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特許6046985マイクロ波プラズマ生成装置
発明の名称 マイクロ波プラズマ生成装置
出願人 株式会社ＩＨＩ （識別番号 99）
特許公開件数ランキング 337 位（23件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 142 位（52件）（共同出願を含む）
出願人 学校法人東海大学 （識別番号 125369）
特許公開件数ランキング 4146 位（4件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 3333 位（5件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6046985
公報発行日 2016年12月21
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6046985
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