特許 6048259 Ｘ線検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6048259

(24)【登録日】2016年12月2日

(45)【発行日】2016年12月21日

(54)【発明の名称】Ｘ線検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/04 20060101AFI20161212BHJP

【ＦＩ】

   G01N23/04

【請求項の数】5

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2013-62363(P2013-62363)

(22)【出願日】2013年3月25日

(65)【公開番号】特開2014-185987(P2014-185987A)

(43)【公開日】2014年10月2日

【審査請求日】2016年1月21日

(73)【特許権者】

【識別番号】000241588

【氏名又は名称】豊和工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100078721

【弁理士】

【氏名又は名称】石田 喜樹

(72)【発明者】

【氏名】加藤 伸司

(72)【発明者】

【氏名】白石 由史

(72)【発明者】

【氏名】山田 聡

【審査官】 深田 高義

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１２−２３７７０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１２／１５７４６６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００２−３５７５６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−３３５０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−８３１０３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ ２３／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

外部へのＸ線の漏洩を防ぐ漏洩防止材が内面に設けられた本体に、被検査物の検査時に前記被検査物を所望の位置に移動させて位置決めする位置決め機構と、前記位置決め機構によって位置決めされた前記被検査物にＸ線を照射可能な照射部と、前記被検査物を透過したＸ線を検出する検出部と、を収容して、前記検出部による前記Ｘ線の検出量に基づいて前記被検査物を検査するＸ線検査装置であって、
前記位置決め機構を挟んで前記照射部と前記検出部とを対向配置し、前記位置決め機構は、前記被検査物を移動させない状態で前記照射部から前記Ｘ線が照射される際には、前記対向方向における前記照射部と前記検出部との間で前記照射部と対向する位置に移動して、該照射部から照射されるＸ線を遮ることを特徴とするＸ線検査装置。

【請求項2】

前記位置決め機構は、前記被検査物を所定方向に搬送可能で、前記被検査物を搬送しない状態において前記照射部と対向する位置に移動して前記Ｘ線を遮る搬送機構を備え、
前記搬送機構は、前記所定方向との直交方向に対向し平行に並設されて、互いに同期しつつそれぞれの外周面に前記被検査物を載置し、前記所定方向に周回して前記被検査物を搬送する一対の搬送ベルトと、前記周回を停止させた前記一対の搬送ベルトの外周面に、前記被検査物を保持する保持部と、を備え、
前記搬送機構は、前記被検査物を検査する際に、前記保持部によって、前記周回を停止させた前記一対の搬送ベルトの外周面に、前記被検査物を保持した状態で前記所望の位置に前記被検査物を位置決め可能としたことを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。

【請求項3】

前記搬送機構は、
一対の前記搬送ベルトを前記所定方向に周回可能に支持し、前記直交方向へ移動して前記照射部と対向する位置に接離可能であって、前記被検査物のサイズに応じて前記一方の搬送ベルトを他方の前記搬送ベルトに接離させる第一のベルト支持部材と、
前記他方の搬送ベルトを前記所定方向に周回可能に支持する第二のベルト支持部材と、を備え、
前記第一のベルト支持部材及び前記第二のベルト支持部材に、前記保持部をそれぞれ設けたことを特徴とする請求項２に記載のＸ線検査装置。

