特許 6042704 活性エネルギー線硬化性物質の硬化方法および活性エネルギー線照射装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6042704

(24)【登録日】2016年11月18日

(45)【発行日】2016年12月14日

(54)【発明の名称】活性エネルギー線硬化性物質の硬化方法および活性エネルギー線照射装置

(51)【国際特許分類】

   B05D 3/06 20060101AFI20161206BHJP

   B05D 7/24 20060101ALI20161206BHJP

   B05C 9/12 20060101ALN20161206BHJP

【ＦＩ】

   B05D3/06 Z

   B05D7/24 301T

   !B05C9/12

【請求項の数】2

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2012-252168(P2012-252168)

(22)【出願日】2012年11月16日

(65)【公開番号】特開2014-100620(P2014-100620A)

(43)【公開日】2014年6月5日

【審査請求日】2015年10月23日

(73)【特許権者】

【識別番号】000206473

【氏名又は名称】大倉工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100134979

【弁理士】

【氏名又は名称】中井 博

(74)【代理人】

【識別番号】100167427

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 茂樹

(74)【代理人】

【識別番号】100089222

【弁理士】

【氏名又は名称】山内 康伸

(72)【発明者】

【氏名】吾妻 俊良

(72)【発明者】

【氏名】白井 雅文

(72)【発明者】

【氏名】多田 修悟

(72)【発明者】

【氏名】杉原 澄洋

【審査官】 増田 亮子

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−００５８５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０９−１６１３３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−０４０７５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−０９１８８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０７−２７５７７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０５−００８３０７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ０５Ｄ １／００−７／２６

Ｂ０５Ｃ ９／１２

Ｂ２９Ｃ ３５／００−３５／１８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

シート状部材の表面に形成された活性エネルギー線硬化性物質からなる膜状体に対して活性エネルギー線を照射して、該膜状体を硬化させる方法であって、
該膜状体が、その表面と平行な方向に沿って搬送される場合において、
該膜状体においてその搬送方向と直交する方向では、該膜状体の移動に伴って、該膜状体に対して前記活性エネルギー線が照射される照射領域を、該膜状体の表面に沿って該膜状体の中央から外縁に向かって移動させる
ことを特徴とする活性エネルギー線硬化性物質の硬化方法。

【請求項2】

前記照射領域が略Ｖ字状となるように、前記活性エネルギー線を前記膜状体に照射する
ことを特徴とする請求項１記載の活性エネルギー線硬化性物質の硬化方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、活性エネルギー線硬化性物質の硬化方法および活性エネルギー線照射装置に関する。さらに詳しくは、紫外線や電子線などの活性エネルギー線によって硬化する物質によって形成された膜やシート等に対して活性エネルギー線を照射して物質を硬化させる活性エネルギー線硬化性物質の硬化方法および活性エネルギー線照射装置に関する。

【背景技術】

【0002】

紫外線や電子線などの活性エネルギー線によって硬化する活性エネルギー線硬化性物質（以下単に硬化性物質という）は、所定の形状に成形したりシート状にしたりすることが容易であるので、様々な分野で使用されている。例えば、太陽電池やディスプレイなどの基板の素材として使用されており、また、タッチパネルなどにおいてその表面を保護するハードコートフィルムの保護膜の素材としても使用されている。

【0003】

例えば、ハードコートフィルムの保護膜を硬化性物質によって形成する場合には、以下のような方法で保護膜が形成される。
まず、硬化性物質を溶剤によって溶かして液状またはペースト状とする。ついで、液状またはペースト状となった硬化性物質を、保護膜を形成するシートの表面に塗布する。さらに、シートの表面に塗布された硬化性物質を加熱して溶剤を除去した後、硬化性物質に対して活性エネルギー線を照射する。すると、硬化性物質が重合して硬化するので、シートの表面には硬化性物質からなる保護膜が形成されるのである。なお、硬化性物質が硬化する際に、シートと密着して積層される。

