特許6052051炭化珪素単結晶の製造装置

発明の名称　炭化珪素単結晶の製造装置

出願人　株式会社デンソー　（識別番号 4260）

　　　　特許公開件数ランキング 12 位（157件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 17 位（130件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6052051

公報発行日　2016年12月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6052051

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