【請求項4】

前記保持部を、前記被検査物を各前記外周面に向けて押圧するばね部材で構成したことを特徴とする請求項３に記載のＸ線検査装置。

【請求項5】

前記第一のベルト支持部材及び前記第二のベルト支持部材のそれぞれに、各前記搬送ベルトの内周面側に配置されて、前記保持部を構成する前記ばね部材から各前記搬送ベルトの外周面に加えられる押圧力を受ける受圧部を設けたことを特徴とする請求項４に記載のＸ線検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、外部へのＸ線の漏洩を防ぐ漏洩防止材が内面に設けられた本体に、被検査物の検査時に前記被検査物を所望の位置に移動させて位置決めする位置決め機構と、前記位置決め機構によって位置決めされた前記被検査物にＸ線を照射可能な照射部と、前記被検査物を透過したＸ線を検出する検出部と、を収容して、前記検出部による前記Ｘ線の検出量に基づいて前記被検査物を検査するＸ線検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば特許文献１には、基板に対する電子部品の実装状態をＸ線を用いて検査するＸ線検査装置が開示されている。特許文献１のＸ線検査装置では、基板を載置する載置台を挟んで、Ｘ線を前記基板に照射する照射部と、該基板を透過したＸ線が検出される検出部とが対向配置されており、照射部から放射されたＸ線の光軸と、載置台の載置面と直交する軸との交点を含む面の断層画像を取得することで、基板の外側からでは観察することが難しい不良原因である前記基板に対するはんだの過小や過大を検出している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００８−２５６４４１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで上記のＸ線検査装置では、基板に代表される被検査物の検査前のウォームアップにおいては、照射部から照射するＸ線の出力を最大にすることがある。一方、被検査物の検査時においては、Ｘ線の照射出力を最大にしないことから、ウォームアップの際と検査時との双方において、照射部を収容した本体の外部にＸ線が漏洩することを防ぐためには、本体に設けるＸ線の漏洩防止材の厚み寸法を、ウォームアップの際のＸ線の照射出力に合わせて決める必要があった。これに伴って、本体の重量が増加する上にＸ線検査装置の製造コストも増加するという不都合があった。

【0005】

この発明は、このような状況に鑑み提案されたものであって、製造コストの増加を抑制可能なＸ線検査装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

請求項１の発明に係るＸ線検査装置は、外部へのＸ線の漏洩を防ぐ漏洩防止材が内面に設けられた本体に、被検査物の検査時に前記被検査物を所望の位置に移動させて位置決めする位置決め機構と、前記位置決め機構によって位置決めされた前記被検査物にＸ線を照射可能な照射部と、前記被検査物を透過したＸ線を検出する検出部と、を収容して、前記検出部による前記Ｘ線の検出量に基づいて前記被検査物を検査するＸ線検査装置であって、前記位置決め機構を挟んで前記照射部と前記検出部とを対向配置し、前記位置決め機構は、前記被検査物を移動させない状態で前記照射部から前記Ｘ線が照射される際には、前記対向方向における前記照射部と前記検出部との間で前記照射部と対向する位置に移動して、該照射部から照射されるＸ線を遮ることを特徴とする。

【0007】

請求項２の発明は、請求項１において、前記位置決め機構は、前記被検査物を所定方向に搬送可能で、前記被検査物を搬送しない状態において前記照射部と対向する位置に移動して前記Ｘ線を遮る搬送機構を備え、前記搬送機構は、前記所定方向との直交方向に対向し平行に並設されて、互いに同期しつつそれぞれの外周面に前記被検査物を載置し、前記所定方向に周回して前記被検査物を搬送する一対の搬送ベルトと、前記周回を停止させた前記一対の搬送ベルトの外周面に、前記被検査物を保持する保持部と、を備え、前記搬送機構は、前記被検査物を検査する際に、前記保持部によって、前記周回を停止させた前記一対の搬送ベルトの外周面に、前記被検査物を保持した状態で前記所望の位置に前記被検査物を位置決め可能としたことを特徴とする。

【0008】

請求項３の発明は、請求項２において、前記搬送機構は、一対の前記搬送ベルトを前記所定方向に周回可能に支持し、前記直交方向へ移動して前記照射部と対向する位置に接離可能であって、前記被検査物のサイズに応じて前記一方の搬送ベルトを他方の前記搬送ベルトに接離させる第一のベルト支持部材と、前記他方の搬送ベルトを前記所定方向に周回可能に支持する第二のベルト支持部材と、を備え、前記第一のベルト支持部材及び前記第二のベルト支持部材に、前記保持部をそれぞれ設けたことを特徴とする。

