特許 6052132 通信デバイス及びその制御方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6052132

(24)【登録日】2016年12月9日

(45)【発行日】2016年12月27日

(54)【発明の名称】通信デバイス及びその制御方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20161219BHJP

   B65G 49/07 20060101ALI20161219BHJP

   G05D 1/02 20060101ALI20161219BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

   B65G49/07 Z

   G05D1/02 G

   G05D1/02 Y

【請求項の数】5

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2013-219643(P2013-219643)

(22)【出願日】2013年10月22日

(65)【公開番号】特開2015-82574(P2015-82574A)

(43)【公開日】2015年4月27日

【審査請求日】2016年8月23日

(73)【特許権者】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100109210

【弁理士】

【氏名又は名称】新居 広守

(72)【発明者】

【氏名】上山 啓

(72)【発明者】

【氏名】谷本 好史

【審査官】 山口 大志

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１２−１９９５５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−０７１２１４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０４−２９７９０５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ６５Ｇ ４９／０７

Ｇ０５Ｄ １／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被搬送物が載置される載置ポートとの間で通信するパラレルインタフェースと、
前記載置ポートとの間で前記被搬送物を移載する搬送台車とネットワークを介して通信するネットワーク通信部と、
前記パラレルインタフェース及び前記ネットワーク通信部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記載置ポートと前記搬送台車との間で前記被搬送物を移載するためのインターロックシーケンスにおいて、前記載置ポート及び前記搬送台車との通信処理を、繰り返し、
前記通信処理は、
前記ネットワーク通信部で受信された第１のパケットを第１のパラレル信号に変換する処理と、
前記第１のパラレル信号を前記パラレルインタフェースから出力する処理と、
前記パラレルインタフェースから入力された第２のパラレル信号を第２のパケットに変換する処理と、
所定の待機期間をおいて、前記第２のパケットを前記ネットワーク通信部から前記搬送台車に送信する処理と、
前記第１のパケット又は前記第２のパラレル信号に基づき、前記インターロックシーケンスにおけるエラーが生じているかを判定する処理と、
前記インターロックシーケンスにおけるエラーが生じていない場合には、前記所定の待機期間を第１の時間間隔に設定し、前記インターロックシーケンスにおけるエラーが生じている場合には、前記所定の待機期間を前記第１の時間間隔より短い第２の時間間隔に設定する処理と、
を含む
通信デバイス。

