(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
互いに積層されて積層ダイ3次元メモリアレイを形成する複数のメモリアレイダイであって、当該複数のメモリアレイダイの各々は、複数のメモリアレイタイルを含み、当該複数のメモリアレイタイルは、各々が、互いに異なる当該メモリアレイダイに形成された複数個の前記メモリアレイタイルを含む、複数のメモリ保管庫を形成する、複数のメモリアレイダイと、
前記積層ダイ3次元メモリアレイと共に積層されるロジックダイであって、前記複数のメモリ保管庫に対応して設けられた複数のメモリ保管庫コントローラと、前記複数のメモリ保管庫の少なくとも一部の動作レベルをモニターする少なくとも1つの動作追跡装置と、各々が、外部から供給されるパケット命令を受け取る複数のシリアル通信リンクインターフェースと、前記複数のシリアル通信リンクインターフェースと前記複数のメモリ保管庫コントローラとの間に接続されたスイッチ回路とを含む、ロジックダイとを備え、
前記複数のメモリ保管庫コントローラの各々は、前記パケット命令に応じて対応するメモリ保管庫の動作を制御すると共に、前記動作レベルのモニター結果に応じて、対応するメモリ保管庫の電力状態を調整する、ことを特徴とする装置。
前記複数のメモリ保管庫のそれぞれは、前記複数のメモリアレイダイの積層方向に1列に並んだ複数のメモリアレイタイルを含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
前記スイッチ回路は、前記複数のシリアル通信リンクインターフェースのそれぞれを、前記メモリ保管庫コントローラの1つに選択的に接続することを特徴とする請求項1又は2に記載の装置。
各々、前記複数のシリアル通信リンクインターフェースに対応して設けられ、対応する前記複数のシリアルリンク通信インターフェースと前記スイッチ回路との間に接続された複数のパケットデコーダを含むことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の装置。
前記ロジックダイが、複数の前記動作追跡装置を含み、当該複数の動作追跡装置のそれぞれは、対応するメモリ保管庫コントローラに形成されると共に、当該対応するメモリ保管庫コントローラに対応する前記メモリ保管庫の動作レベルをモニターすることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の装置。
前記複数のメモリ保管庫コントローラの各々は、前記動作レベルのモニター結果に応じて、自身及び前記対応するメモリ保管庫の電力状態をオフ状態とすることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の装置。
前記複数のメモリ保管庫コントローラの各々は、前記動作レベルのモニター結果に応じて、前記対応するメモリ保管庫のリフレッシュ速度を変更することを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の装置。
前記ロジックダイが、前記複数のシリアル通信リンクインターフェースの1又は複数の電力状態を変更することを特徴とする請求項1乃至10のいずれか一項に記載の装置。
【発明を実施するための形態】
【0009】
本発明の以下の発明を実施するための形態では、本明細書の一部を成し、本発明が実施されてもよい具体的な実施形態が説明として示される、付属の図面を参照する。これらの実施形態は、当業者が本発明を実施することができる程度に十分に詳しく記載される。他の実施形態が、利用される場合もあり、構造上の、論理上の、及び電気的な変更が行われる場合がある。
【0010】
図1は、本発明の様々な例示的実施形態によるメモリ装置100のブロック図を含む。メモリ装置100は、1つ以上の発信元装置及び/又は宛先装置(例えば、1つ以上のプロセッサ)と一組の積層アレイメモリ「保管庫」(vault)110との間の命令、アドレス、及び/又はデータの複数の外向き及び/又は内向きの流れを実質的に同時に送信するように動作する。その結果、メモリシステム密度、帯域幅、並列化、及びシステム規模変更可能性が増加する場合がある。
【0011】
多重ダイメモリアレイの実施形態は、通常、以前の設計の各個別のメモリアレイダイ上に位置する制御ロジックを集める。本開示では、メモリ保管庫と呼ばれているダイの積層群の小部分が、
