(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、特許文献1に記載されたような従来のシート貼付装置では、形状や大きさが異なる複数種類の接着シートに対応する複数種類の選択シートを用意する必要があるため、汎用性に欠けるという問題がある。
また、選択シートの交換時に、装置を一旦分解して選択シートを付け替えるという面倒な作業が必要となり、作業者の作業負担が増えてしまうという不都合がある。
【0005】
本発明の目的は、汎用性に優れたシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
また、本発明の別の目的は、作業者の作業負担を軽減することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明のシート貼付装置は、基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートを複数の吸引孔が設けられた吸着面で保持して被着体に貼付するシート貼付装置であって、前記接着シートを繰り出す繰出手段と、前記吸着面および前記複数の吸引孔を有し、前記繰出手段で繰り出された接着シートを保持する保持手段と、前記吸引孔に吸引力を付与する減圧手段と、前記保持手段で保持された接着シートを被着体に当接させて貼付する貼付手段と、前記吸着面において吸引力が付与される吸引孔が存する領域を吸引領域として、当該吸引領域の大きさを変更可能な吸引領域変更手段とを備え、前記吸引領域変更手段は、所定個数の吸引孔を1単位とし、当該1単位毎に設けられた複数の連通路と、
前記減圧手段および前記複数の連通路に連通する減圧ケースと、前記複数の連通路を個別に前記減圧手段と断続可能な連通路開閉手段とを有し、前記連通路開閉手段は、
前記減圧ケースに挿抜可能に設けられ、前記連通路に連通する複数の貫通孔が設けられた本体部と、前記貫通孔に挿抜可能に設けられ、当該貫通孔を塞ぐ部材とを備えていることを特徴とする。
【0007】
本発明のシート貼付装置において、
前記貫通孔を塞ぐ部材は、前記貫通孔に螺合する複数の雄ねじ部材
であることが好ましい。
【0008】
本発明のシート貼付方法は、基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートを複数の吸引孔が設けられた吸着面で保持して被着体に貼付するシート貼付方法であって、前記吸引孔には、所定個数の吸引孔を1単位とし、当該1単位毎に設けられた複数の連通路を介して吸引力が付与され、減圧手段および前記
複数の連通路に連通する
減圧ケースに挿抜可能な本体部に設けられ、前記連通路に連通する複数の貫通孔に当該貫通孔を塞ぐ部材を挿抜し、前記連通路を個別に減圧手段と断続させることで、前記複数の吸引孔のうち吸引力が付与される吸引孔が存する領域を吸引領域として、当該吸引領域の大きさを変更し、前記接着シートを繰り出し、繰り出された接着シートを前記吸着面における吸引領域で保持し、保持された接着シートを被着体に当接させて貼付することを特徴とする。
【発明の効果】
【0009】
以上のような本発明によれば、複数の連通路を設け、複数の連通路を個別に減圧手段と断続可能な連通路開閉手段を設けたことで、吸引領域を変更するための選択シートのような部品を接着シートの形状や大きさごとに用意する必要がなく、汎用性を向上させることができる。
また、連通路を個別に断続させるだけで吸引領域を変更することができるので、作業者の作業負担を軽減することができる。
【0010】
本発明において、本体部および雄ねじ部材で連通路開閉手段を構成すれば、雄ねじ部材により連通路を断続させることができるので、十分な汎用性を確保することができる。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、水平面内の軸とし、Z軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な矢印AR方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【0013】
図1から
図3において、シート貼付装置1は、基材シートBSの一方の面に接着剤層ADを有する接着シートASを繰り出す繰出手段2と、吸着面32および複数(本実施形態の場合36個)の吸引孔31を有し、繰出手段2で繰り出された接着シートASを保持する保持手段3と、吸引孔31に吸引力を付与する減圧手段4と、保持手段3で保持された接着シートASを被着体WKに当接させて貼付する貼付手段5と、吸着面32において吸引力が付与される吸引孔31が存する領域を吸引領域として、当該吸引領域の大きさを変更可能な吸引領域変更手段6とを備えている。