【0004】

一方、硬化性物質は重合して硬化するため、硬化する際に収縮が生じる。かかる収縮が発生した場合、保護膜が形成されているシートには、硬化性物質の収縮に起因する応力が加わることになる。つまり、硬化性物質で形成された膜が収縮する場合、膜はシート表面に沿った方向にも収縮するため、膜の収縮量に応じた応力がシートに加わることになる。すると、シートがフィルムなどである場合のように、この応力をシートが支えることができない場合には、シートがカール（反る）してしまう。

【0005】

かかるカールは、シート表面に沿った方向における硬化性物質の収縮量（以下単に硬化性物質の収縮量という）を少なくすることによって、抑えることができる可能性がある。
硬化性物質の収縮量を抑える技術として、例えば、特許文献１には、支持フィルムの表面に塗布された紫外線硬化剤を含む重合体膜を重合させる際に、重合体膜の重合を複数の重合工程で行う技術が開示されている。この技術では、重合工程の間に、重合に起因して発生した内部応力を緩和させる緩和工程を行うことによって、カールを防止している。

【0006】

そして、特許文献１には、一回の重合工程では重合体膜を完全に重合させず重合体膜に流動性を維持させておき、この流動性を維持した状態の重合体膜に対して緩和工程を行うことによって内部応力を緩和させることができるので、内部応力に起因するカールを防止することができる旨が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開２０１１−１５２５２５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

しかるに、特許文献１の技術でも、重合体膜が形成された支持フィルムを連続して搬送しながら重合体膜に紫外線を照射する際に、重合体膜には、支持フィルムの幅方向のほぼ全域に同時に紫外線が照射される。すると、重合体膜を完全に重合させないとしても、紫外線が照射された部分、つまり、支持フィルムの幅方向のほぼ全域で重合が生じている。このため、たとえ緩和工程を実施したとしても、支持フィルムの幅方向では重合体膜の内部に発生する内部応力を抑制することは困難である。

【0009】

しかも、均一な重合と均一な緩和を生じさせることができない場合には、支持フィルムの幅方向において内部応力のバラツキが生じる可能性もある。すると、シートが波打つような状態となる可能性もある。

【0010】

本発明は上記事情に鑑み、活性エネルギー線硬化性物質を硬化させた際に、活性エネルギー線硬化性物質を設けたシートの反りなどを防止することができる活性エネルギー線硬化性物質の硬化方法および活性エネルギー線照射装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0011】

（活性エネルギー線硬化性物質の硬化方法）
第１発明の活性エネルギー線硬化性物質の硬化方法は、シート状部材の表面に形成された活性エネルギー線硬化性物質からなる膜状体に対して活性エネルギー線を照射して、該膜状体を硬化させる方法であって、該膜状体が、その表面と平行な方向に沿って搬送される場合において、該膜状体においてその搬送方向と直交する方向では、該膜状体の移動に伴って、該膜状体に対して前記活性エネルギー線が照射される照射領域を、該膜状体の表面に沿って該膜状体の中央から外縁に向かって移動させることを特徴とする。
第２発明の活性エネルギー線硬化性物質の硬化方法は、第１発明において、前記照射領域が略Ｖ字状となるように、前記活性エネルギー線を前記膜状体に照射することを特徴とする。

【発明の効果】

【0012】

（活性エネルギー線硬化性物質の硬化方法）
第１発明によれば、膜状体を、膜状体の幅方向において、その中央から硬化させることができこの中央から外縁に向かって順次硬化させることができる。すると、硬化した領域が広がる際に、膜状体の幅方向において、膜状体の内部や膜状体とシート状部材との間に内部応力が発生することを抑制することができる。しかも、膜状体の幅方向において、その幅方向に沿った内部応力の発生を抑えることができる。したがって、表面に膜状体を形成したシート状部材を搬送しながら膜状体を硬化させる場合でも、膜状体の硬化に起因してシート状部材がカールすることを抑制することができる。
第２発明によれば、照射領域が略Ｖ字状となっているので、膜状体を搬送するだけで活性エネルギー線が照射される位置を膜状体の幅方向における中央から幅方向に順次移動させることができる。したがって、活性エネルギー線が照射される照射領域の移動を、簡単な構成で実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本実施形態の活性エネルギー線照射装置１の概略説明図であって、（Ａ）は平面図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。