【0009】

請求項４の発明は、請求項３において、前記保持部を、前記被検査物を各前記外周面に向けて押圧するばね部材で構成したことを特徴とする。

【0010】

請求項５の発明は、請求項４において、前記第一のベルト支持部材及び前記第二のベルト支持部材のそれぞれに、各前記搬送ベルトの内周面側に配置されて、前記保持部を構成する前記ばね部材から各前記搬送ベルトの外周面に加えられる押圧力を受ける受圧部を設けたことを特徴とする。

【発明の効果】

【0011】

請求項１の発明に係るＸ線検査装置によれば、例えば、Ｘ線検査装置のウォームアップの際に、Ｘ線の照射出力を最大にした場合でも、照射部に対向させた位置決め機構で、照射出力を最大にしたＸ線を遮ることができる。よって、本体の漏洩防止材の厚み寸法は、ウォームアップの際よりもＸ線の照射出力が小さい被検査物の検査時におけるＸ線の照射出力に合わせて決められる。これに伴って、Ｘ線検査装置の製造コストが増加することを抑制できる。
請求項２の発明によれば、例えば、Ｘ線検査装置のウォームアップの際に、Ｘ線の照射出力を最大にした場合でも、照射部に対向させた搬送機構で、照射出力を最大にしたＸ線を遮ることができる。加えて、搬送機構に備えられて、所定方向に周回する一対の搬送ベルトによって、被検査物を該所定方向に搬送できるため、被検査物を前記所定方向へ搬送するために、前記一対の搬送ベルトとは異なる大型の搬送装置を備える必要がない。これにより、被検査物を所定方向に搬送する装置を小型化することが可能になる。さらには、保持部によって、周回を停止させた前記一対の搬送ベルトの外周面に、被検査物を保持した状態で前記所望の位置に前記被検査物を位置決め可能としたため、被検査物を検査する際に、保持部によって被検査物が前記所望の位置から位置ずれすることを防止できる。
請求項３の発明によれば、被検査物の検査時には第一のベルト支持部材に、両搬送ベルトの外周面に被検査物を載置させるために両搬送ベルト同士の間隔を調整する働きをさせ、Ｘ線検査装置のウォームアップの際には第一のベルト支持部材に、照射部に対向させてＸ線を遮る働きをさせることが可能になる。加えて、保持部によって、周回を停止させた両搬送ベルトの外周面に被検査物を保持することで、該被検査物が、前記外周面上で位置ずれすることを防止できる。
請求項４の発明によれば、保持部は、ばねの付勢力によって、被検査物を一方の搬送ベルトの外周面や他方の搬送ベルトの外周面に安定して押圧できる。
請求項５の発明によれば、受圧部が、一方及び他方の搬送ベルトの外周面に加えられる押圧力を受け止めることで、一方及び他方の搬送ベルトが撓むことを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の実施形態のＸ線検査装置の内部の主要な構成を示す概略正面図である。

