技術分野
酸化セリウムを含有する使用済みの研磨材から使用済み酸化セリウムを回収し、これを再生酸化セリウム含有研磨材として再利用するための研磨材分離方法に 関する。
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明は、問題に鑑みてなされたものであり、その解決課題は、酸化セリウムを主成分とする使用済み研磨材から、効率的かつ経済性に優れた方法で酸化セリウムを分離、回収することができる研磨材分離方
法を 提供することである。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明者らは、課題に鑑み鋭意検討を行った結果、酸化セリウムを含有する使用済みの研磨材スラリー、例えば、研磨機から排出される洗浄水を含む研磨材スラリー、あるいは使用済みの研磨材スラリーから、酸化セリウム研磨材を分離する研磨材分離方法であって、該使用済みの研磨材スラリーを、10〜70℃の範囲内で温度制御しながら、2価のアルカリ土類金属塩を添加し、母液の25℃換算のpH値が10.0未満の条件で・・・ 続きを
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【発明の効果】
本発明の手段により、酸化セリウムを主成分とする使用済み研磨材から、効率的かつ経済性に優れた方法で酸化セリウムを分離、回収することができる研磨材分離方
法が 提供できる。
本発明においてのような効果を発揮する理由は、全て明確にはなっていないが、以下の様に推察している。
本発明の作用効果の特徴点は、使用済み研磨材を含むスラリーから、研磨材の主成分である酸化セリウムのみを高濃度で回収する技術であり、単に酸化セリウムを回収するだけではなく、回収の際の酸化セリウムの回収効率を高めると共に、不純物含有率が低く、高純度で酸化セリウムを含有する再生研磨材を得ることにある。
本発明の技術的思想は、酸化セリウムと無機塩として2価のアルカリ土類金属塩、例えば、マグネシウム塩との特異的な相性に起因していると推定している。使用済み研磨材に比重の大きい凝集剤を添加して固体成分として分離し、そののち酸化セリウムを精製して再生することは一般によく行われていることである。その際、固体成分として回収される酸化セリウムあるいは酸化セリウムを含む研磨材スラリーにはガラス研磨により生じる被研磨材であるガラス成分、例えば、二酸化ケイ素粒子も含まれる。このガラス成分を分離するためは、更に、種々の精製工程が必要となってくる。
しかしながら、本発明の研磨材分離方法においては、使用済みの研磨材スラリーを10〜70℃の範囲内で温度制御しながら、pH調整剤等の添加剤を添加しない状態で、2価のアルカリ土類金属塩、例えば、マグネシウム塩を添加し、母液の25℃換算のpH値が、10.0未満である条件下で酸化セリウムのみ選択的に凝集させ、非研磨材であるガラス成分はほとんど凝集させることなく、効率的に両者を分離することができることを見出した。この方法により、酸化セリウムのみを高純度で分離することができ、その後の精製工程が必要なく、それ以降の工程を簡略化できる効果を生んでいる。
本発明においては、回収した研磨材スラリーを、10〜70℃の範囲内で温度制御しながら、pH調整剤を添加しない状態で、2価のアルカリ土類金属塩、例えば、マグネシウム塩を添加し、凝集物を分離するまでの間、2価のアルカリ土類金属塩添加時のpHとして、母液の25℃換算のpH値が、10.0未満である条件で維持することが必要である。ここでいう2価のアルカリ土類金属塩添加時のpHとは、2価のアルカリ土類金属塩の添加が終了した直後のpHのことをいう。
また、回収に使用された2価のアルカリ土類金属塩の一部は、酸化セリウム粒子に吸着し、再生酸化セリウム含有研磨材に残留することとなるが、酸化セリウムとの特異な結合をしているため、その後の研磨材としての使用において酸化セリウムの微粒子化を抑制するという効果も有することが判明した。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】 本発明の研磨材分離方法を適用する研磨材再生工程の基本的な全体フローの一例を示す模式図
【図2】 本発明の研磨材分離方法が適用可能な分離濃縮工程及び研磨材回収工程のフォローの一例を示した概略図
1 研磨装置
2 研磨定盤
3 被研磨物
4 研磨材液
5 スラリーノズル
7 洗浄水
8 洗浄水噴射ノズル
10 研磨材を含む洗浄液
13 研磨材スラリー(母液)
14、21 分離釜
15 攪拌機
16 添加容器
17 上澄み液
18 凝集体
19 排液パイプ
20 ポンプ
F 研磨布
H 保温ジャケット
T 温度検知管
T1 スラリー槽
T2 洗浄水貯蔵槽
T3 洗浄液貯蔵槽
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