【図2】活性エネルギー線を照射して膜状体Ｍを硬化させている状態の概略説明図であり、（ａ）〜（ｃ）は図１のａ−ａ線、ｂ−ｂ線、ｃ−ｃ線の各断面図である。

【図3】活性エネルギー線照射手段３の他の実施形態を示した図である。

【図4】活性エネルギー線照射手段３のさらに他の実施形態を示した図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

本発明の活性エネルギー線硬化性物質の硬化方法は、シート状部材の表面に形成された膜状体を硬化させる方法であって、膜状体が硬化する際における内部応力の発生を抑制し、膜状体が硬化したときにシート状部材がカール（反り）することを防止することができる方法である。

【0015】

ここで、本発明の活性エネルギー線硬化性物質の硬化方法によって硬化される膜状体（以下、単に膜状体という）とは、活性エネルギー線が照射されることによって重合して、硬化しつつその体積が減少する組成物によって形成されたものである。膜状体の組成物としては、例えば、（メタ）アクリレートや多官能（メタ）アクリレート、エポキシ、二重結合等の官能基を有するシロキサン系化合物などの紫外線硬化性モノマーやオリゴマーと、重合開始剤とを混合した組成物を挙げることができるが、これらに限定されない。また、本発明における硬化性物質は、上述したように活性エネルギー線によって重合して収縮硬化するものだけでなく、活性エネルギー線により架橋し、硬化する樹脂（ポリマー）も含むものである。

【0016】

また、活性エネルギー線とは、上述したような膜状体の組成物を重合や架橋させるものであればよく、膜状体の組成物に合わせた適切なものを使用することができる。活性エネルギー線としては、特に限定されるものではなく、例えば、紫外線や電子線などを使用することができる。

【0017】

さらに、表面に膜状体を形成するシート状部材もとくに限定されない。シート状部材としては、例えば、ポリエステルフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、セルロース系フィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、エチレンビニルアルコールフィルム、ポリスチレン系フィルム、ポリカーボネートフィルム、シクロオレフィンポリマーフィルム、ノルボルネン樹脂系フィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリエーテルケトンフィルム、ポリエーテルスルホンフィルム、ポリスルホン系フィルム、ポリエーテルケトンイミドフィルム、ポリアミドフィルム、フッ素樹脂フィルム、アクリル系フィルム等のフィルムや、これらのフィルムを２層以上積層したフィルムなどが挙げられる。また、シート状部材は、基材フィルムとして用いる場合や、フィルムの少なくとも一方に易剥離処理がなされた離型フィルムとして用いる場合、エンドレスベルト等として用いる場合などがある。

【0018】

硬化した膜状体の用途もとくに限定されない。例えば、離型フィルム上に硬化した膜状体を形成し、離型フィルムを剥がすことで得られるシート状の透明樹脂基板であれば、この透明樹脂基板は、液晶表示装置や有機ＥＬディスプレイ用の基板、有機ＥＬ照明用基板、太陽電池基板、プリント配線基板、フレキシブルプリント配線基板などとして使用することができる。また、上記シート状部材を基材フィルムとし、この基材フィルムの表面に膜状体を形成して硬化させた場合には、液晶表示装置や有機ＥＬディスプレイ、プラズマディスプレイ等の前面を保護するハードコートフィルムとして使用することができる。

【0019】

（活性エネルギー線照射装置の説明）
まず、本発明の活性エネルギー線硬化性物質の硬化方法に使用される装置（本実施形態の活性エネルギー線照射装置１）について説明する。
なお、以下説明に用いる各図では、説明をわかりやすくするために、膜状体やシート状部材ＢＳ、活性エネルギー線照射装置１の各部材の相対的な大きさは、必ずしも実際のものと同じ比率ではない。

【0020】

図１において、符号Ｍは上述した膜状体を示しており、符号ＢＳは膜状体Ｍが表面に形成されたシート状部材を示している。なお、膜状体Ｍと、表面に膜状体Ｍが形成されたシート状部材ＢＳとを合わせて、以下では処理対象シートＳという。

