともに、操作表示器１１からの入力情報を判読する。

【0025】

（実施例１の作用）
前記構成を備えた実施例１の異物検査装置１０では、被検査物１８に異物が混入しているかいなかの検査を行う場合、コンベア１６に被検査物１８が乗せられて異物検査装置１０の内部に搬送される。異物検査装置１０の内部に搬送された被検査物１８は、サーチコイル２２の通路部２２ｂを通過する。
このとき、サーチコイル２２の送信コイル２３への交番励磁電流により磁界が発生している。送信コイル２３の両側に左右対称に同軸配置された受信コイル２４ａ，２４ｂを、磁界が鎖交すると、受信コイル２４ａ，２４ｂに誘起される誘起起電力は等しくなり、その差分は零となる。ところが、金属性異物が混入した被検査物１８がサーチコイル２２を通過すると、受信コイル２４ａ，２４ｂの鎖交磁束が時間的に変化するので、２つの受信コイル２４ａ，２４ｂにおける誘起起電力に差分が発生する。したがって、誘起起電力の差分を金属検出制御部３１が演算処理することにより、混入した金属性異物が検出される。

【0026】

また、サーチコイル２２で金属性異物の検査中の被検査物１８が、Ｘ線通過スリット２２ｃ，２２ｄの位置を通過する際に、被検査物１８には、Ｘ線１５が照射される。したがって、被検査物１８を透過したＸ線１５をＸ線検出器１４で検出して、Ｘ線検出器１４からの信号をＸ線検査制御部３２が被検査物１８と混入異物との密度差の画像解析演算処理をすることにより、被検査物１８に混入した異物が検出される。

【0027】

したがって、実施例１の異物検査装置１０では、サーチコイル２２にＸ線通過スリット２２ｃ，２２ｄが形成されており、サーチコイル２２とＸ線センサ１３，１４とが一体化されている。よって、被検査物１８の搬送方向に対して、ほぼ同じ位置で、磁界による金属性異物の検出と、Ｘ線による異物の検出とが行われる。
したがって、従来の技術のように、金属検出手段とＸ線検査手段とが、被検査物の搬送方向に沿って直列に並べて配置された構成に比べて、実施例１の異物検査装置１０では、構成を小型化（スペース・セービング、省スペース化）することができる。よって、工場における製造ラインにおいて、狭隘な場所でも、異物検査装置１０を設置することができる。

【0028】

また、実施例１の異物検査装置１０では、サーチコイル２２を通過する際に、磁界による金属性異物の検査と、Ｘ線１５による異物の検査とが行われる。したがって、従来技術のように、別々の金属検出手段とＸ線検査手段で検査を行って、検出時期が異なる場合に比べて、検出時期の差を極めて少なくでき、ほとんど零にすることができる。
従来の技術では、金属検出手段で検出後に、Ｘ線検査手段に被検査物が搬送されるまでの間に、搬送手段の停止や振動等で、ベルトコンベヤ上で被検査物の位置が移動する恐れがあり、最悪の場合、金属検出手段で検査した被検査物と、Ｘ線検査手段で検査した被検査物とが一致しない場合もある。したがって、異物の検査ミスや検査漏れ等が発生する恐れがあり、異物の混入が検出できなかったり、異物が混入していない被検査物が除去される恐れがある。すなわち、確実に異物を判別することができない場合があった。

【0029】

これに対して、実施例１の異物検査装置１０では、磁界による検査とＸ線１５による検査とがほぼ同時期に行われており、従来の構成に比べて、異物の検査ミスや検査漏れの発生が低減されている。したがって、異物検査装置１０の下流側に配置される除去装置において、異物が混入した被検査物を除去する場合にも、異物が混入している製品を除去できなかったり、異物が混入していない製品を誤って除去することを低減できる。
また、実施例１の異物検査装置１０では、送信コイル２３と受信コイル２４ｂとの間で、Ｘ線１５による検査が行われている。したがって、上流側の受信コイル２４ａのさらに上流側でＸ線１５での検査を行う場合や、下流側の受信コイル２４ｂのさらに下流側でＸ線１５での検査を行う場合に比べて、搬送方向の大きさを小型化できる。