図1に例示的な保管庫110として示され、
図2に例示的な保管庫230として示される。図示される実施例で示されるメモリ保管庫は、共通の制御ロジックを共有する。メモリ保管庫の構成は、メモリ制御ロジックを戦略的に区切り、エネルギー効率を増加させ、同時に、粒度のより細かい電源投入されるメモリバンクを与える。示される実施形態により、ホストプロセッサをメモリシステムインターフェースの規格に合わせることもできる。メモリ技術が発展すると、規格化されたインターフェースは、再設計のためのサイクル時間を削減するかもしれない。
【0012】
図2は、様々な例示的実施形態によるメモリ装置100を形成するために、ロジックダイ202と共に積層された積層ダイ3次元メモリアレイ200の切り取り概念図である。メモリ装置100は、メモリアレイ203の1つ以上のスタックが組み込まれ、その結果、積層ダイ3次元メモリアレイ200になる。多重メモリアレイ(例えば、メモリアレイ203)は、複数のダイ(例えば、ダイ204)の各々の上に作製される。次に、メモリアレイダイが積層され、積層ダイ3次元メモリアレイ200を形成する。
【0013】
そのスタックの各ダイは、複数の「タイル」(例えば、積層ダイ204に組み込まれるタイル205A、205B、及び205C)に分割される。各タイル(例えば、タイル205C)は、1つ以上のメモリアレイ203を含んでもよい。メモリアレイ203は、いずれの特定のメモリ技術にも限定されず、ダイナミックランダムアクセスメモリ(DRA
M)、静的ランダムアクセスメモリ(SRAM)、フラッシュメモリ等を含んでもよい。
【0014】
積層された一組のメモリアレイタイル208は、各々の積層ダイからの単一のタイル(例えば、その基底のタイルが
図1では視野から隠れている、タイル212B、212C及び212D)を含んでもよい。電力、アドレス、及び/又はデータ並びに類似の共通信号は、「ウェーハ貫通相互接続」(TWI)等の導電経路(例えば、導電経路224)上で、Z方向220に積層されたタイルの組208を横断する。TWIは、必ずしも、特定のウェーハ又はダイの全体を貫通する必要がないことに留意するべきである。
【0015】
一構成での積層ダイ3次元メモリアレイ200は、一組のメモリ保管庫(例えば、メモリ保管庫230)に区切られる。各メモリ保管庫は、一組の積層されたタイル(例えば、タイルの組208)を含み、複数の積層ダイの各々からの1つのタイルは、一組のTWIとともに、前記一組のタイル208と電気的に相互接続される。保管庫の各タイルは、1つ以上のメモリアレイ(例えば、メモリアレイ240)を含む。個別の保管庫230へ区切ることが記載されるが、3次元メモリアレイ200を多数の他の方法でも区切ることができる。他の例示的な区切り方として、チップ、タイル等により区切ることが挙げられる。
【0016】
図2からのメモリ保管庫230と同様に、
図1では、一組のメモリ保管庫102が、メモリ装置100内の状況で示される。メモリ装置100は、複数のメモリ保管庫コントローラ(MVC)104(例えば、MVC106)も含む。各MVCは、一対一の関係で、対応するメモリ保管庫(例えば、組102のメモリ保管庫110)に通信可能に結合する。従って、各MVCは、他のMVCとそれらの各々のメモリ保管庫との間の通信とは無関係に、対応するメモリ保管庫と通信することができる。
【0017】
メモリ装置100は、複数の設定可能なシリアル通信リンクインターフェース(SCLI)112も含む。SCLI112は、外向き群のSCLI113と内向き群のSCLI115に区切られ、「外向き」及び「内向き」方向は、プロセッサ114の視点から定められる。複数のSCLI112の各SCLIは、他のSCLIと同時に動作することができる。これとともに、SCLI112は、1つ以上のホストプロセッサ114に複数のMVC104を通信可能に結合させる。メモリ装置100は、ホストプロセッサ114への多重リンク高処理能力のインターフェースを表す。
【0018】
メモリ装置100は、スイッチ116も含んでもよい。幾つかの実施形態では、スイッチ116は、クロスコネクトスイッチとも呼ばれる場合があるマトリックススイッチを含んでもよい。スイッチ116は、複数のSCLI112と複数のMVC104に通信可能に結合する。スイッチ116は、選択されたMVCに各SCLIを相互接続することができる。従って、ホストプロセッサ114は、複数のSCLI112を通り、複数のメモリ保管庫102に実質的に同時にアクセスする場合がある。この構成により、多重コア技術を含む最新のプロセッサ技術に対して、高いプロセッサ対メモリ帯域幅を提供することができる。