【0021】

図１に示すように、本実施形態の活性エネルギー線照射装置１は、本体ケース２を備えている。この本体ケース２は、内部に中空な空間２ｈを有しており、この中空な空間２ｈと外部とを連通する一対の開口を有している。この一対の開口は、本体ケース２の空間２ｈ内に、処理対象シートＳを供給搬出するために設けられている。具体的には、処理対象シートＳは一方（図１（Ａ）では下方、図１（Ｂ）では左方）の開口から空間２ｈ内に搬入され、他方（図１（Ａ）では上方、図１（Ｂ）では右方）の開口から処理対象シートＳは外部に搬出されるのである。

【0022】

図１に示すように、本体ケース２の空間２ｈ内には、活性エネルギー線照射手段３が設けられている。この活性エネルギー線照射手段３は、複数の線源３ａと遮蔽部材５を備えている。

【0023】

まず、複数の線源３ａは活性エネルギー線を放射することができるものである。図１では、棒状の線源３ａを複数使用し、この複数の線源３ａの軸方向が処理対象シートＳの搬送方向と直交するように配設されている場合を例示している。
この複数の線源３ａは、本体ケース２の空間２ｈ内に位置する処理対象シートＳの上方に配設されている。つまり、複数の線源３ａは、放射する活性エネルギー線を処理対象シートＳの表面、つまり、処理対象シートＳの膜状体Ｍに照射できるように設けられている。

【0024】

図１に示すように、遮蔽部材５は、複数の線源３ａと処理対象シートＳとの間に設けられている。この遮蔽部材５は、活性エネルギー線を透過させる活性エネルギー線透過部を備えている。この活性エネルギー線透過部は、複数の線源３ａから放出された活性エネルギー線の一部が処理対象シートＳに照射されるようにする部分である。言い換えれば、遮蔽部材５は、処理対象シートＳの膜状体Ｍの表面に照射される活性エネルギー線を制限する機能を有している。

【0025】

具体的には、遮蔽部材５は、活性エネルギー線を透過させない素材によって形成されており、本体ケース２の空間２ｈ内に位置する処理対象シートＳを覆うように設けられている。そして、遮蔽部材５には、遮蔽部材５を貫通する貫通孔５ｈが形成されている。この貫通孔５ｈは、処理対象シートＳの移動方向の下流側に向かって広がるＶ字状に形成されている。つまり、複数の線源３ａから放出された活性エネルギー線は、処理対象シートＳの膜状体Ｍの表面にＶ字状の照射領域が形成されるように、遮蔽部材５によって遮蔽されるのである。

【0026】

（活性エネルギー線硬化性物質の硬化方法）
本実施形態の活性エネルギー線照射装置１によって、連続して搬送される処理対象シートＳの膜状体Ｍを硬化させる作業（つまり、活性エネルギー線硬化性物質の硬化方法）を説明する。
なお、以下の説明では、シート状部材ＢＳの表面に連続した膜となるように膜状体Ｍが形成されている場合を説明するが、膜状体Ｍをシート状部材ＢＳの表面に間欠的に形成した場合でも、同様に各膜状体Ｍをそれぞれ硬化させることができる。

【0027】

まず、活性エネルギー線照射装置１の上流側では、シート状部材ＢＳが原反などから繰り出される。そして、原反などから繰り出されたシート状部材ＢＳの表面に膜状体Ｍの組成物が供給される。すると、シート状部材ＢＳの表面には所定の厚さの膜状体Ｍが形成され、かかる膜状体Ｍを有する処理対象シートＳが形成される。膜状体Ｍをシート状部材ＢＳの表面に形成する方法は、例えば、塗布などの方法を採用できるが、とくに限定されない。

【0028】

膜状体Ｍが形成された処理対象シートＳは、活性エネルギー線照射装置１の本体ケース２内に搬送される。そして、本体ケース２内において、活性エネルギー線照射手段３の複数の線源３ａから放出される活性エネルギー線が膜状体Ｍの表面に照射される。

【0029】

ここで、複数の線源３ａから放出される活性エネルギー線は、一部が遮蔽部材５によって遮蔽されるので、膜状体Ｍの表面に形成される照射領域は略Ｖ字状になる。そして、略Ｖ字状の照射領域では、図２に示すように膜状体Ｍの硬化が進行する。

