発明の名称 感光性樹脂組成物、レジスト積層体及びそれらの硬化物
出願人 日本化薬株式会社 (識別番号 4086)
特許公開件数ランキング 295 位(34件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 211 位(46件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6049075
公報発行日 2016年12月21
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6049075
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