特許6042143基板保持部材及びそれを備えた基板処理装置
発明の名称 基板保持部材及びそれを備えた基板処理装置
出願人 株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス （識別番号 207551）
特許公開件数ランキング 73 位（268件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 50 位（325件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6042143
公報発行日 2016年12月14
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6042143
知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6042143「基板保持部材及びそれを備えた基板処理装置」の公報全文を閲覧することができます。
ログインはこちら ログイン・ユーザー登録