発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明者が検討した結果、以下の課題が判明した。可動電極の上面と固定電極の上面が同一面を形成しており、かつ可動電極の下面と固定電極の下面が同一面を形成していた場合、固定電極と可動電極の間に電圧を印加したとき、可動電極がどちらに回転するかが分からない。特許文献１のように固定電極と可動電極を厚さ方向において完全にずらすと、このような問題は生じない。しかし、このような構造にするためには、加工プロセスが複雑になるため、製造コストが増大する。 本発明は事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、製造コストが増大することを抑制でき、かつ固定電極と可動電極の間に電圧を印加したときの可動電極の回転方向を一意に定めることができるねじり振動子及びねじり振動子の制御方法を提供することにある。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、製造コストが増大することを抑制でき、かつ固定電極と可動電極の間に電圧を印加したときの可動電極の回転方向を一意に定めることができる。