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東京エレクトロン株式会社

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  2021年 特許取得件数ランキング    第50位 266件 上昇2020年:第54位 436件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6905843 塗布処理装置 2021年 7月21日
特許 6905902 処理液供給装置 2021年 7月21日
特許 6906331 基板処理装置 2021年 7月21日
特許 6906359 塗布装置、および塗布方法 2021年 7月21日
特許 6906377 排気プレート及びプラズマ処理装置 2021年 7月21日
特許 6906416 基板処理装置 2021年 7月21日
特許 6906439 成膜方法 2021年 7月21日
特許 6906604 コンタクトパッドの製造方法及びこれを用いた半導体装置の製造方法、並びに半導体装置 2021年 7月21日
特許 6907518 真空処理装置及び真空処理装置の運転方法。 2021年 7月21日
特許 6901722 流体加熱器、流体制御装置、および流体加熱器の製造方法 2021年 7月14日
特許 6902379 処理システム 2021年 7月14日
特許 6902404 現像処理装置、現像処理方法及び記憶媒体 2021年 7月14日
特許 6902409 プラズマ処理装置 2021年 7月14日
特許 6902450 プラズマ処理方法 2021年 7月14日
特許 6902601 基板処理システム 2021年 7月14日

271 件中 1-15 件を表示

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6905843 6905902 6906331 6906359 6906377 6906416 6906439 6906604 6907518 6901722 6902379 6902404 6902409 6902450 6902601

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