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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第25位 75件 変わらず2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7624844 基板収容装置および処理システム 2025年 1月31日
特許 7624864 基板処理装置および基板処理方法 2025年 1月31日
特許 7624893 基板搬送方法および基板搬送システム 2025年 1月31日
特許 7624305 配線異常の検知方法及びプラズマ処理装置 2025年 1月30日
特許 7624356 現像装置及び現像方法 2025年 1月30日
特許 7624373 プラズマ処理装置及びインナーチャンバ 2025年 1月30日
特許 7624501 基板処理装置及び基板収納容器保管方法 2025年 1月30日
特許 7623082 カーボン膜の成膜方法及び成膜装置 2025年 1月28日
特許 7623083 基板支持部及びプラズマ処理装置 2025年 1月28日
特許 7623084 基板支持器 2025年 1月28日
特許 7623085 フランジ構造及びこれを用いた真空排気システム 2025年 1月28日
特許 7623086 プラズマ源及びプラズマ処理装置 2025年 1月28日
特許 7623094 レーザーリフトオフ用の積層基板、基板処理方法、及び基板処理装置 2025年 1月28日
特許 7621876 基板処理方法、部品処理方法及び基板処理装置 2025年 1月27日
特許 7622192 基板処理装置 2025年 1月27日

78 件中 1-15 件を表示

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7624844 7624864 7624893 7624305 7624356 7624373 7624501 7623082 7623083 7623084 7623085 7623086 7623094 7621876 7622192

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