【0019】
メモリ装置100は、スイッチ116と結合するメモリ構成制御レジスタ117も含んでもよい。メモリ構成制御レジスタ117は、設定源からメモリ構成設定パラメータを受け入れ、選択可能なモードに従って動作するようにメモリ装置100の1つ以上の部品を設定する。例えば、スイッチ116と複数のメモリ保管庫102及び複数のMVC104の各々は、通常、異なるメモリ要求に応答して互いに独立に動作するように設定される。そのような設定により、SCLI112とメモリ保管庫102との間の並列化の結果として、メモリシステム帯域幅を拡張することができる。
【0020】
代わりに、メモリ装置100は、複数のメモリ保管庫102のうちの2つ以上の副集合及び対応するMVCの副集合が、単一の要求に応答して同期的に動作するように、メモリ構成制御レジスタ117を介して再設定される場合がある。後者の設定が、単一の保管庫に関連するデータワードの幅よりも幅広いデータワードにアクセスするために使用される場合がある。そのようなワードは、本明細書では、幅広いデータワードと呼ばれる。この技術により、待ち時間が減少する場合がある。選択されたビットパターンをメモリ構成制御レジスタ117にロードすることにより、他の設定が有効にされる場合がある。
【0021】
一実施形態では、外向きSCLI113は、複数の外向き差動対シリアル経路(DPSP)128を含む場合がある。DPSP128は、ホストプロセッサ114に通信可能に結合し、外向きパケットを集合的に送信する。外向きSCLI113は、複数の外向きDPSP128に結合する直並列変換器130も含む場合がある。外向きSCLIは、デシリアライザ130に通信可能に結合するデマルチプレクサ138を含んでもよい。一実施形態では、DSPS、デシリアライザ、及びデマルチプレクサの設定により、データパケット又はサブパケットの効率的な送信が容易になる。外向きSLCIと同様に、一実施形態では、内向きSCLIと、DSPS、シリアライザ、及びマルチプレクサの同様の設定は、データパケット又はサブパケットの効率的な送信を容易にする。
【0022】
図3は、様々な例示的な実施形態のMVC(例えば、MVC106)及び関連モジュールのブロック図である。MVC106は、プログラム可能な保管庫制御ロジック(PVCL)部品310を含んでもよい。PVCL310は、MVC106を対応するメモリ保管庫(例えば、メモリ保管庫110)にインターフェース接続する。PVCL310は、対応するメモリ保管庫110に関連する1つ以上の制御信号及び/又は時間調節信号を生成する。
【0023】
PVCL310は、選択された設定又は選択された技術のメモリ保管庫110にMVC106を適合させるように設定されてもよい。従って、例えば、メモリ装置100は、初期に、現在利用可能なDDR2DRAMを利用して設定される場合がある。その後に、DDR3バンク制御と時間調節ロジックと含むようにPVCL310を再設定することにより、メモリ装置100は、DDR3基盤のメモリ保管庫技術に対応するように適合される場合がある。
【0024】
MVC106は、PVCL310に通信可能に結合するメモリシーケンサ314を含む。関連するメモリ保管庫110を組み込むのに利用される技術に基づいて、メモリシーケンサ314は、メモリ技術に依存する一組の操作を実行する。メモリシーケンサ314は、例えば、対応するメモリ保管庫110に関連する命令復号操作、メモリアドレス多重化操作、メモリアドレス逆多重化操作、メモリリフレッシュ操作、メモリ保管庫配列操作、及び/又はメモリ保管庫事前読み出し操作を実行する場合がある。ある実施形態では、メモリシーケンサ314は、DRAMシーケンサを含む場合がある。ある実施形態では、メモリリフレッシュは、異なるリフレッシュコントローラ(図示されず)内で開始される場合がある。
【0025】
メモリシーケンサ314は、選択された設定又は技術のメモリ保管庫110にメモリ装置100を適合させるように設定される場合がある。例えば、メモリシーケンサ314は、メモリ装置100に関連する他のメモリシーケンサに同期して動作するように設定される場合がある。そのような設定が、単一のキャッシュ配線の要求に応答して、複数のメモリ保管庫から、ホストプロセッサ114に関連するキャッシュ配線(図示されず)へ、幅広いデータワードを送達するために使用される場合がある。
