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■ 2025年 出願公開件数ランキング 第33位 68件 (2024年:第27位 725件)
■ 2025年 特許取得件数ランキング 第25位 75件 (2024年:第25位 802件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7624844 | 基板収容装置および処理システム | 2025年 1月31日 | |
特許 7624864 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2025年 1月31日 | |
特許 7624893 | 基板搬送方法および基板搬送システム | 2025年 1月31日 | |
特許 7624305 | 配線異常の検知方法及びプラズマ処理装置 | 2025年 1月30日 | |
特許 7624356 | 現像装置及び現像方法 | 2025年 1月30日 | |
特許 7624373 | プラズマ処理装置及びインナーチャンバ | 2025年 1月30日 | |
特許 7624501 | 基板処理装置及び基板収納容器保管方法 | 2025年 1月30日 | |
特許 7623082 | カーボン膜の成膜方法及び成膜装置 | 2025年 1月28日 | |
特許 7623083 | 基板支持部及びプラズマ処理装置 | 2025年 1月28日 | |
特許 7623084 | 基板支持器 | 2025年 1月28日 | |
特許 7623085 | フランジ構造及びこれを用いた真空排気システム | 2025年 1月28日 | |
特許 7623086 | プラズマ源及びプラズマ処理装置 | 2025年 1月28日 | |
特許 7623094 | レーザーリフトオフ用の積層基板、基板処理方法、及び基板処理装置 | 2025年 1月28日 | |
特許 7621876 | 基板処理方法、部品処理方法及び基板処理装置 | 2025年 1月27日 | |
特許 7622192 | 基板処理装置 | 2025年 1月27日 |
78 件中 1-15 件を表示
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7624844 7624864 7624893 7624305 7624356 7624373 7624501 7623082 7623083 7623084 7623085 7623086 7623094 7621876 7622192
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