【請求項2】

前記パラレルインタフェースは、ＳＥＭＩ Ｅ８４規格に基づく構成を有する
請求項１に記載の通信デバイス。

【請求項3】

前記第１の時間間隔及び第２の時間間隔の少なくとも一方を、外部から変更するためのインタフェースをさらに備える
請求項１又は２に記載の通信デバイス。

【請求項4】

前記制御部は、前記インターロックシーケンスにおけるエラーの種類に応じて、前記第２の時間間隔を変更する
請求項１〜３のいずれか１項に記載の通信デバイス。

【請求項5】

被搬送物が載置される載置ポートとの間で通信するパラレルインタフェースと、
前記載置ポートとの間で前記被搬送物を移載する搬送台車とネットワークを介して通信するネットワーク通信部と、
前記パラレルインタフェース及び前記ネットワーク通信部を制御する制御部と、を備える通信デバイスの制御方法であって、
前記載置ポートと前記搬送台車との間で前記被搬送物を移載するためのインターロックシーケンスにおいて繰り返される、前記載置ポート及び前記搬送台車との通信処理を含み、
前記通信処理は、
前記ネットワーク通信部で受信された第１のパケットを第１のパラレル信号に変換する処理と、
前記第１のパラレル信号を前記パラレルインタフェースから出力する処理と、
前記パラレルインタフェースから入力された第２のパラレル信号を第２のパケットに変換する処理と、
所定の待機期間をおいて、前記第２のパケットを前記ネットワーク通信部から前記搬送台車に送信する処理と、
前記第１のパケット又は前記第２のパラレル信号に基づき、前記インターロックシーケンスにおけるエラーが生じているかを判定する処理と、
前記インターロックシーケンスにおけるエラーが生じていない場合においては、前記所定の待機期間を第１の時間間隔に設定し、前記インターロックシーケンスにおけるエラーが生じている場合においては、前記所定の待機期間を前記第１の時間間隔より短い第２の時間間隔に設定する処理と、
を含む
通信デバイスの制御方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、通信デバイスに関し、特に、被搬送物を載置する載置ポートと、被搬送物を搬送及び移載する搬送台車との間で通信を行う通信デバイス及びその制御方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体製造装置に設けられた載置ポートと、天井走行台車などの搬送台車との間の通信には、ＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ａｎｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）のＥ８４通信シーケンスが適用される。ウェハ等を収納したポッドを被搬送物として、天井走行台車により搬送し、載置ポートに移載する際、及び、載置ポートからポッドを搬出する際には、Ｅ８４通信シーケンスで、天井走行台車と載置ポートとの間で制御信号が授受される。例えば、天井走行台車よりポッドを載置ポートに移載する際、特定の信号（Ｌ＿ＲＥＱ）がオフとならないと、次の工程には移行しないような複数の工程からなるインターロックシーケンスが採用されている（例えば、特許文献１参照）。これにより、天井走行台車から載置ポートへのポッドの移載を安全かつ確実に行おうとしている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００９−１３００２３号公報

【特許文献2】特開昭６２−５５７０４号公報

【特許文献3】特開平０９−２６１２３３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

Ｅ８４通信シーケンスにおける載置ポートと天井走行台車との通信は、８ｂｉｔ（片方向８ｂｉｔ、双方向で１６ｂｉｔ）のパラレルインタフェースが使用されている。天井走行車の走行経路には、光通信装置が配置され、この光通信装置と天井走行車は光で信号をやり取りする。また、光通信機器と載置ポートとの間は、パラレルインターフェースケーブルで接続される。このようなパラレルインタフェースと光通信機器を用いる場合には、載置ポート単位で通信機器を配置する必要があるためコストが上昇する問題がある。

【0005】

そこで、パラレルインタフェースに変えて、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）などのネットワーク通信によって、入出力ポート（以下ＩＯポートという）の情報を伝達する構成が考えられる。本構成においては、ＩＯポートの情報であるパラレル信号がパケットに変換され、ネットワークを経由して伝達される。

【0006】

パラレルインタフェースによって情報を伝達する場合は、パラレルインタフェースのＩＯポートの情報が常時接続先に伝達される。一方、ネットワーク通信を用いる構成においては、所定のタイミングでパケットが送信される。ネットワーク通信を用いる構成において、パラレルインタフェースの入出力ポートの情報を、ネットワーク通信によって送信先に伝達する一つのタイミングとして、ＩＯポートの情報が変化したタイミングを採用することが考えられる（例えば、特許文献２参照）。この場合には、情報が変化するまで情報が送信されないので、実際に情報が変化していないのか、それとも、故障などにより情報を送信できない状態になっているのか、を判別できない問題がある。

【0007】

また、ＩＯポートの情報を送信先の相手に伝達する他のタイミングとして、予め定められた一定時間間隔のタイミングを採用することが考えられる（例えば、特許文献３参照）。この場合には、一定時間間隔で通信を続けるため、相手の状態を定期的に確認できるものの、遅滞なくエラーを検知するためには、時間間隔を短くしなければならず、通信データ量が増加するという問題がある。