【図2】同Ｘ線検査装置の内部の主要な構成を示す概略側面図である。

【図3】同Ｘ線検査装置の内部の主要な構成を示す概略平面図である。

【図4】図３のＡ−Ａ線要部断面図である。

【図5】従動スライド部材でＸ線照射部から照射されるＸ線を遮る状態を説明する図である。

【図6】図５のＢ−Ｂ線要部断面図である。

【図7】図５のＣ部の拡大図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

本発明の実施形態を図１ないし図７を参照しつつ説明する。図１ないし図３に示すようにＸ線検査装置１はシールドボックス２を備えており、このシールドボックス２に、被検査物６の搬送機構３及びクランプ板１４，１７を備えた平面移動機構１０１と、平面移動機構１０１を上下動させる昇降部材１２と、を備えた位置決め機構１０３と、Ｘ線照射部４と、Ｘ線検出部５とが収容されている。シールドボックス２の内面全面にはＸ線を遮蔽する鉛板が貼り付けられているため、Ｘ線がシールドボックス２の外部に漏洩することが防止されている。本実施形態では鉛板の厚み寸法は、被検査物６（図１ないし図３参照。）の検査時のＸ線の照射出力によって決められている。この照射出力は、Ｘ線照射部４の最大照射出力よりも抑えられている。また、シールドボックス２の正面視右側面には、被検査物６（図１及び図３参照。）をシールドボックス２の内部に搬入するための搬入口（図示せず。）が形成されていると共に、シールドボックス２の正面視左側面には、前記被検査物６をシールドボックス２の外部に搬出するための搬出口（図示せず。）が形成されている。さらに図１に示すように、シールドボックス２の外部には、搬入口側ベルトコンベア７が、前記搬入口を挟んで後述する図２中の第１無端状ベルト２１及び第２無端状ベルト２６と同一平面上に配置されており、前記外部には、搬出口側ベルトコンベア８が、前記搬出口を挟んで前記第１無端状ベルト２１及び第２無端状ベルト２６と同一平面上に配置されている。この搬入口側ベルトコンベア７は、Ｘ線検査装置１の正面視左右方向に当たるＸ方向で前記搬入口側へ進行することで被検査物６を該搬入口へ搬送する。一方、搬出口側ベルトコンベア８は、Ｘ方向で前記搬出口側とは反対側へ進行することで、前記第１無端状ベルト２１及び第２無端状ベルト２６によって該搬出口からシールドボックス２の外部に送り出された被検査物６を次工程へ搬送する。図１及び図２に示すように、シールドボックス２の上面に、Ｘ線検査装置１の操作者が操作可能な各種のタッチパネルを備えた操作部２Ａが設けられている。なお、シールドボックス２は本発明の本体の一例であり、鉛板は本発明の漏洩防止材の一例である。

【0014】

図２及び図４に示すように位置決め機構１０３は、シールドボックス２に対する被検査物６の搬出入や、被検査物６を所望の被検査位置に位置決めするものであって、平面移動機構１０１は、被検査物６をＸ−Ｙ方向（左右前後方向）へ移動させるもので、昇降部材１２は、被検査物６をＺ方向（上下方向）へ移動させるものである。平面移動機構１０１が備える搬送機構３は、被検査物６をＹ方向へ移動させる主動スライド部材９と、従動スライド部材１０とを備えている。この主動スライド部材９と従動スライド部材１０とは、Ｘ線検査装置１の側面視左右方向に当たるＹ方向（図２及び図３参照。）で対向して配置されている。主動スライド部材９は、Ｘ方向に延びる形状を有するベースプレート１１を備えている。このベースプレート１１のＸ方向における両端部の下面には、Ｙ方向に延びるスライド溝４０（図６参照。）が形成されたベース部材４１，４１（図２及び図４参照。）が突設されている。一方、従動スライド部材１０は、主動スライド部材９と同様にＸ方向に延びる形状を有する鉄製のベースプレート１５を備えている。このベースプレート１５のＸ方向における両端部の下面にも、ベース部材４７，４７が突設されている。各ベース部材４７には、ガイドレール１３に摺動自在に嵌るスライド溝４０（図６参照。）が形成されている。そして、前記ベースプレート１５は、各ベース部材４７の外側へ突出するように各ベース部材４７の上面に対して固定されている。

【0015】

図２及び図４に示すように主動スライド部材９のベースプレート１１には、ベースプレート１１に対してＸ方向へ移動可能な第１クランプ板取付部材４５が係合し、後述するクランプ板１４が、第１クランプ板取付部材４５に固定されて従動スライド部材１０側（Ｙ方向）へ突設されている。一方、従動スライド部材１０のベースプレート１５にも、ベースプレート１５に対してＸ方向へ移動可能に係合する第２クランプ板取付部材４８が係合し、後述するクランプ板１７が、第２クランプ板取付部材４８に固定されて主動スライド部材９側（Ｙ方向）へ突設されている。この第２クランプ板取付部材４８は、Ｙ方向で第１クランプ板取付部材４５と対向するように配置されている。第１クランプ板取付部材４５及び第２クランプ板取付部材４８は、平面移動機構１０１のＸ方向への移動を可能にしている。

