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東京エレクトロン株式会社

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  2020年 出願公開件数ランキング    第44位 650件 上昇2019年:第58位 660件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第59位 353件 下降2019年:第58位 415件)

(ランキング更新日:2020年10月29日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6774803 液滴吐出装置及び吐出検査方法 2020年10月28日
特許 6774814 化学増幅型レジスト材料及びパターン形成方法 2020年10月28日
特許 6775036 成膜システム、成膜方法及びコンピュータ記憶媒体 2020年10月28日
特許 6775084 処理条件設定方法、記憶媒体及び基板処理システム 2020年10月28日
特許 6775322 TiON膜の成膜方法 2020年10月28日
特許 6775349 不揮発性記憶装置の製造方法 2020年10月28日
特許 6775450 ステージクリーニング方法およびステージクリーニング部材、ならびに検査システム 2020年10月28日
特許 6776208 基板処理装置および基板処理方法 2020年10月28日
特許 6776367 金属配線層形成方法、金属配線層形成装置および記憶媒体 2020年10月28日
特許 6777055 基板処理装置 2020年10月28日
特許 6777704 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 2020年10月28日
特許 6770825 基板処理方法及び基板処理装置 2020年10月21日
特許 6770832 接合方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、接合装置及び接合システム 2020年10月21日
特許 6770848 被処理体を処理する方法 2020年10月21日
特許 6770868 プラズマ処理装置のインピーダンス整合のための方法 2020年10月21日

359 件中 1-15 件を表示

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6774803 6774814 6775036 6775084 6775322 6775349 6775450 6776208 6776367 6777055 6777704 6770825 6770832 6770848 6770868

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