【0030】

まず、図２（ａ）に示すように、図１のａ−ａ断面の位置では、遮蔽部材５の貫通孔５ｈは遮蔽部材５の幅方向の中央部の狭い領域だけに形成されているので、その領域を通過した活性エネルギー線だけが膜状体Ｍの表面に照射される。すると、活性エネルギー線が照射された狭い領域でのみ膜状体Ｍが硬化する。つまり、膜状体Ｍの幅方向の中央部だけに硬化部分ＨＭが形成される。

【0031】

一方、膜状体Ｍにおいて、硬化部分ＨＭと幅方向の外縁部分との間の領域には活性エネルギー線が照射されていないので、この領域の膜状体Ｍは、未硬化な状態のままの未硬化部分ＳＭとなっている。

【0032】

ここで、硬化部分ＨＭが形成される際には、膜状体Ｍの組成物が重合などによって収縮する。このため、硬化部分ＨＭは未硬化部分ＳＭよりも厚さが薄くなるとともに、その幅方向においても若干収縮するので、硬化部分ＨＭでは、その幅方向に沿った内部応力が発生する可能性がある。例えば、硬化部分ＨＭでは、膜状体Ｍとシート状部材ＢＳとの結合も強くなる。すると、硬化部分ＨＭが収縮する際に、シート状部材ＢＳを収縮方向に引っ張る力（内部応力）が発生する可能性がある。

【0033】

しかし、上述したように、本実施形態の活性エネルギー線照射装置１では、活性エネルギー線が膜状体Ｍの幅方向では、膜状体Ｍの幅に比べて狭い領域に照射されるので、硬化部分ＨＭの幅も狭くなる。すると、硬化部分ＨＭが収縮する際に、幅方向における収縮量を少なくすることができる。しかも、硬化部分ＨＭの両側に位置する未硬化部分ＳＭはシート状部材ＢＳの表面に沿って移動可能な状態に維持されている。すると、硬化部分ＨＭが幅方向に収縮する際に、未硬化部分ＳＭとの境界では、未硬化部分ＳＭが移動するので、硬化部分ＨＭ以外では内部応力は発生しない。したがって、図１のａ−ａ断面の位置において、膜状体Ｍに硬化部分ＨＭが形成されても、シート状部材ＢＳを収縮方向に引っ張る力の発生を抑制することができる。

【0034】

図１のａ−ａ断面の位置において膜状体Ｍの中央部に硬化部分ＨＭが形成された処理対象シートＳは、図１のｂ−ｂ断面の位置まで移動する間に硬化部分ＨＭが広がる（図２（ｂ））。これは、図１のａ−ａ断面の位置と図１のｂ−ｂ断面の位置の間で、遮蔽部材５の貫通孔５ｈの幅が広がったからである。

【0035】

ここで、図１のａ−ａ断面の位置と図１のｂ−ｂ断面の位置の間において、遮蔽部材５の貫通孔５ｈの幅は徐々に広がっているので、硬化部分ＨＭは、処理対象シートＳの移動に伴って徐々に幅方向に広がることになる。つまり、硬化部分ＨＭにおいて硬化が同時に進行する領域は狭いので、上述した理由から、膜状体Ｍの硬化部分ＨＭが広がっても、シート状部材ＢＳを収縮方向に引っ張る力の発生は抑制される。

【0036】

処理対象シートＳが図１のｃ−ｃ断面の位置まで移動すると、硬化部分ＨＭの幅はさらに広くなるが、上述した理由から、シート状部材ＢＳを収縮方向に引っ張る力の発生は抑制される。

【0037】

最終的に膜状体Ｍの幅方向の全体が硬化部分ＨＭとなるが、硬化部分ＨＭが形成される際に、シート状部材ＢＳの幅方向では、シート状部材ＢＳを収縮方向（つまり幅方向）に引っ張る力の発生が抑えられている。このため、膜状体Ｍの幅方向の全体が硬化部分ＨＭとなっても、膜状体Ｍに残留している内部応力（つまり膜状体Ｍの幅方向に沿った方向の内部応力）を小さくすることができる。したがって、膜状体Ｍが硬化しても、処理対象シートＳが幅方向においてカールすることを抑制することができる。