【0014】
繰出手段2は、接着シートASが接着剤層ADを介して帯状の剥離シートRLの一方の面に仮着された原反RSを支持する支持ローラ21と、原反RSを案内する複数のガイドローラ22と、原反RSを折り返すことで剥離シートRLから接着シートASを剥離する剥離板23と、駆動機器である回動モータDMによって駆動される駆動ローラ24と、駆動ローラ24との間に剥離シートRLを挟み込むピンチローラ25と、図示しない駆動機器によって駆動されて剥離シートRLを回収する回収ローラ26とを備え、その全体がフレーム20に支持されている。
【0015】
保持手段3は、下面に吸着面32を有する吸着板33により構成され、吸着面32から吸着板33の上面34まで貫通した吸引孔31が形成されている。吸着面32に形成された吸引孔31は、Y軸方向に沿う複数のY軸列(第1〜第6Y軸列Y1〜Y6)および、X軸方向に沿う複数のX軸列(第1〜第6X軸列X1〜X6)の交点に形成されている。
【0016】
減圧手段4は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧原41と、吸引領域変更手段6を介して減圧原41と吸引孔31とを接続する配管42とを備えている。
【0017】
貼付手段5は、駆動機器としての直動モータ51からなり、当該直動モータ51の出力軸51A(
図3)で吸着板33を支持している。
【0018】
吸引領域変更手段6は、所定個数(本実施形態の場合1個)の吸引孔31を1単位とし、当該1単位毎に設けられた複数(本実施形態の場合36本)の連通路60と、前方に開口部61を有する減圧ケース62と、開口部61から減圧ケース62内に挿抜可能に設けられ、貫通孔63が形成された本体部としての挿抜プレート64と、貫通孔63に挿抜可能に設けられた連通路開閉手段としての皿ねじ65とを備えている。減圧ケース62には、挿抜プレート64が挿入されたときに、当該挿抜プレート64の上方に形成されるとともに、配管42を介して減圧原41に連通する減圧空間SPを形成する凹部66(
図3)と、挿抜プレート64の下方で各貫通孔63にそれぞれ連通するとともに、連通路60に接続された複数の連通孔67とが設けられている。また、挿抜プレート64に形成された貫通孔63は、雌ねじ部63Aと、雌ねじ部63Aに連続する皿もみ部63Bによって構成され、皿ねじ65を螺合させることで連通路60を個別に減圧手段4と断続可能、すなわち、連通路60を個別に減圧手段4と連通したり、それらの連通を個別に遮断したりすることができるようになっている。このような構成により、各吸引孔31は、連通路60、連通孔67、貫通孔63、減圧空間SP、および配管42を介して、それぞれ減圧原41に連通されるとともに、皿ねじ65の螺合によって減圧原41との連通が遮断され、吸引領域を変更可能に設けられている。
【0019】
なお、連通路60は、樹脂、ゴム等の弾性変形が可能な部材によって構成したり、弾性変形が不能な部材によって形成したりしてもよく、弾性変形が不能な部材で構成した場合、吸着板33の昇降に影響されないように、フレキシブル継手やフレキシブルチューブ等を設けてもよい。
また、減圧ケース62および挿抜プレート64の少なくとも一方には、減圧ケース62に挿抜プレート64が挿入されたときに、開口部61から外気または減圧が漏れることがないように、また、減圧空間SPの減圧が挿抜プレート64下方に漏れることがないように、さらには、挿抜プレート64の下部で各吸引孔31同士が連通しないように、図示しないパッキンや遮蔽板等の密閉手段が設けられている。
また、貫通孔63の間隔は、吸引孔31の間隔より広くてもよいし、狭くてもよい。特に、吸引孔31の間隔が狭い場合には、作業者が狭いスペース内で皿ねじ65の着脱を行わなくてすむように、貫通孔63の間隔を広く設定するとよい。この場合、皿ねじ65も大きなものとすることができ、作業者が細かな作業を強いられるといった不都合を解消することができる。また、吸引領域変更手段6を保持手段3から離間した位置に設けることができるので、狭い装置の内部に手を入れて作業を強いられるといった不都合も解消することができる。
【0020】
以上のシート貼付装置1において、被着体WKに接着シートASを貼付する手順について説明する。
先ず、接着シートASの後方端縁を所定の基準位置に合わせながら、原反RSを
図1に示すようにセットする。次いで、挿抜プレート64の貫通孔63に皿ねじ65を螺合させ、当該挿抜プレート64を開口部61から減圧ケース62に挿入収容することで、吸着面32における吸引領域を接着シートASの大きさに合わせて変更する。例えば、接着シートASが
