特許6042941極紫外線検査システム

発明の名称　極紫外線検査システム

出願人　ケーエルエー−テンカー・コーポレーション　（識別番号 502442049）

　　　　特許公開件数ランキング 966 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 956 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6042941

公報発行日　2016年12月14

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6042941

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