特許6051943IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

この発明は、カーボンナノ構造体、カーボンナノ構造体の製造方法およびその製造装置に関し、より特定的には、一方向に延びるカーボンナノ構造体、カーボンナノ構造体の製造方法およびその製造装置

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかし、従来の方法では、触媒から成長したカーボンナノ構造体に曲がりが発生する場合があった。たとえばカーボンナノチューブにおいて当該曲がりが発生した部分では、カーボンナノチューブを構成する六員環ではなく、五員環や七員環が存在しており、電気抵抗が高くなるといったようにカーボンナノチューブの特性が局所的に変化していた。 このようなカーボンナノ構造体における曲がりの発生を抑制するため、カーボンナノ構造体の成長時に当該カーボンナノ構造体へ張力を加えることも考えられるが、触媒から成長する微細なカーボンナノ構造体の先端部をチャッキングして当該カーボンナノ構造体に張力を印加することは困難であり、得られるカーボンナノ構造体の長さにも限界があった。 この発明は、のような課題を解決するために成されたものであり、この発明の目的は、曲がりなどの発生を抑制した長尺のカーボンナノ構造体、当該カーボンナノ構造体の製造方法、および当該カーボンナノ構造体の製造方法に用いる製造装置を提供することである。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

この発明に従ったカーボンナノ構造体の製造方法は、ベース体を準備する工程と、カーボンナノ構造体を成長させる工程とを備える。ベース体を準備する工程では、触媒を含む触媒部材と、分離部材とが接触または一体化するとともに、触媒部材と分離部材との接触部または一体化した部位の少なくとも一部が酸化したベース体を準備する。カーボンナノ構造体を成長させる工程では、ベース体に炭素を含有する原料ガスを供給しながら、・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
【発明の効果】
この発明によれば、曲がりなどの発生が抑制された、長尺のカーボンナノ構造体を得ることができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】この発明によるカーボンナノ構造体の製造方法の実施の形態1を説明するためのフローチャートである。

【図2】図1に示したカーボンナノ構造体の製造方法に用いられる、本発明によるカーボンナノ構造体の製造装置を説明するための断面模式図である。

【図3】図2に示したカーボンナノ構造体の製造装置の部分模式図である。

【図4】形成されたカーボンナノ構造体を示す模式図である。

【図5】図2に示したカーボンナノ構造体の製造装置の変形例を説明するための部分模式図である。

【図6】図5に示したカーボンナノ構造体の製造装置を用いて形成されたカーボンナノ構造体を示す模式図である。

【図7】形成されたカーボンナノ構造体を説明するための模式図である。

【図8】この発明によるカーボンナノ構造体の製造方法の実施の形態2を説明するためのフローチャートである。

【図9】形成されたカーボンナノ構造体の一例を示す拡大写真である。

【図10】形成されたカーボンナノ構造体の一例を示す拡大写真である。

【図11】図10の領域XIを示す拡大写真である。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

1 反応室、2 駆動部材、3 ガス供給部、4 加熱部材、6 排気部、7 ポンプ、8 ベース架台、9〜12 固定ブロック、13 連結棒、14 制御部、15 レーザ光導入部、16 レーザ光発振部、17 レーザ光、18,19 冷却部材、20 ベース体、21 ノッチ、22 原料ガス導入部材、24 光学系、25,26 ベース体部分、27,31 矢印、30 カーボンナノ構造体、32 鉄微粒子、33 鉄ナノフィラメント。

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