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公報発行日 2016年12月27
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【図1】この発明によるカーボンナノ構造体の製造方法の実施の形態1を説明するためのフローチャートである。
【図2】図1に示したカーボンナノ構造体の製造方法に用いられる、本発明によるカーボンナノ構造体の製造装置を説明するための断面模式図である。
【図3】図2に示したカーボンナノ構造体の製造装置の部分模式図である。
【図4】形成されたカーボンナノ構造体を示す模式図である。
【図5】図2に示したカーボンナノ構造体の製造装置の変形例を説明するための部分模式図である。
【図6】図5に示したカーボンナノ構造体の製造装置を用いて形成されたカーボンナノ構造体を示す模式図である。
【図7】形成されたカーボンナノ構造体を説明するための模式図である。
【図8】この発明によるカーボンナノ構造体の製造方法の実施の形態2を説明するためのフローチャートである。
【図9】形成されたカーボンナノ構造体の一例を示す拡大写真である。
【図10】形成されたカーボンナノ構造体の一例を示す拡大写真である。
【図11】図10の領域XIを示す拡大写真である。
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