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東京エレクトロン株式会社
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（
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東京エレクトロン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7765772 | プラズマ処理装置及び基板支持器 | 2025年11月 7日 | |
| 特許 7765154 | 基板処理方法、基板処理装置および接合システム | 2025年11月 6日 | |
| 特許 7765155 | 接合装置、及び接合方法 | 2025年11月 6日 | |
| 特許 7765158 | レーザー加工装置、及びレーザー加工方法 | 2025年11月 6日 | |
| 特許 7763669 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2025年11月 4日 | |
| 特許 7763711 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2025年11月 4日 | |
| 特許 7763025 | プラズマ処理装置 | 2025年10月31日 | |
| 特許 7763106 | 基板検査装置、基板検査方法、及び、基板検査プログラム | 2025年10月31日 | |
| 特許 7763181 | 無機レジストパターニング用のプロセス環境 | 2025年10月31日 | |
| 特許 7763251 | エッチング方法、半導体装置の製造方法、エッチングプログラムおよびプラズマ処理装置 | 2025年10月31日 | |
| 特許 7763302 | プラズマ処理システム及び環状部材の取り付け方法 | 2025年10月31日 | |
| 特許 7763304 | 静電チャック、基板支持器、及びプラズマ処理装置 | 2025年10月31日 | |
| 特許 7763312 | 基板処理方法及びプラズマ処理装置 | 2025年10月31日 | |
| 特許 7761356 | 基板接合システム及び基板接合方法 | 2025年10月28日 | |
| 特許 7761357 | 基板処理装置、及び基板処理方法 | 2025年10月28日 |
724 件中 1-15 件を表示
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7765772 7765154 7765155 7765158 7763669 7763711 7763025 7763106 7763181 7763251 7763302 7763304 7763312 7761356 7761357
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