【0030】

さらに、実施例１の異物検査装置１０では、送信コイル２３と、下流側の受信コイル２４ｂとの間で、Ｘ線１５による検査が行われている。送信コイル２３と上流側の受信コイル２４ａとの間でＸ線１５による検査が行われた場合、磁界による異物の検査が開始されて間もなくＸ線１５による検査が完了し、検査の時期にずれが生じやすいが、下流側の受信コイル２４ｂと送信コイル２３との間でＸ線１５による検査を行う実施例１の異物検査装置１０では、磁界による異物の検査が完了する時期と、Ｘ線１５による検査の完了時期とを近づけることができ、検査の時期のずれをさらに低減できる。

【実施例2】

【0031】

図４は実施例２の金属検出手段およびＸ線検出手段の拡大図であり、実施例１の図２に対応する図である。
図５は実施例２の金属検出手段およびＸ線検出手段の斜視図であり、実施例１の図３に対応する図である。
次に本発明の実施例２の説明をするが、この実施例２の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明は省略する。
この実施例は下記の点で、前記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成される。

【0032】

図４、図５において、実施例２のサーチコイル２２′では、通路部２２ｂに対して上方に、第１のコイルの一例としての送信コイル２３が配置されている。また、通路部２２ｂの下方には、通路部２２ｂを挟んで送信コイル２３に対向して、第２のコイルの一例としての上流側の受信コイル２４ａおよび下流側の受信コイル２４ｂが配置されている。なお、実施例２の受信コイル２４ａ，２４ｂは、搬送方向に沿って間隔をあけて配置されている。
したがって、実施例２のサーチコイル２２′は、いわゆる送受信コイル対向配置型のサーチコイルにより構成されている。また、実施例２のサーチコイル２２′では、上側のＸ線通過スリット２２ｃは、環状の送信コイル２３の中央部分を通過する位置に形成されており、下側のＸ線通過スリット２２ｄは、２つの受信コイル２４ａ，２４ｂの間を通過する位置に形成されている。

【0033】

（実施例２の作用）
前記構成を備えた実施例２の異物検査装置１０では、実施例１と同様に、サーチコイル２２′にＸ線センサ１３，１４が一体化されており、スペース・セービングが可能である。
なお、送信コイル２３と受信コイル２４とは、上下逆に配置することも可能であるが、Ｘ線が照射される前後方向の幅が、Ｘ線発生器１３の配置された上側の方が狭く、下側の方が広いため、下側に送信コイル２３を配置した場合には、送信コイル２３の前後方向の幅をＸ線の照射範囲よりも十分に広く形成する必要があり、大型化する懸念があるため、実施例２のように、送信コイル２３は上方に配置する方が、特に好適である。

【実施例3】

【0034】

図６は実施例３の金属検出手段およびＸ線検出手段の拡大図であり、実施例１の図２に対応する図である。
図７は実施例３の金属検出手段およびＸ線検出手段の斜視図であり、実施例１の図３に対応する図である。
次に本発明の実施例３の説明をするが、この実施例３の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明は省略する。
この実施例は下記の点で、前記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成される。

【0035】

図６、図７において、実施例３のサーチコイル２２″は、筐体の一例として、平板状のプレート部２２ａ″を有する。実施例３では、プレート部２２ａ″の上面により、通路部２２ｂ″が構成されている。
プレート部２２ａ″の内部には、被検査物１８の搬送方向の中央部に、第１のコイルの一例としての送信コイル２３が収容されている。また、送信コイル２３に対して、被検査物１８の搬送方向の上流側および下流側に、第２のコイルの一例としての受信コイル２４ａ，２４ｂが配置されている。
したがって、実施例３のサーチコイル２２″は、いわゆる送受信コイル平面配置型のサーチコイルにより構成されている。
なお、実施例３のサーチコイル２２″では、送信コイル２３と下流側の受信コイル２４ｂとの間に、Ｘ線通過スリット２２ｃ″が形成されている。