【0016】

図２及び図６に示すようにシールドボックス２の内部には、Ｙ方向に延びる形状を有する昇降部材１２が、各ベース部材４１の下方位置で上下方向（Ｚ方向）へ移動可能にそれぞれ設けられて、平面移動機構１０１を上下方向へ移動させるように構成している。各昇降部材１２に、Ｙ方向に延びてベース部材４１のスライド溝４０がスライド可能に嵌るガイドレール１３（図２，図４ないし図６参照。）が設けられて、平面移動機構１０１のＹ方向への移動を可能にしている。

【0017】

また第１クランプ板取付部材４５は、従動スライド部材１０側へ突出する第１ベルト駆動軸を備えており、この第１ベルト駆動軸の回転力が伝達される第１プーリを備えている。そして、この第１ベルト駆動軸には第１のモータが連結されている。これに加えて第１クランプ板取付部材４５には、複数のプーリが回転可能に支持されている。さらに所定幅の第１無端状ベルト２１（図２及び図４参照。）が、Ｘ方向へ延びるように前記第１プーリと前記複数のプーリとに張架されている。前記第１のモータの駆動によって前記第１ベルト駆動軸が回転すると、第１無端状ベルト２１はＸ方向に周回するようになっている。一方、第２クランプ板取付部材４８も、図６に示すように後述のブラケット部材７２（図６及び図７参照。）を貫通して主動スライド部材９側へ突出する第２ベルト駆動軸２３を備えており、この第２ベルト駆動軸２３の回転力が伝達される第３プーリ２４を備えている。第２ベルト駆動軸２３には第２のモータが連結されている。これに加えてブラケット部材７２には、複数のプーリが回転可能に支持されている。さらに所定幅の第２無端状ベルト２６（図２，図４及び図６参照。）が、Ｘ方向へ延びるように第３プーリ２４と該複数のプーリとに張架されている。前記第２のモータの駆動によって第２ベルト駆動軸２３が回転すると、第２無端状ベルト２６はＸ方向に周回するようになっている。本実施形態では、第１のモータと第２のモータとを同期運転させることで、両無端状ベルト２１，２６が互いに同期してＸ方向に周回する。図２及び図４に示すように、第１無端状ベルト２１と第２無端状ベルト２６とは、Ｙ方向で対向して平行に並設されている。両無端状ベルト２１，２６の外周面上には、シールドボックス２の搬入口からシールドボックス２内に搬入された被検査物６が載せられて、両無端状ベルト２１，２６がＸ方向でシールドボックス２の搬出口側に進行することで被検査物６がシールドボックス２内を搬送される。以上のように搬送機構３が構成されている。なお、Ｘ方向は本発明の所定方向の一例であり、両無端状ベルト２１，２６は本発明の一対の搬送ベルトの一例である。

