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東京エレクトロン株式会社

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7641170 基板処理装置及び基板処理方法 2025年 3月 6日
特許 7641434 基板処理方法、基板処理装置及び基板処理システム 2025年 3月 6日
特許 7641435 基板処理方法、基板処理装置及び基板処理システム 2025年 3月 6日
特許 7639540 基板を処理する装置、及び処理ガスの温度、濃度を測定する方法 2025年 3月 5日
特許 7638682 検査装置、チェンジキット、チェンジキットの交換方法 2025年 3月 4日
特許 7638700 基板処理方法及び基板処理装置 2025年 3月 4日
特許 7638723 検査装置のセットアップ方法及び検査装置 2025年 3月 4日
特許 7638727 基板処理方法及び基板処理装置 2025年 3月 4日
特許 7638733 表示方法、制御装置 2025年 3月 4日
特許 7638739 ハンドリング治具 2025年 3月 4日
特許 7638743 基板処理方法 2025年 3月 4日
特許 7638752 熱処理装置及び熱処理方法 2025年 3月 4日
特許 7638765 基板液処理装置および基板液処理方法 2025年 3月 4日
特許 7638766 成膜方法及び処理装置 2025年 3月 4日
特許 7638792 半導体製造装置及び温度制御方法 2025年 3月 4日

149 件中 1-15 件を表示

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7641170 7641434 7641435 7639540 7638682 7638700 7638723 7638727 7638733 7638739 7638743 7638752 7638765 7638766 7638792

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