【0026】
MVC106は、書き込みバッファ316を含む場合がある。ホストプロセッサ114
からMVC106に到達するデータをバッファ処理するために、書き込みバッファ316が、PVCL310に結合される場合がある。MVC106は、読み出しバッファ317を更に含んでもよい。対応するメモリ保管庫110からMVC106に到達するデータをバッファ処理するために、読み出しバッファ317が、PVCL310に結合される場合がある。
【0027】
MVC106は、順序がバラバラな要求列318も含む場合がある。順序がバラバラな要求列318は、メモリ保管庫110内に含まれる複数のメモリバンクに、順序が付けられた序列の読み出し及び/又は書き込み操作を確立する。バンクの対立を削減し、読み出し対書き込み所要時間を減少させるために、整理された序列は、あらゆる単一のメモリバンクへの序列操作をも回避するように選択される。
【0028】
MVC106は、メモリマップロジック(MML)部品324を含んでもよい。MML324は、TWI修復ロジック328を利用したTWI修復操作又は他の修復操作等の、多数の操作を管理する。一実施例では、MML324は、3次元メモリアレイ200の複数の部分に対する複数の誤りデータを追跡する。多数の異なる部分は、MML324を利用して追跡することができる。一実施例では、誤りデータは、各ダイ204に対して追跡される。他の実施例は、各タイル205、各アレイ203等に対する誤りデータを追跡することを含む。
【0029】
図3は、メモリマップ315を含む実施形態を示す。メモリマップ315は、MML324と相互作用し、3次元メモリアレイ200の様々なメモリ部分を追跡し続け、追跡された特定の部分に固有の誤りデータ等の特性を格納する。実施例は、個別のダイ204、保管庫230、タイル205、又は3次元メモリアレイ200の多数のメモリセルの他の組分けに対する1つ以上の特性を追跡することを含む。誤りデータは、メモリ装置100により追跡、利用される特性として考察されるが、本発明は、それに限定されない。様々な実施形態では、各メモリ部分に固有の他の特性も追跡される。他の特性としては、動作レベル、電源降下状態、及びリフレッシュ速度を含んでもよいが、これらに限定されない。選択される実施形態では、3次元メモリアレイ200の異なるメモリ部分を個別に管理するために、メモリマップ315内に格納される様々な特性データを利用することができる。
【0030】
一実施形態では、3次元メモリアレイ200の複数のメモリ部分の動作の個別のレベルを監視するために、動作追跡装置326が含まれる。一実施形態では、動作追跡装置326からのデータは、保管庫、ダイ、タイル等の3次元メモリアレイ200の個別のメモリ部分の個別の電力状態を変更するために使用される。使用されていない部分、又は、高頻度で利用されていない部分の電力状態を低減することにより、メモリ装置100の電力効率が増加する。
【0031】
図3に示される実施例では、多数の動作追跡装置326が、各MVC106に対して1つ、含まれる。この構成では、各個別の動作追跡装置326を利用して、関連する保管庫230を追跡する。幾つかの実施例では、各々の動作追跡装置326を更に利用して、個別のタイル212等のような、関連する各々の保管庫230の部分を追跡する。
図1〜3は、複数の動作追跡機326を有する実施形態を示すが、他の実施形態は、ロジックチップ202上に位置する単一の動作追跡装置等の、異なる数の動作追跡装置を含む。各MVC106内に1つの動作追跡装置326を有することにより、保管庫レベルの粒度で監視し、その電力を制御することが容易になる。
【0032】
図4Aは、追跡装置326等の動作追跡装置を利用した操作の例示的方法を示す。操作410では、
図1〜3に示されるMVC106等の局所に取り付けられたロジックコント
ローラを利用して、メモリアレイのスタック内で個別のメモリ部分を制御する。上述されたように、メモリ部分の実施例としては、保管庫、ダイ、タイル等が挙げられる。
【0033】