【0018】

図２及び図４に示すようにクランプ板１７は、Ｙ方向でクランプ板１４と対向するように配置されている。図７に示すようにクランプ板１７は、前部を下向きにした板ばねで構成されている。本実施形態では図６に示すように、クランプ板１７を、Ｘ方向に所定間隔をおいて複数（ここでは９個）配列した。そして各クランプ板１７の後部は、アーム部材７０を介して上下動する流体圧シリンダ７１のロッド７２と接続されている。クランプ板１４についても、クランプ板１７と同様に構成されて、該クランプ板１４の後部も、クランプ板１７の後部と同様に、前記ロッド７２と接続されている。さらに図７に示すように、第２クランプ板取付部材４８における第１クランプ板取付部材４５との対向面に、Ｘ方向に延びる平板状のブラケット部材７２を取り付けて、このブラケット部材７２に、Ｘ方向に延びて後部が前部に対して下向き略直角に延びるように折り曲げた受圧部材７４が固定されている。この受圧部材７４の前部は、図７に示すように第２無端状ベルト２６の内周面側に位置する。第１クランプ板取付部材４５についても、第２クランプ板取付部材４８の場合と同様にして、受圧部材が固定されて、この受圧部材の前部は、第１無端状ベルト２１の内周面側に位置する。搬送機構３によってシールドボックス２の搬入口からシールドボックス２内に搬入された被検査物６については、各ロッド７２を下方向に収縮動作させると、クランプ板１４の下向き前部及びクランプ板１７の下向き前部が、周回を停止させた両無端状ベルト２１，２６の外周面上に載せた被検査物６の上面に当接する。このとき各クランプ板１４，１７は、板ばねの付勢力によって、被検査物６の上方から該被検査物６を両無端状ベルト２１，２６の外周面上に向けて安定して押圧する。これにより、被検査物６を両無端状ベルト２１，２６の外周面上に保持できる。このため、被検査位置へ移動させた被検査物６に、Ｘ線照射部４からＸ線が照射されるときに、該被検査物６が前記外周面上で位置ずれすることを防止できる。なお図７では、第２無端状ベルト２６の外周面上に保持される被検査物６の図示を省略している。さらに図７に示す受圧部材７４が、被検査物６を介してクランプ板１７から第２無端状ベルト２６の外周面に加えられる押圧力を受ける止めることで、第２無端状ベルト２６が上下方向に撓むことを防止できる。第１無端状ベルト２１の内周面側に位置する受圧部材についても、受圧部材７４と同様に、クランプ板１４から被検査物６を介して第１無端状ベルト２１の外周面に加えられる押圧力を受け止めることで、第１無端状ベルト２１が上下方向に撓むことを防止できる。被検査物６を被検査位置へ移動させる際には、被検査物６を両クランプ板１４，１７で両無端状ベルト２１，２６の外周面上に保持した状態で、第１及び第２クランプ板取付部材４５，４８（搬送機構３）を、Ｘ方向でシールドボックス２の搬出口側に同期移動させる。また、被検査物６が前記搬出口へ搬送された後には、各ロッド７２を上方向に伸長動作させることで、各クランプ板１４，１７の下向き前部を被検査物６から離間させる。なお、クランプ板１４，１７は本発明の保持部の一例であり、クランプ板１４，１７を構成する板ばねは、本発明の保持部を構成するばね部材の一例である。また、受圧部材７４は本発明の受圧部の一例であり、第１無端状ベルト２１の内周面側に位置する受圧部材は本発明の受圧部の一例である。

【0019】

また図２及び図４に示すように、主動スライド部材９における各ベース部材４１には、第３のモータに連結された駆動軸３２が、従動スライド部材１０側へ延びて回転可能に保持されている。そして、従動スライド部材１０における各ベース部材４７には、駆動軸３２に螺合するナット部材３３が固定されている。第３のモータの駆動によって駆動軸３２が回転すると、ナット部材３３が駆動軸３２の軸方向（Ｙ方向）に移動する。これにより、図４及び図５に示すように、従動スライド部材１０を主動スライド部材９に対してＹ方向に移動させることができるため、従動スライド部材１０の移動に合わせて、Ｙ方向で第２無端状ベルト２６を第１無端状ベルト２１に接離させることが可能になる。このようにすると、両無端状ベルト２１，２６の外周面上に被検査物６を載せるために、被検査物６のサイズに応じてＹ方向における両無端状ベルト２１，２６同士の間隔を調整できる。主動スライド部材９における各ベース部材４１には、ナット部材（図示せず。）が固定されて、このナット部材に、第４のモータに連結されてＹ方向に延びる駆動軸３４（図４参照。）を螺合させている。この第４のモータの駆動によって駆動軸３４を回転させると、当該ナット部材が駆動軸３４の軸方向（Ｙ方向）に移動することに伴って、主動スライド部材９及び従動スライド部材１０、すなわち平面移動機構１０１をＹ方向に移動させることができる。このとき、Ｙ方向における両無端状ベルト２１，２６同士の間隔は前記調整された間隔に保持された状態である。なお、主動スライド部材９は本発明の第二のベルト支持部材の一例であり、従動スライド部材１０は本発明の第一のベルト支持部材の一例であり、Ｙ方向は本発明の所定方向との直交方向の一例である。また、第２無端状ベルト２６は本発明の一方の搬送ベルトの一例であり、第１無端状ベルト２１は本発明の他方の搬送ベルトの一例である。

