特許6047630IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

回路付サスペンション基板およびその製造方法、詳しくは、ハードディスクドライブに搭載される回路付サスペンション基板およびその製造方法

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかし、特許文献1で提案されるサスペンション基板においても、の要求を十分に満足させることができない場合がある。 本発明の目的は、高湿雰囲気下におけるジンバル部の変形を防止することができ、それによって、ハードディスクに対するスライダの姿勢角を安定して維持することのできる回路付サスペンション基板およびその製造方法を提供することにある。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

目的を達成するために、回路付サスペンション基板は、金属支持層と、前記金属支持層の上に形成される絶縁層と、前記絶縁層の上に形成される導体層とを備える回路付サスペンション基板であって、前記回路付サスペンション基板には、ジンバル部が設けられ、前記ジンバル部には、前記金属支持層を上下方向に貫通する開口部が形成され、前記ジンバル部は、前記開口部の内側に形成され、前記導体層と電気的に接続される磁気ヘ・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
【発明の効果】
本発明の回路付サスペンション基板の製造方法およびそれにより得られる回路付サスペンション基板では、通過部の絶縁層の下側半分部分の厚みと、通過部の絶縁層の上側半分部分の厚みとが、同一であるので、高湿雰囲気下において、通過部の絶縁層の下側半分部分と上側半分部分とが吸湿して膨張しても、それらは同じ割合で膨張する。そのため、通過部の吸湿による変形を有効に防止することができる。 その結果、回路付サスペンション基板に搭載されるスライダのハードディスクに対する姿勢角を安定して維持することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】図1は、本発明の回路付サスペンション基板の一実施形態のジンバル部の平面図を示す。

【図2】図2は、図1に示すジンバル部の底面図を示す。

【図3】図3は、図1および図2のA−A線に沿う断面図を示す。

【図4】図4は、図3に示すジンバル部の通過部の拡大断面図を示す。

【図5】図5は、図1に示す回路付サスペンション基板の製造方法を説明するための工程図で、図3の断面図に対応する工程図であって、(a)は、金属支持層を用意する工程、(b)は、ベース絶縁層を形成する工程、(c)は、スリットを形成する工程(d)は、導体層を形成する工程、(e)は、第1カバー絶縁層および第2カバー絶縁層を形成する工程を示す。

【図6】図6は、図5(a)の金属支持層を用意する工程を説明する平面図を示す。

【図7】図7は、図5(b)のベース絶縁層を形成する工程を説明する図面であって、(a)は、平面図(b)は、底面図を示す。

【図8】図8は、図5(c)のスリットを形成する工程を説明する図面であって、(a)は、平面図(b)は、底面図を示す。

【図9】図9は、図5(d)の第1導体層および第2導体層を形成する工程を説明する図面であって、(a)は、平面図(b)は、底面図を示す。

【図10】図10は、本発明の回路付サスペンション基板の他の実施形態の通過部(第1配線および第2配線が厚み方向に投影した時にずれて配置される態様)の拡大断面図を示す。

【図11】図11は、本発明の回路付サスペンション基板の他の実施形態のジンバル部(ヘッド側端子が4つ設けられる態様)の平面図を示す。

【図12】図12は、本発明の回路付サスペンション基板の他の実施形態のジンバル部(ベース絶縁層、第2配線および第2カバー絶縁層からなる態様)の平面図を示す。

【図13】図13は、図12に示すジンバル部の通過部の拡大断面図を示す。

【図14】図14は、実施例1の回路付サスペンション基板の平面図であって、金属支持層およびベース絶縁層の寸法を示す。

【図15】図15は、比較例1の回路付サスペンション基板の通過部の拡大断面図を示す。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

1 回路付サスペンション基板   2 金属支持層   3 導体層   5 ジンバル部   7 第1開口部   11 タング部   12 アウトリガー部   13 絶縁層   14 ベース絶縁層   15 第1カバー絶縁層   16 第2カバー絶縁層   25 通過部   26 下側半分部分(絶縁層)   27 上側半分部分(絶縁層)   28 第1導体層   29 第2導体層  

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