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東京エレクトロン株式会社

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 ■ 2026年 特許取得件数ランキング    第25位 600件 (下降2025年:第23位 835件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7949669 基板処理装置、基板処理システム、電力供給システム及び電力供給方法 2026年11月12日
特許 7949466 基板検査装置、基板検査方法及び記憶媒体 2026年11月12日
特許 7948720 基板処理装置、及び基板処理装置のメンテナンス方法 2026年11月11日
特許 7948714 検査装置、および検査方法 2026年11月11日
特許 7948716 成膜方法及び成膜装置 2026年11月11日
特許 7948717 基板処理装置 2026年11月11日
特許 7948718 基板搬送システムの制御方法 2026年11月11日
特許 7948719 情報処理装置、プログラム及び最適解探索方法 2026年11月11日
特許 7948721 基板処理システム、および膜厚測定方法 2026年11月11日
特許 7948947 半導体装置の製造方法及び半導体装置 2026年11月11日
特許 7948724 成膜方法及び基板処理装置 2026年11月11日
特許 7948722 基板搬送機構制御方法及び基板処理システム 2026年11月11日
特許 7948723 接合装置、接合システム、及び接合方法 2026年11月11日
特許 7947510 プラズマ処理装置及び基板支持器 2026年11月10日
特許 7946693 基板加工方法、及び基板加工装置 2026年11月 9日

602 件中 1-15 件を表示

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7949669 7949466 7948720 7948714 7948716 7948717 7948718 7948719 7948721 7948947 7948724 7948722 7948723 7947510 7946693

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