【0020】

図２に示すように、シールドボックス２の内部で搬送機構３の下方に、Ｘ線照射部４が設けられている。Ｘ線照射部４の筐体の内部に、Ｘ線を発生させるＸ線管３５を備えている。筐体の上面にはＸ線を透過させるＸ線照射窓３６（図３参照。）が開口している。このＸ線照射部４は、Ｘ線照射窓３６を通じてＸ線管３５から上方に向けてＸ線を照射する。図２及び図４に示すようにＸ線は、Ｘ線管３５から上方へ略逆円錘状に広がる。

【0021】

図２に示すように、シールドボックス２の内部で搬送機構３の上方に、Ｘ線検出部５が設けられている。Ｘ線検出部５は、搬送機構３を挟んでＸ線照射部４と対向して配置されている。このＸ線検出部５は、Ｘ線照射部４から照射されたＸ線を受けるようにされている。本実施形態では、図２及び図３に示すように被検査物６を、シールドボックス２内で両無端状ベルト２１，２６に載せて被検査位置へ搬送した後に、両クランプ板１４，１７で被検査物６の上面を押圧して、検査物６を両無端状ベルト２１，２６の外周面上に保持する。そして、Ｘ線照射部４から照射されたＸ線が被検査物６を透過してＸ線検出部５で検出される。一例として被検査物６が電子部品をはんだで接合した基板の場合には、Ｘ線検出部５で検出されたＸ線に応じた画像に基づいて、基板に対する電子部品の接合状態の良否が検査される。なお、Ｘ線照射部４は本発明の照射部の一例であり、Ｘ線検出部５は本発明の検出部の一例である

【0022】

さらに本実施形態ではＸ線照射部４が、該Ｘ線照射部４の下面に結合された駆動軸の軸心を中心として図１中の矢印で示すように円形に移動可能とされている。加えてＸ線検出部５は、該Ｘ線検出部５の上面に結合された駆動軸の軸心を中心として図１中の矢印で示すように円形に移動可能とされている。ここでは、Ｘ線照射部４の円形移動とＸ線検出部５の円形移動とを同期させている。このようにすることで、Ｘ線検出部５で検出されたＸ線から被検査物６の二次元的な画像を取得できる。したがって、被検査物６が電子部品をはんだで接合した基板の場合には、この画像に基づいて基板に対する電子部品の接合状態をより詳しく検査できる。

【0023】

次に本実施形態のＸ線検査装置１のウォームアップの際に、搬送機構３によってＸ線を遮る動作を説明する。この動作は、前記ウォームアップの際に、Ｘ線照射部４から照射されるＸ線の出力を最大にすることがあるため、照射出力を最大にしたＸ線が、シールドボックス２の外部に漏洩することを防止するために行われる。ウォームアップの際には、被検査物６をシールドボックス２内で搬送する必要がないことから、最初に被検査物６が両無端状ベルト２１，２６の外周面上に載せられていないことを確認した後に、操作者が操作部２Ａを操作して、図４に示す駆動軸３２と連結された第３のモータを回転駆動させる。すると、上述したように、従動スライド部材１０はＹ方向に移動する。ここでは、従動スライド部材１０をＹ方向で主動スライド部材９側へ移動させることで、図５，６に示すように、従動スライド部材１０のベースプレート１５を、該主動スライド部材９側に位置するＸ線照射部４の上方で該Ｘ線照射部４と対向する位置Ｐに配置させる。このようにすることで、照射出力を最大にしたＸ線は、ベースプレート１５で遮られて直接シールドボックス２の内面に到達することがないため、このＸ線がシールドボックス２の外部に漏洩することを防止できる。

