技術分野
液晶装置、及び電子機器
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
しかしながら、BPSG膜は、絶縁膜の中でも吸湿性の高い材料であり、製造過程で吸
湿したり使用時に露出した端部から吸湿したりすることから、絶縁膜に吸湿された水分が
ITO膜を介して液晶層に侵入し、表示特性に影響を及ぼすという課題がある。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の態様は、課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以
下の形態又は適用例として実現することが可能である。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】液晶装置の構成を示す模式平面図。
【図2】図1に示す液晶装置のH−H’線に沿う模式断面図。
【図3】液晶装置の電気的な構成を示す等価回路図。
【図4】液晶装置の構造を示す模式断面図。
【図5】(a)は第1実施形態の液晶装置のうち主に素子基板の構成を示す模式平面図、(b)は(a)に示す液晶装置のA−A’線に沿う模式断面図。
【図6】(a)は液晶装置のうち主に外部接続用端子の構成を画素の構成と比較して示す模式平面図、(b)は(a)に示す外部接続用端子及び画素を断面方向から見た模式断面図。
【図7】液晶装置を備えた電子機器の構成を示す模式図。
【図8】(a)は第2実施形態の液晶装置のうち主に素子基板の構成を示す模式平面図、(b)は(a)に示す液晶装置のA−A’線に沿う模式断面図。
3a…走査線、3b…容量線、3c…下側遮光膜、6a…データ線、6b…中継電極、
7a…遮光層、7b…中継電極、7s…配線、10,110…第1基板としての素子基板
、10a…第1基材、11a…下地絶縁層、11b…第1層間絶縁層、11c…第2層間
絶縁層、11d…第3層間絶縁層、11g…ゲート絶縁膜、14…シール材、15…液晶
層、16…容量素子、16a…第1容量電極、16b…第2容量電極、16c…誘電体膜
、18…遮光膜、20…第2基板としての対向基板、20a…第2基材、22…データ線
駆動回路、24…走査線駆動回路、25…検査回路、26…上下導通部、27…画素電極
、28,32…配向膜、29…配線、30…TFT、30a…半導体層、30c…チャネ
ル領域、30d…画素電極側ソースドレイン領域、30d1…画素電極側LDD領域、3
0g…ゲート電極、30s…データ線側ソースドレイン領域、30s1…データ線側LD
D領域、31…対向電極、33…平坦化層、41,141…第1絶縁膜としてのBPSG
膜、41a,141a…端部、42…キャップ層、44…第2絶縁膜としての増反射膜、
44a…第1透光膜、44b…第2透光膜、45…パッシベーション膜、CNT51,5
2,53,54,55,61a…コンタクトホール、61…外部接続用端子、100,2
00…液晶装置、1000…投射型表示装置、1100…偏光照明装置、1101…ラン
プユニット、1102…インテグレーターレンズ、1103…偏光変換素子、1111,
1112,1115…ダイクロイックミラー、1113,1114…反射ミラー、120
6…クロスダイクロイックプリズム、1207…投射レンズ、1250,1260,12
70…液晶ライトバルブ、1251,1261,1271…液晶パネル、1253,12
63,1273…ワイヤーグリッド偏光板、1254,1255…補助偏光板、1300
…スクリーン、1500…液晶プロジェクター。
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