【0036】

（実施例３の作用）
前記構成を備えた実施例３の異物検査装置１０では、実施例１，２と同様に、サーチコイル２２″にＸ線センサ１３，１４が一体化されており、スペース・セービングが可能である。

【実施例4】

【0037】

図８は実施例４の異物検査装置の説明図であり、実施例１の図１に対応する図である。
図９は実施例４の金属検出手段およびＸ線検出手段の拡大図であり、実施例１の図２に対応する図である。
次に本発明の実施例４の説明をするが、この実施例４の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明は省略する。
この実施例は下記の点で、前記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成される。

【0038】

図８、図９において、実施例４の異物検査装置１０では、サーチコイル２２の角筒フレーム２２ａには、コイル本体２３，２４が収容された部分の上流端から上流側に延びる上流側の遮蔽フード２２ｅと、下流端から下流側に延びる下流側の遮蔽フード２２ｆが支持されている。
なお、実施例４では、遮蔽フード２２ｅ，２２ｆの開口部の高さＨ１を１５０mmとし、遮蔽フードの長さＬ１を開口部の高さの１／２の７５mmにして漏洩磁界遮蔽フードによる効果について、フード２２ｅ，２２ｆの間口中央の延長５０mm位置で金属体を変位させて実測した結果、サーチコイル２２に近接するプーリ１７やＸ線遮蔽カーテン１２ａ，１２ｂのような金属体の回動や変位、および外来電磁ノイズの影響は６０％に低減できることが判明した。好ましくは、漏洩磁界遮蔽フードによる効果を更に高めるために遮蔽フードの長さＬ１を開口部の高さＨ１と等しくすることが望ましい。さらに好ましくは、遮蔽フードの長さＬ１は、開口部の高さＨ１の２倍以内とすることが、漏洩磁界の遮蔽の効果を高めるためには更に望ましい。また、現在市販されている一般的なサーチコイル２２では、遮蔽フード２２ｅの上流端から、遮蔽フード２２ｆの下流端までの長さは、最大でも、開口部の高さＨ１の８倍以内となっている。
なお、高さＨ１と長さＬ１の関係は、例示した関係に限定されず、サーチコイル２２の方式と被検査物１８の寸法、要求される精度や感度、設置スペース、設計や仕様変更等に応じて適宜変更可能である。

【0039】

（実施例４の作用）
前記構成を備えた実施例４の異物検査装置１０では、漏洩磁界の遮蔽フード２２ｅ，２２ｄを有しない実施例１に記載の構成に比べて、磁界による金属性異物の検出時に、外来電磁ノイズによる精度低下を低減することができ、感度を向上させることができる。

【実施例5】

【0040】

図１０は実施例５の金属検出手段およびＸ線検出手段の拡大図であり、実施例１の図２に対応する図である。
次に本発明の実施例５の説明をするが、この実施例５の説明において、前記実施例１，４の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明は省略する。
この実施例は下記の点で、前記実施例１，４と相違しているが、他の点では前記実施例１，４と同様に構成される。

【0041】

図１０において、実施例５の異物検査装置１０では、サーチコイル２２の角筒フレーム２２ａには、実施例４の遮蔽フード２２ｅ，２２ｆに加えて、Ｘ線通過スリット２２ｃ，２２ｄの位置にも、上下方向外側に延びる漏洩磁界の遮蔽フード２２ｇ，２２ｈが形成されている。
なお、実施例５の構成において、本発明者の実験により、Ｘ線通過スリット２２ｃ，２２ｄの漏洩磁界遮蔽フード２２ｇ，２２ｈは、設けなくても影響は少なかったが、Ｘ線通過スリット幅Ｈ２を２mmとした本実施の形態においてはフード長Ｌ２が５mmで十分影響を回避できることが判明した。なお、幅Ｈ２と長さＬ２の関係は、例示した関係に限定されず、要求される精度や感度、設計や仕様変更等に応じて任意に変更可能である。