操作420は、多数の異なるメモリ部分の各々の動作レベルを監視することを詳述する。一実施形態では、3次元メモリアレイ全体200が、制御され、監視されるが、本発明は、それに限定されない。他の実施例では、3次元メモリアレイ200の一部分のみが、監視され、その監視される部分のみの電力を制御するように操作される。
【0034】
操作430では、1つ以上の部分の電力状態が、各部分の動作レベルに対応するように変更される。一実施例では、動作レベルが、ある長さの時間にわたり追跡され、時間の長さの閾値と比較される。この閾値を超える場合に、その部分の電力状態が変更される。動作レベルの一実施例として、完全な不動作状態を監視することが挙げられる。一部分が、閾値を超えるある長さの時間にわたり不動作状態である場合に、その部分の電力状態を変更される。動作追跡装置326又はロジックチップ202内の他の局所ロジックを利用して電力レベルを監視し、管理することにより、メモリ装置100は、プロセッサ114とは無関係に電力効率を提供することができる。
【0035】
考察された構成を利用して、多数の電力状態レベルとなる可能性がある。最も簡単な電力レベルとして、メモリ保管庫230を完全にオン状態にするか、又は、完全にオフ状態にするような、メモリ部分の電力が挙げられる。一実施形態では、多数の中間電力レベルも含まれる。一実施例では、メモリ保管庫230等の部分に電源を入れるが、その部分には、いかなるリフレッシュ信号も送信されない。一実施例では、リフレッシュ速度は、メモリ部分の動作レベルに応じて増加又は減少する。一実施形態では、メモリ部分の動作レベルに基づいて、メモリ部分とプロセッサとの間のデータリンク等の他の補助回路の電源を落とすか又は入れる。データリンクの実施例は、
図1に示され、上述されるSCLI112を含む。上に列挙された個別の部品の実例に加えて、選択される実施形態では、部品の組み合わせに電源を入れるか又は落とすことができる。
【0036】
上には、局所に取り付けられた動作追跡装置326を利用してメモリ部分の動作を監視し、関連する電力レベルを調節することが記載される。他の実施形態では、局所動作追跡装置326を利用せずに、プロセッサ又は複数のプロセッサ114から、電力レベル調節器を制御する。
図4Bは、操作440で、保管庫230等のメモリアレイのスタックのメモリ保管庫の電力状態を変更するためのパケット命令を、プロセッサ114等のホストプロセッサから受信する方法を示す。操作450では、メモリアレイのスタックに局所的に取り付けられたロジックコントローラを利用して、そのパケット命令が実行される。
【0037】
局所取り付けロジックコントローラの一実施例として、MVC106が挙げられる。
図3では、例えば、MVC106に送信されるパケット命令により、上記の実施例の任意の電力状態の選択項目を制御することができる。1つの特定の実施例として、MVC106へのパケット命令を受信した後に、保管庫230内の動作を変更する結果として、保管庫230のリフレッシュ速度を変更することが挙げられる。パケット命令の別の実施例として、選択されたMVC106の電源を入れるか又は落とすことが挙げられる。パケット命令の別の実施例として、選択されたSCLIの電源を入れるか又は落とすことが挙げられる。
【0038】
選択されたシステムの実施形態は、多重コアプロセッサ等の複数のプロセッサに結合する装置100等のメモリ装置を含む。一実施形態では、メモリ装置100の一部分は、対応するプロセッサ又はプロセッサコアと直接的に関連付けられる。一実施形態では、プロセッサ又はプロセッサコアの電源を落とすか又は低い電力状態に設定する場合、メモリ装置100の対応する部分の電源も落とす。例えば、プロセッサ又はプロセッサコアの電源
を落とす場合、それに関連する保管庫230の電源を落とす。同様に、プロセッサ又はプロセッサコアの電源をより高レベルにする場合は、それに関連する保管庫又は他のメモリ部分の電源が、より高い状態にされる。
【0039】
一実施例では、
図3からの追跡装置326等の動作追跡装置が、関連するプロセッサ又はプロセッサコアを監視し、ロジックダイ202上の局所ロジックが、メモリ部分の電源を入れるか又は落とす。別の実施例では、プロセッサ又はプロセッサコアがプロセッサ電力状態を変更するのにともない、前記プロセッサ又はプロセッサコアからパケット命令を送信する。その後、ロジックダイ202上の局所ロジックは、応答し、それに従って、メモリ装置の部分の電力状態を変更する。
【0040】
