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東京エレクトロン株式会社

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  2020年 出願公開件数ランキング    第42位 462件 上昇2019年:第58位 660件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第63位 246件 下降2019年:第58位 415件)

(ランキング更新日:2020年8月6日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6733516 半導体装置の製造方法 2020年 8月 5日
特許 6735549 基板処理装置、基板処理方法及びリング状部材 2020年 8月 5日
特許 6735686 基板処理装置及び基板の冷却方法 2020年 8月 5日
特許 6735688 ガス導入部材 2020年 8月 5日
特許 6735718 基板処理装置、基板処理方法およびプログラム 2020年 8月 5日
特許 6735905 基板処理装置および基板処理方法 2020年 8月 5日
特許 6736386 基板液処理装置、基板液処理方法および記録媒体 2020年 8月 5日
特許 6736799 接合装置のパラメータ調整方法および接合システム 2020年 8月 5日
特許 6736989 処理液供給装置、機器ユニット、処理液供給方法及び記憶媒体 2020年 8月 5日
特許 6737094 基板加熱装置、基板加熱方法及び記憶媒体 2020年 8月 5日
特許 6737139 ガスインジェクタ、及び縦型熱処理装置 2020年 8月 5日
特許 6737215 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 2020年 8月 5日
特許 6730941 基板処理方法及び基板処理装置 2020年 7月29日
特許 6731293 光学膜形成方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び光学膜形成装置 2020年 7月29日
特許 6731341 製造プロセスを学習及び/又は最適化するためのシステム並びに方法 2020年 7月29日

249 件中 1-15 件を表示

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6733516 6735549 6735686 6735688 6735718 6735905 6736386 6736799 6736989 6737094 6737139 6737215 6730941 6731293 6731341

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