【0042】

（実施例５の作用）
前記構成を備えた実施例５の異物検査装置１０では、漏洩磁界の遮蔽フード２２ｇ，２２ｈを有しない実施例１，４に記載の構成に比べて、磁界による金属性異物の検出時に、外来電磁ノイズによる精度低下を、さらに低減することができ、感度を向上させることができる。

【実施例6】

【0043】

図１１は実施例６の金属検出手段およびＸ線検出手段の拡大図であり、実施例１の図２に対応する図である。
次に本発明の実施例６の説明をするが、この実施例６の説明において、前記実施例１，４，５の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明は省略する。
この実施例は下記の点で、前記実施例１，４，５と相違しているが、他の点では前記実施例１，４，５と同様に構成される。

【0044】

図１１において、実施例６の異物検査装置１０では、Ｘ線通過スリット２２ｃ，２２ｄに対応する漏洩磁界の遮蔽フード２２ｇ，２２ｈが、上下方向の外側だけでなく、内側に向けても延びている。

【0045】

（実施例６の作用）
前記構成を備えた実施例６の異物検査装置１０では、漏洩磁界の遮蔽フード２２ｇ，２２ｈを有しない実施例１，４に記載の構成に比べて、感度を向上させることができると共に、実施例５に比べて、外側への遮蔽フード２２ｇ，２２ｈの突出量を減らすことも期待できる。

【実施例7】

【0046】

図１２は実施例７の金属検出手段およびＸ線検出手段の拡大図であり、実施例１の図２に対応する図である。
次に本発明の実施例７の説明をするが、この実施例７の説明において、前記実施例１，２，４〜６の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明は省略する。
この実施例は下記の点で、前記実施例１，２，４〜６と相違しているが、他の点では前記実施例１，２，４〜６と同様に構成される。
図１２において、実施例７の異物検査装置１０では、実施例２のサーチコイル２２′に対して、実施例４〜６の遮蔽フード２２ｅ，２２ｆ，２２ｇ，２２ｈが追加されている。

【0047】

（実施例７の作用）
前記構成を備えた実施例７の異物検査装置１０では、実施例２に記載の送受信コイル対向配置型のサーチコイル２２′において、実施例４〜６と同様に、感度を向上させることができる。

【実施例8】

【0048】

図１３は実施例８の金属検出手段およびＸ線検出手段の拡大図であり、実施例１の図２に対応する図である。
次に本発明の実施例８の説明をするが、この実施例８の説明において、前記実施例１，２の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明は省略する。
この実施例は下記の点で、前記実施例１，２と相違しているが、他の点では前記実施例１，２と同様に構成される。
図１３において実施例８の異物検査装置１０では、実施例２のサーチコイル２２′に対して、送信コイル２３と受信コイル２４ａ，２４ｂが上下逆に配置されている。そして、Ｘ線は、上側に配置された受信コイル２４ａ，２４ｂの間を通過し、且つ、下側に配置された送信コイル２３の内部を通過している。

【0049】

（実施例８の作用）
前記構成を備えた実施例８の異物検査装置１０では、実施例２と同様に、送受信コイル対向配置側のサーチコイル２２′にＸ線センサ１３，１４が一体化されており、スペース・セービングが可能である。
なお、実施例８の構成において、実施例７と同様に遮蔽フード２２ｅ〜２２ｈを設けることが望ましい。

【実施例9】

【0050】

図１４は実施例９の金属検出手段およびＸ線検出手段の拡大図であり、実施例１の図２に対応する図である。
次に本発明の実施例９の説明をするが、この実施例９の説明において、前記実施例１，２の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明は省略する。
この実施例は下記の点で、前記実施例１，２と相違しているが、他の点では前記実施例１，２と同様に構成される。
図１４において実施例９の異物検査装置１０では、実施例２のサーチコイル２２′に対して、Ｘ線が、上側に配置された送信コイル２３の内部を通過すると共に、下側且つ搬送方向の下流側に配置された受信コイル２４ｂの内部を通過している。

