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東京エレクトロン株式会社

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  2021年 出願公開件数ランキング    第38位 281件 上昇2020年:第43位 773件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第52位 140件 上昇2020年:第54位 436件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6858095 マイクロ波出力装置及びプラズマ処理装置 2021年 4月14日
特許 6858656 給電部材及び基板処理装置 2021年 4月14日
特許 6858851 サイクロン捕集器 2021年 4月14日
特許 6854187 基板処理装置、基板処理方法、及び記憶媒体 2021年 4月 7日
特許 6854600 プラズマエッチング方法、プラズマエッチング装置、および基板載置台 2021年 4月 7日
特許 6854611 基板処理方法、基板処理装置及び基板処理システム 2021年 4月 7日
特許 6854628 プラズマ溶射装置及び溶射制御方法 2021年 4月 7日
特許 6854696 接合装置および接合方法 2021年 4月 7日
特許 6854844 エッチング方法及びエッチング装置 2021年 4月 7日
特許 6854884 塗布処理装置、塗布処理方法及び光学膜形成装置 2021年 4月 7日
特許 6855687 基板処理装置、基板処理方法及び基板処理装置のメンテナンス方法及び記憶媒体 2021年 4月 7日
特許 6850627 基板処理装置及び基板処理方法 2021年 3月31日
特許 6850636 プラズマ処理装置 2021年 3月31日
特許 6850645 プラズマ処理装置 2021年 3月31日
特許 6850701 処理液供給装置、塗布処理装置及び処理液供給装置の供給管の洗浄方法 2021年 3月31日

142 件中 1-15 件を表示

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6858095 6858656 6858851 6854187 6854600 6854611 6854628 6854696 6854844 6854884 6855687 6850627 6850636 6850645 6850701

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