【図1】図１は、本塗布装置の構成を示す模式側面図である。

【図2】図２は、塗布処理の概略説明図である。

【図3】図３は、スリットノズルの模式側断面図である。

【図4】図４は、ノズル先端部周辺の模式拡大図である。

【図5】図５は、図３のＡＡ矢視断面図である。

【図6】図６は、スリットノズルの周辺機器の構成を説明するための模式図である。

【図7A】図７Ａは、塗布処理の説明図である。

【図7B】図７Ｂは、塗布処理の説明図である。

【図8A】図８Ａは、第１の変形例に係るスリットノズルの模式側断面図である。

【図8B】図８Ｂは、第２の変形例に係るスリットノズルの模式側断面図である。

【図8C】図８Ｃは、第３の変形例に係るスリットノズルの模式側断面図である。

【図8D】図８Ｄは、第４の変形例に係るスリットノズルの模式側断面図である。

【図8E】図８Ｅは、第５の変形例に係るスリットノズルの模式側断面図である。