【0051】

（実施例９の作用）
前記構成を備えた実施例９の異物検査装置１０では、実施例２と同様に、送受信コイル対向配置側のサーチコイル２２′にＸ線センサ１３，１４が一体化されており、スペース・セービングが可能である。
なお、実施例９の構成において、下流側の受信コイル２４ｂの内部を、Ｘ線が通過する構成を例示したが、これに限定されない。上流側の受信コイル２４ａの内部を、Ｘ線が通過する構成とすることも可能である。

【実施例10】

【0052】

図１５は実施例１０の金属検出手段およびＸ線検出手段の拡大図であり、実施例１の図２に対応する図である。
次に本発明の実施例１０の説明をするが、この実施例１０の説明において、前記実施例１，３の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明は省略する。
この実施例は下記の点で、前記実施例１，３と相違しているが、他の点では前記実施例１，３と同様に構成される。
図１５において実施例１０の異物検査装置１０では、実施例３のサーチコイル２２″に対して、Ｘ線が、送信コイル２３の内部を通過している。

【0053】

（実施例１０の作用）
前記構成を備えた実施例１０の異物検査装置１０では、実施例３と同様に、送受信コイル平面配置側のサーチコイル２２″にＸ線センサ１３，１４が一体化されており、スペース・セービングが可能である。
なお、実施例１０の構成において、送信コイル２３の内部を、Ｘ線が通過する構成を例示したが、これに限定されない。上流側または下流側の受信コイル２４ａ，２４ｂの内部を、Ｘ線が通過する構成とすることも可能である。

【実施例11】

【0054】

図１６は実施例１１の金属検出手段およびＸ線検出手段の拡大図であり、実施例１の図２に対応する図である。
次に本発明の実施例１１の説明をするが、この実施例１１の説明において、前記実施例１，２の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明は省略する。
この実施例は下記の点で、前記実施例１，２と相違しているが、他の点では前記実施例１，２と同様に構成される。
図１６において実施例１１の異物検査装置１０では、実施例２のサーチコイル２２′に対して、Ｘ線が、搬送方向下流側上方から搬送方向上流側下方に向かって、斜めに通過している。具体的には、送信コイル２３の外側を通過し、且つ、受信コイル２４ａ，２４ｂの間を通過している。

【0055】

（実施例１１の作用）
前記構成を備えた実施例１１の異物検査装置１０では、実施例２と同様に、送受信コイル対向配置側のサーチコイル２２′にＸ線センサ１３，１４が一体化されており、スペース・セービングが可能である。
なお、実施例１１の構成において、Ｘ線の通過方向が、下流側上方から上流側下方に向かう構成を例示したが、これに限定されず、上流側上方から下流側下方に向かう構成とすることも可能である。

【0056】

（変更例）
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更実施例を下記に例示する。
前記実施例において、送信コイル２３に交番励磁電流を供給し、送受信コイルを用いた検出方法について例示したが、これに限定されない。たとえば、供給する電流として直流励磁電流を用いたり、送信コイルを永久磁石に置き換えたり、受信コイルを他の磁気センサに置き換えることも可能である。なお、直流磁界を用いた金属検出方式では、筐体２２ａと漏洩磁界遮蔽フード２２ｅ〜２２ｈは磁性体金属材料で構成することが望ましい。

【0057】

前記実施例において、Ｘ線発生器１３を上方に配置し、Ｘ線検出器１４を下方に配置する構成を例示したが、これに限定されない。例えば、上下逆に配置したり、縦長の瓶の検査を行ったりする場合には、前方にＸ線発生器１３を配置し、後方にＸ線検出器１４を配置してＸ線を前方から後方に照射する等、任意の変更が可能である。なお、Ｘ線を前後方向に通過させる場合、サーチコイル２２も併せて回転させることも可能である。
また、前記実施例において、Ｘ線通過スリット２２ｃ，２２ｄの位置と、コイル２３，２４ａ，２４ｂの位置関係は、実施例に例示した位置関係に限定されず、任意に変更可能である。また、実施例３において、送信コイル２３と下流側の受信コイル２４ｂとの間にＸ線通過スリット２２ｄを形成したが、これに変えて、送信コイル２３または受信コイル２４ａ，２４ｂの中心を通過させる構成とすることも可能である。

