特許6050860プラズマ原子層成長装置

発明の名称　プラズマ原子層成長装置

出願人　株式会社日本製鋼所　（識別番号 4215）

　　　　特許公開件数ランキング 276 位（36件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 221 位（44件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6050860

公報発行日　2016年12月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6050860

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