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東京エレクトロン株式会社
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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第27位 23件
（
2021年：第33位 878件）
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第107位 3件
（
2021年：第45位 515件）
（ランキング更新日：2022年1月11日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6987968 | 加熱処理装置及び加熱処理方法 | 2022年 1月 5日 | |
| 特許 6988083 | ガス処理装置及びガス処理方法 | 2022年 1月 5日 | |
| 特許 6988629 | 成膜方法及び成膜装置 | 2022年 1月 5日 |
3 件中 1-3 件を表示
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6987968 6988083 6988629
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