様々な実施形態の装置及びシステムは、高密度、多重リンク、高処理能力の半導体メモリ下位システム以外の用途に有用である場合がある。従って、本発明の様々な実施形態は、そのように限定されない。メモリ装置100の説明は、様々な実施形態の構造に一般的な理解を提供することを意図している。説明は、本明細書に記載される構造を利用することができる装置及びシステムの全ての要素及び特徴を完全に記述するように機能することを意図していない。
【0041】
上述したように、システムは、3次元メモリ装置及びプロセッサを含む本開示で記載される。そのようなシステムの実施例は、テレビ、携帯電話、携帯情報端末(PDA)、個人用コンピュータ(例えば、ラップトップコンピュータ、卓上コンピュータ、携帯式コンピュータ、タブレット型コンピュータ等)、ワークステーション、ラジオ、ビデオプレーヤ、音響プレーヤ(例えば、MP3(モーション・ピクチャー・エキスパーツ・グループ、音響層3)プレーヤ)、車両、医療機器(例えば、心臓モニタ、血圧モニタ等)、セットトップボックス、その他を含むが、これらに限定されない。
【0042】
個人用コンピュータの高度な実施例が、本発明の1つの可能で高度な装置用途を示すために、
図5に含まれる。
図5は、本発明の実施形態に従って少なくとも1つのメモリ装置506が組み込まれている、情報処理システム500のブロック図である。
【0043】
この実施例では、情報処理システム500は、データ処理システムを含み、前記システムは、そのシステムの様々な部品を結合するためのシステムバス502を含む。システムバス502は、情報処理システム500の様々な部品の間に通信リンクを与え、単一のバスとして、バスの組み合わせとして、又は、いずれかの他の適切な方法で実装されてもよい。
【0044】
チップ組立部品504は、システムバス502に結合する。チップ組立部品504は、任意の回路又は操作上適合する回路の組み合わせを含む場合がある。一実施形態では、チップ組立部品504は、任意の種類とすることができるプロセッサ508又は複数のプロセッサを含む。本明細書で用いられる場合、「プロセッサ」は、マイクロプロセッサ、マイクロコントローラ、グラフィックプロセッサ、デジタル信号プロセッサ(DSP)、又は任意の他の種類のプロセッサ若しくは処理回路等の、しかしこれらに限定されない、任意の種類の計算回路を意味する。本明細書で用いられる場合、「プロセッサ」は、複数のプロセッサ又は複数のプロセッサコアを含む。
【0045】
一実施形態では、メモリ装置506は、チップ組立部品504内に含まれる。DRAM等のメモリ装置は、そのようなメモリ装置506の一実施例である。DRAM装置の一実施例として、上の実施形態で記載されるような集積ロジックチップを有する積層メモリチップ3次元メモリ装置が挙げられる。メモリ506は、フラッシュメモリ等の不揮発性メモリも含むことができる。
【0046】
情報処理システム500は、外部メモリ511をも含む場合があり、今度は、前記外部メモリは、1つ以上のハードドライブ512、及び/又は、フラッシュメモリドライブ、コンパクトディスク(CD)、デジタルビデオディスク(DVD)等のような脱着可能な媒体513を処理する1つ以上のドライブ等の、特定用途に適した1つ以上のメモリ要素を含むことができる。
【0047】
情報処理システム500は、モニタ等の表示装置509、スピーカ等の追加の周辺部品510、並びに、キーボード及び/又はコントローラ514も含む場合があり、これらは、マウス、トラックボール、ゲームコントローラ、音声認識装置、又は、システム利用者が情報処理システム500内に情報を入力し、前記処理システム500から情報を受信することを可能にする任意の他の装置を含むことができる。
【0048】
本発明の多数の実施形態が記載されるが、上の列挙は、包括的なものとして意図されていない。特定の実施形態が本明細書で説明され、且つ記載されているが、同じ目的を達成するために計算されるあらゆる配置が、示される特定の実施形態と入れ替えられてもよいことが当業者により理解されるであろう。本用途は、本発明の任意の適用又は変更を包含するように意図されている。理解されるべきことは、上の記載は、説明するように意図されており、制限するようには意図されていないことである。上記の実施形態と他の実施形態の組み合わせは、上の記載を検討することにより、当業者に明らかになるであろう。