特許6044337インジウムとガリウムおよび酸素、またはインジウムとガリウムと亜鉛および酸素からなる酸化物のエッチング液およびエッチング方法

発明の名称　インジウムとガリウムおよび酸素、またはインジウムとガリウムと亜鉛および酸素からなる酸化物のエッチング液およびエッチング方法

出願人　三菱瓦斯化学株式会社　（識別番号 4466）

　　　　特許公開件数ランキング 438 位（12件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 176 位（23件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6044337

公報発行日　2016年12月14

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6044337

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6044337「インジウムとガリウムおよび酸素、またはインジウムとガリウムと亜鉛および酸素からなる酸化物のエッチング液およびエッチング方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録