【図1A】発明の一製造方法で微細凹凸を有するＤＦＳＲを形成する過程を概略的に示す工程フローチャートである。

【図1B】発明の一製造方法で微細凹凸を有するＤＦＳＲを形成する過程を概略的に示す工程フローチャートである。

【図1C】発明の一製造方法で微細凹凸を有するＤＦＳＲを形成する過程を概略的に示す工程フローチャートである。

【図1D】発明の一製造方法で微細凹凸を有するＤＦＳＲを形成する過程を概略的に示す工程フローチャートである。

【図1E】発明の一製造方法で微細凹凸を有するＤＦＳＲを形成する過程を概略的に示す工程フローチャートである。

【図2】実施例１で形成されたＤＦＳＲの表面状態に対するＦＥ−ＳＥＭ写真である。

【図3】実施例２で形成されたＤＦＳＲの表面状態に対するＦＥ−ＳＥＭ写真である。

【図4A】比較例１で形成されたＤＦＳＲの表面粗さを算出するために、ＯＰ（Ｏｐｔｉｃａｌ ｐｒｏｆｉｌｅｒ）で測定された２Ｄイメージである。

【図4B】比較例１で形成されたＤＦＳＲの表面粗さを算出するために、ＯＰ（Ｏｐｔｉｃａｌ ｐｒｏｆｉｌｅｒ）で測定された３Ｄイメージである。

【図5A】実施例１で形成されたＤＦＳＲの表面粗さを算出するために、ＯＰ（Ｏｐｔｉｃａｌ ｐｒｏｆｉｌｅｒ）で測定された２Ｄイメージである。

【図5B】実施例１で形成されたＤＦＳＲの表面粗さを算出するために、ＯＰ（Ｏｐｔｉｃａｌ ｐｒｏｆｉｌｅｒ）で測定された３Ｄイメージである。