【0024】

＜本実施形態の効果＞
本実施形態のＸ線検査装置１では、ウォームアップの際に、Ｘ線の照射出力を最大にした場合でも、Ｘ線照射部４に対向させた搬送機構３（従動スライド部材１０のベースプレート１５）で、照射出力を最大にしたＸ線を遮ることができる。よって、シールドボックス２の内面全面に貼り付けた鉛板の厚み寸法は、ウォームアップの際よりもＸ線の照射出力が小さい被検査物６の検査時におけるＸ線の照射出力に合わせて決められる。これに伴って、Ｘ線検査装置１の製造コストが増加することを抑制できる。

【0025】

また、両無端状ベルト２１，２６によって、被検査物６をＸ方向へ搬送できるため、被検査物６をＸ方向へ搬送するために、両無端状ベルト２１，２６とは異なる大型の搬送装置を備える必要がない。これにより、被検査物６をＸ方向に搬送する装置を小型化することが可能になる。さらには、両クランプ板１４，１７によって、周回を停止させた両無端状ベルト２１，２６の外周面上に、被検査物６を保持した状態で被検査位置に被検査物６を位置決めすると、被検査物６を検査する際に、両クランプ板１４，１７によって被検査物６が前記被検査位置から位置ずれすることを防止できる。

【0026】

また、被検査物６の検査時には従動スライド部材１０に、両無端状ベルト２１，２６の外周面上に被検査物６を載せるために両無端状ベルト２１，２６同士の間隔を調整する働きをさせ、Ｘ線検査装置１のウォームアップの際には従動スライド部材１０に、Ｘ線照射部４に対向させてＸ線を遮る働きをさせることが可能になる。

【0027】

さらに、クランプ板１４によって、周回を停止させた第１無端状ベルト２１の外周面上に被検査物６を保持すると共に、クランプ板１７によって、周回を停止させた第２無端状ベルト２６の外周面上に被検査物６を保持することで、該被検査物６が、両無端状ベルト２１，２６の外周面上で位置ずれすることを防止できる。

【0028】

加えて、両クランプ板１４，１７は、板ばねの付勢力によって、被検査物６を両無端状ベルト２１，２６の外周面上に安定して押圧できる。

【0029】

さらに加えて、第１無端状ベルト２１の内周面側に位置する受圧部材が、クランプ板１４から被検査物６を介して第１無端状ベルト２１の外周面に加えられる押圧力を受け止めることで、第１無端状ベルト２１が上下方向に撓むことを防止できる。これに加えて、第２無端状ベルト２６の内周面側に位置する受圧部材７４が、被検査物６を介してクランプ板１７から第２無端状ベルト２６の外周面に加えられる押圧力を受け止めることで、第２無端状ベルト２６が上下方向に撓むことを防止できる。

【0030】

本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく発明の趣旨を逸脱しない範囲内において構成の一部を適宜変更して実施できる。例えば上述した実施形態では、Ｘ線を遮るベースプレート１５を鉄製としたが、これとは異なり、ベースプレート１５を鉛やアルミニウム等の金属で形成してもよい。

【符号の説明】

【0031】

１・・Ｘ線検査装置、２・・シールドボックス、３・・搬送機構、４・・Ｘ線照射部、５・・Ｘ線検出部、６・・被検査物、９・・主動スライド部材、１０・・従動スライド部材、１４・・主動スライド部材のクランプ板、１７・・従動スライド部材のクランプ板、２１・・第１無端状ベルト、２６・・第２無端状ベルト、７４・・受圧部材、１０３・・位置決め機構、Ｐ・・従動スライド部材のベースプレートがＸ線照射部と対向する位置、Ｘ・・Ｘ線検査装置の正面視左右方向、Ｙ・・Ｘ線検査装置の側面視左右方向。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】