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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第20位 790件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7780849 静電チャックの製造方法 2025年12月 5日
特許 7780947 基板処理方法および基板処理システム 2025年12月 5日
特許 7781185 基板処理方法及び基板処理装置 2025年12月 5日
特許 7780351 基板処理方法及び基板処理装置 2025年12月 4日
特許 7780381 カップ及び基板処理装置 2025年12月 4日
特許 7780387 シール構造、チャンバ、基板処理装置及びシール材の取り付け方法 2025年12月 4日
特許 7780534 処理方法及び処理システム 2025年12月 4日
特許 7779629 クリーニング方法及び成膜装置 2025年12月 3日
特許 7779630 基板処理装置、および基板取り出し方法 2025年12月 3日
特許 7779632 成膜方法 2025年12月 3日
特許 7778622 基板処理装置及び基板処理方法 2025年12月 2日
特許 7778183 エッチング方法およびエッチング装置 2025年12月 1日
特許 7778192 基板保持体、基板搬送装置及び基板保持体の製造方法 2025年12月 1日
特許 7778238 基板処理装置および基板処理方法 2025年12月 1日
特許 7778239 基板処理装置および基板処理方法 2025年12月 1日

798 件中 1-15 件を表示

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7780849 7780947 7781185 7780351 7780381 7780387 7780534 7779629 7779630 7779632 7778622 7778183 7778192 7778238 7778239

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