【0058】

前記実施例３において、各コイル２３，２４ａ，２４ｂは、コイルの中心が上下方向となるように並べて配置された構成を例示したが、これに限定されず、例えば、コイルの中心が実施例１のように、搬送方向に平行に配置された構成とすることも可能である。
前記実施例において、Ｘ線発生器１３とＸ線検出器１４が被検査物１８の搬送方向に対して直交する方向からＸ線１５を照射する構成を例示したが、これに限定されない。例えば、搬送方向に対して傾斜する方向からＸ線１５を照射する構成とすることも可能である。例えば、直方体状の箱を有する被検査物１８では、搬送方向に直交する方向から箱の前縁や後縁の部分にＸ線が照射された場合、Ｘ線が箱を通過する長さが長くなってＸ線画像が暗くなり、異物との明暗比が低くなって、異物の混入が見分けにくくなる恐れがある。これに対して、斜めからＸ線１５を照射した場合、箱を通過する長さが長くなりすぎず、明暗比が明確になって異物の混入が見分けやすくなる。なお、斜めからＸ線を照射する技術としては、例えば、特開２００６−１７６８７号公報等に記載された技術を採用可能である。

【0059】

前記実施例において、Ｘ線発生器１３とＸ線検出器１４が１つずつの構成を例示したが、これに限定されない。例えば、Ｘ線発生器１３やＸ線検出器１４を複数配置して、複数のＸ線で異物の検査を行う構成とすることも可能である。このとき、Ｘ線通過スリット２２ｃ，２２ｄは複数形成することとなる。また、例えば、１つのＸ線発生器１３からのＸ線を絞りやスリット等で、２つ以上に分け、各Ｘ線に対応するＸ線検出器１４を設けることも可能である。このとき、フィルター等を設置することで、各Ｘ線検出器１４においてエネルギーが異なるＸ線を検出して、エネルギーが異なる画像を検出することも可能である。

【符号の説明】

【0060】

１０…異物検査装置、
１１ 操作表示器、
１２ａ，１２ｂ…Ｘ線遮蔽カーテン、
１３…Ｘ線発生器、
１３，１４…Ｘ線検査手段、
１４…Ｘ線検出器、
１５…Ｘ線、
１６…搬送手段、
１７…プーリ、
１８…被検査物、
１９ａ，１９ｂ…異物検査装置の開口部、
２２，２２′，２２″…金属検出手段、
２２ａ，２２ａ″…筐体部、
２２ｂ，２２ｂ″…通路部、
２２ｃ，２２ｄ…Ｘ線通過部、
２２ｅ，２２ｆ，２２ｇ，２２ｈ…遮蔽フード、
２３…送信手段、
２３，２４…金属検出部、
２４ａ，２４ｂ…受信手段、
２５ａ，２５ｂ…防振台、
３０…制御部、
３１…金属検出制御部、
３２…Ｘ線検査制御部、
３３…表示制御部、
１００…Ｘ線異物検査装置、
１１０…Ｘ線異物検査装置の操作表示部、
１２０ａ，１２０ｂ…Ｘ線遮蔽カーテン、
１３０…Ｘ線発生器、
１４０…Ｘ線検出器、
１５０…Ｘ線、
１６０…Ｘ線異物検査装置の搬送コンベヤ、
１７０…Ｘ線異物検査装置のプーリ、
１８０…被検査物、
１９０ａ，１９０ｂ…Ｘ線異物検査装置の開口部、
２００…金属検出装置、
２１０…金属検出装置の操作表示部、
２２０…金属検出手段、
２２０ａ，２２０ｂ…金属検出部の開口部、
２５０ａ，２５０ｂ…防振台、
２６０…搬送コンベヤ、
２７０…プーリ、
Ｈ１…金属検出手段の開口部の高さ、
Ｈ２…金属検出手段のＸ線通過部の幅、
Ｌ１…金属検出手段の開口部の漏洩磁界遮蔽フードの長さ、
Ｌ２…金属検出手段のＸ線通過部の漏洩磁界遮蔽フードの長さ。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】