【0038】

膜状体Ｍの幅方向の全体が硬化部分ＨＭとなった処理対象シートＳは、そのままロール上に巻き取られて製品ロールとしたり、処理対象シートＳからシート状部材ＢＳを剥がして硬化した膜状体Ｍだけを巻き取って製品ロールとしたりすることができる。

【0039】

また、膜状体Ｍだけを巻き取る際には、膜状体Ｍ同士が接触しないように、別の保護シートを挟んでロール状とする場合もある。

【0040】

さらに、シート状部材ＢＳがエンドレスベルトである場合には、エンドレスベルトの端部おいて処理対象シートＳからシート状部材ＢＳを簡単に剥がすことができる。

【0041】

さらに、上記例では、膜状体Ｍの表面を露出させた状態で活性エネルギー線を照射する場合を説明したが、シート状部材ＢＳの表面に膜状体Ｍを形成した後、膜状体Ｍの表面にさらにシート状のカバー部材（カバーフィルム）を重ねて配置するようにしてもよい。この場合には、カバー部材として活性エネルギー線を透過するような素材を使用すれば、カバー部材が設けられていても、活性エネルギー線を膜状体Ｍに照射でき、膜状体Ｍを硬化させることができるよい。

【0042】

そして、シート状部材ＢＳの素材に活性エネルギー線を透過するような素材を使用することも可能である。この場合には、膜状体Ｍに対して、表裏両側から活性エネルギー線を照射できるので、硬化した膜状体Ｍにおいて、厚さ方向における収縮状態を均一に近づけることができる。とくに、膜状体Ｍの表面に、シート状部材ＢＳと同じものをカバー部材として重ねておけば、膜状体Ｍの表裏両側で活性エネルギー線の照射状態を同じ状態にすることができる。

【0043】

（遮蔽部材５について）
なお、遮蔽部材５の素材は、活性エネルギー線を透過させないものであればとくに限定されない。例えば、ステンレスやアルミニウムなどの金属板、セラミックやガラスなどの無機板、樹脂板等を採用することができる。このうち、活性エネルギー線の照射により熱が発生しやすい場合においては、ステンレスやアルミニウムなどの金属板、セラミックやガラスなどの無機板、又は耐熱性の樹脂板を採用することが特に好ましい。

【0044】

また、遮蔽部材５に形成される、貫通孔５ｈなどの活性エネルギー線透過部の形状は略Ｖ字状に限られず、処理対象シートＳの搬送方向下流側に行くに従って照射領域が幅方向に移動するようになっていればよい。例えば、活性エネルギー線透過部を三角形状に形成してもよい。ただし、略Ｖ字状にすれば、既に硬化している領域には活性エネルギー線が照射されないため、必要以上に硬化を進行させないようにする必要がある場合であれば、略Ｖ字状となっている方が好ましい。

【0045】

さらに、遮蔽部材５において、活性エネルギー線透過部はどのような構造で実現してもよい。例えば、遮蔽部材５の一部を活性エネルギー線を透過させる素材によって形成して活性エネルギー線透過部としてもよい。しかし、貫通孔５ｈを形成して活性エネルギー線透過部とした場合には、遮蔽部材５に貫通孔５ｈを形成するだけで活性エネルギー線透過部を形成できるので、遮蔽部材５の製造が簡単になるという利点が得られる。

【0046】

（線源３ａについて）
上記例では、複数の線源３ａが棒状であって、その軸方向が処理対象シートＳの搬送方向と直交するように配設されている場合について説明した。しかし、複数の線源３ａは、その軸方向が処理対象シートＳの搬送方向と平行となるように配設されていてもよい。

