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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第21位 679件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7753727 基板に成膜処理を行う装置、及び基板に成膜処理を行う方法 2025年10月15日
特許 7754585 制御方法及び制御装置 2025年10月15日
特許 7754586 温度補正情報算出装置、半導体製造装置、プログラム、温度補正情報算出方法 2025年10月15日
特許 7754591 基板載置台、基板処理装置及び基板処理方法 2025年10月15日
特許 7753427 プラズマ処理装置 2025年10月14日
特許 7752492 成膜装置 2025年10月10日
特許 7752642 表面改質方法および表面改質装置 2025年10月10日
特許 7752770 基板処理装置および基板処理方法 2025年10月10日
特許 7752017 フィルタ性能評価装置、フィルタウェッティング装置及びフィルタ性能評価方法 2025年10月 9日
特許 7752023 基板処理方法及び基板処理装置 2025年10月 9日
特許 7752202 基板支持器、プラズマ処理装置、及び基板処理装置 2025年10月 9日
特許 7751768 エッチング方法及びプラズマ処理装置 2025年10月 8日
特許 7749329 回転テーブルの制御方法及び処理装置 2025年10月 6日
特許 7749484 成膜装置及び成膜装置の処理方法 2025年10月 6日
特許 7749638 接合システム 2025年10月 6日

686 件中 1-15 件を表示

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7753727 7754585 7754586 7754591 7753427 7752492 7752642 7752770 7752017 7752023 7752202 7751768 7749329 7749484 7749638

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