図1中実線で示すサイズの接着シートAS1の場合、当該接着シートAS1を吸着面32で支持したときに、接着シートAS1の外側に位置する吸引孔31に吸引力が付与されないように、複数の吸引孔31のうち吸引力が付与される吸引孔31を選択し、吸引領域の変更を行う。すなわち、
図2に示すように、第1〜第4Y軸列Y1〜Y4と第1〜第2X軸列X1〜X2の交点にある吸引孔31のみが減圧原41に連通し、当該領域が吸引領域となるように、その他の吸引孔31に対応する貫通孔63を皿ねじ65で塞ぐ。一方、接着シートASが
図1中二点鎖線で示すサイズの接着シートAS2の場合、第1〜第6Y軸列Y1〜Y6と第1〜第6X軸列X1〜X6の交点にある吸引孔31(全ての吸引孔31)が減圧原41に連通した状態とし、当該領域を吸引領域とする。
【0021】
次に、被着体WKがコンベア等の搬送手段CV上を搬送されてくると、図示しないセンサによって検知され、
図3中二点鎖線で示すように、被着体WKが吸着板33における吸引領域の下方位置で停止する。そして、被着体WKが停止したことが確認されると、繰出手段2が回動モータDMを駆動し、接着シートASを繰り出し、減圧手段4が減圧原41を駆動し、繰り出された接着シートASを吸引領域で吸着保持する。吸引領域で接着シートASが吸着保持されると、貼付手段5が直動モータ51を駆動し、吸着板33を被着体WKに向かって下降させ、接着シートASを被着体WKに当接させて貼付する。
【0022】
接着シートASの貼付が完了したら、減圧手段4が減圧原41を停止し、吸着板33による接着シートASの吸着保持を解除してから、貼付手段5が直動モータ51を駆動し、吸着板33を
図3中実線で示す位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【0023】
以上のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、複数の連通路60を設け、複数の連通路60を個別に減圧手段4と断続可能な皿ねじ65を設けたことで、吸引領域を変更するための部品を接着シートASの形状や大きさごとに用意する必要がなく、汎用性を向上させることができる。
また、連通路60を個別に減圧手段4と断続させるだけで吸引領域を変更することができるので、作業者の作業負担を軽減することができる。
【0024】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【0025】
例えば、吸引孔31の数は、前記実施形態で示したものに限らない。吸引孔31を第1Y軸列Y1に2個設け、一方の吸引孔31を開閉するように皿ねじ65を貫通孔63に挿抜することで吸引領域を変更する構成としてもよいし、吸引孔31を第1X軸列X1に2個設け、一方の吸引孔31を減圧手段4と断続できるように皿ねじ65を貫通孔63に挿抜することで吸引領域を変更する構成としてもよい。要するに、接着シートASの位置、形状、大きさにかかわらず当該接着シートASを吸着面32で吸着保持できればよく、吸引孔31がX軸方向およびY軸方向とは異なる2方向に設けられていてもよい。
また、連通路開閉手段としては、皿ねじ65以外に止めねじ、樹脂、ゴム等の弾性部材、キャップ、栓部材等、連通路60を個別に減圧手段4と断続できるものであれば足りる。
さらに、2以上の吸引孔31を1単位とし、当該1単位毎に連通路60を設けてもよい。
【0026】
貼付手段5は、吸着板33で保持した接着シートASを圧縮エアで吹き飛ばして被着体WKに貼付する所謂エアジェットタイプのものとしてもよい。
【0027】
本発明における接着シートASの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、基材シートBSと接着剤層ADとの間に設けられる中間層を有するものや、他の層を有する等3層以上のものでもよい。被着体WKが適宜な物品(例えば、段ボールケースや樹脂容器等)の場合、接着シートASは、装飾用や品質表示用のラベルであってもよい。また、被着体WKが半導体ウェハの場合、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートASは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状のシート等が適用できる。さらに、被着体WKが光ディスクの基板であって、接着シートASが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、被着体WKとしては、ガラス板、鋼板、樹脂板、基板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
【0028】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。