【0047】

また、図３（Ａ）に示すように、線源３ａを配置してもよい。具体的には、２本の線源３ａを、その処理対象シートＳの搬送方向上流側の端部（図３では下方の端部）がほぼ処理対象シートＳの幅方向の中間に位置し、処理対象シートＳの搬送方向下流側（図３では上方）に行くに従って両線源３ａ間の距離が離れるように配置する。この場合、処理対象シートＳの膜状体Ｍに活性エネルギー線が照射される照射領域は、略Ｖ字状となる。すると、上述したような遮蔽部材５を設けなくても、処理対象シートＳが搬送されるにしたがって、処理対象シートＳの膜状体Ｍに活性エネルギー線が照射される照射領域を中央から外縁に向かって移動させることができる。
図３（Ｂ）や図３（Ｃ）に示すように３本の線源３ａを配置した場合でも、図３（Ａ）と同様の効果を得ることができる。

【0048】

もちろん、上記のごとく線源３ａを配置した場合でも、遮蔽部材５を線源３ａと処理対象シートＳの間に設けてもよい。例えば、線源３ａから放出される活性エネルギー線がある程度の拡がりをもって処理対象シートＳの膜状体Ｍに照射される場合であれば、遮蔽部材５を設けておけば、活性エネルギー線が照射される照射領域を限定することができるという利点が得られる。

【0049】

また、線源３ａとして、ＬＥＤ光源などのように指向性に優れた点状線源や、かかる点状線源を複数配列したものを使用してもよい。この場合には、処理対象シートＳの膜状体Ｍの表面において、各点状線源の照射した活性エネルギー線が照射される領域を狭くすることができる。すると、遮蔽部材５を設けなくても、より適切に照射領域を限定することができる。例えば、図３（Ａ）の線源３ａとして、基板に複数の点状線源を配列したものを使用すれば、線源３ａを処理対象シートＳの膜状体Ｍの表面に投射したような照射領域を形成することができる。

【0050】

（処理対象シートＳが移動しない場合）
上記例では、処理対象シートＳが搬送される場合、つまり、処理対象シートＳの移動に伴って照射領域が移動する場合を説明した。
一方、処理対象シートＳを移動させない場合には、活性エネルギー線照射手段３を以下のごとき構成とすれば、活性エネルギー線が照射される照射領域を処理対象シートＳの膜状体Ｍの表面に沿って中央から外縁に向かって移動させることができる。

【0051】

図４は、処理対象シートＳ側から活性エネルギー線を見た状態の概略説明図である。
図４（Ａ）では、複数の線源３ａが同心円状に配列された状態を示している。このように複数の線源３ａを配置した場合には、複数の線源３ａの作動を制御する制御部を設けておく。そして、この制御部によって、活性エネルギー線を照射する線源３ａが中央から外方に順次切り替わるように、複数の線源３ａの作動を制御する。すると、処理対象シートＳの膜状体Ｍに活性エネルギー線が照射される照射領域を中央から外縁に向かって移動させることができる。

【0052】

また、図４（Ｂ）に示すように、複数の線源３ａを、中央から放射線状に移動できるように設けてもよい。例えば、本体ケース２の天井部に放射線状にレールを設け、このレールに沿って複数の線源３ａを移動させる移動機構を設けておく。すると、移動機構によって複数の線源３ａを中央から外方に移動させれば、処理対象シートＳの膜状体Ｍに活性エネルギー線が照射される領域を中央から順次外方に移動させることができる。

【0053】

上述した図４（Ａ）における複数の線源３ａの作動を制御する制御部や、レールに沿って複数の線源３ａを移動させる移動機構が、特許請求の範囲にいう照射位置調整手段に相当する。
また、処理対象シートＳを移動させる場合には、この処理対象シートＳを移動させる機構が、特許請求の範囲にいう照射位置調整手段に相当する。

【産業上の利用可能性】

【0054】

本発明の活性エネルギー線硬化性物質の硬化方法は、太陽電池やディスプレイなどの基板の製造や基材フィルムに保護膜（ハードコート層）を形成する方法として適している。

【符号の説明】

【0055】

１ 活性エネルギー線照射装置
３ 活性エネルギー線照射手段
３ａ 線源
５ 遮蔽部材
５ｈ 貫通孔
Ｓ 処理対象シート
ＢＳ シート状部材
Ｍ 膜状体
ＳＭ 未硬化部分
ＨＭ 硬化部分

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】