【0008】

本発明は、上記問題を解決するためのものであり、被搬送物を載置する載置ポートと、被搬送物の搬送及び移載を行う搬送台車との間の通信を行う通信デバイスにおいて、通信データ量の増加を抑制しつつ、遅滞なくエラー情報を伝達することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記課題を解決するために、本発明の一態様に係る通信デバイスは、被搬送物が載置される載置ポートとの間で通信するパラレルインタフェースと、前記載置ポートとの間で前記被搬送物を移載する搬送台車とネットワークを介して通信するネットワーク通信部と、前記パラレルインタフェース及び前記ネットワーク通信部を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記載置ポートと前記搬送台車との間で前記被搬送物を移載するためのインターロックシーケンスにおいて、前記載置ポート及び前記搬送台車との通信処理を、繰り返し、前記通信処理は、前記ネットワーク通信部で受信された第１のパケットを第１のパラレル信号に変換する処理と、前記第１のパラレル信号を前記パラレルインタフェースから出力する処理と、前記パラレルインタフェースから入力された第２のパラレル信号を第２のパケットに変換する処理と、所定の待機期間をおいて、前記第２のパケットを前記ネットワーク通信部から前記搬送台車に送信する処理と、前記第１のパケット又は前記第２のパラレル信号に基づき、前記インターロックシーケンスにおけるエラーが生じているかを判定する処理と、前記インターロックシーケンスにおけるエラーが生じていない場合には、前記所定の待機期間を第１の時間間隔に設定し、前記インターロックシーケンスにおけるエラーが生じている場合には、前記所定の待機期間を前記第１の時間間隔より短い第２の時間間隔に設定する処理と、を含む。

【0010】

これによれば、インターロックシーケンスにおいて、エラーが発生している場合には、搬送台車と載置ポートとの間の通信の周期を短くできるため、エラー情報を遅滞なく伝達することができる。また、エラーが発生していない場合には、エラーが発生している場合より、搬送台車と載置ポートとの間の通信の周期を長くできるため、通信データ量を抑制することができる。

【0011】

また、本発明の一態様に係る通信デバイスとして、前記パラレルインタフェースは、ＳＥＭＩ Ｅ８４規格に基づく構成を有する構成としてもよい。

【0012】

これによれば、ＳＥＭＩ Ｅ８４規格のインターロックシーケンスを採用することができる。

【0013】

また、本発明の一態様に係る通信デバイスとして、前記第１の時間間隔及び第２の時間間隔の少なくとも一方を、外部から変更するためのインタフェースをさらに備える構成としてもよい。

【0014】

これによれば、第１の時間間隔及び第２の時間間隔を、外部から、随時適切な値に調整することができる。

【0015】

また、本発明の一態様に係る通信デバイスとして、前記制御部は、前記インターロックシーケンスにおけるエラーの種類に応じて、前記第２の時間間隔を変更する構成としてもよい。

【0016】

これによれば、エラーの危険性、緊急性などに応じて、第２の時間間隔を必要十分な値に設定することができるため、通信データ量をより抑制することができる。

【0017】

上記課題を解決するために、本発明の一態様に係る通信デバイスの制御方法は、被搬送物が載置される載置ポートとの間で通信するパラレルインタフェースと、前記載置ポートとの間で前記被搬送物を移載する搬送台車とネットワークを介して通信するネットワーク通信部と、前記パラレルインタフェース及び前記ネットワーク通信部を制御する制御部と、を備える通信デバイスの制御方法であって、前記載置ポートと前記搬送台車との間で前記被搬送物を移載するためのインターロックシーケンスにおいて繰り返される、前記載置ポート及び前記搬送台車との通信処理を含み、前記通信処理は、前記ネットワーク通信部で受信された第１のパケットを第１のパラレル信号に変換する処理と、前記第１のパラレル信号を前記パラレルインタフェースから出力する処理と、前記パラレルインタフェースから入力された第２のパラレル信号を第２のパケットに変換する処理と、所定の待機期間をおいて、前記第２のパケットを前記ネットワーク通信部から前記搬送台車に送信する処理と、前記第１のパケット又は前記第２のパラレル信号に基づき、前記インターロックシーケンスにおけるエラーが生じているかを判定する処理と、前記インターロックシーケンスにおけるエラーが生じていない場合においては、前記所定の待機期間を第１の時間間隔に設定し、前記インターロックシーケンスにおけるエラーが生じている場合においては、前記所定の待機期間を前記第１の時間間隔より短い第２の時間間隔に設定する処理と、を含む。

【0018】

これによれば、インターロックシーケンスにおいて、エラーが発生している場合には、搬送台車と載置ポートとの間の通信の間隔を短くできるため、エラー情報を遅滞なく伝達することができる。また、エラーが発生していない場合には、エラーが発生している場合より、搬送台車と載置ポートとの間の通信の間隔を長くできるため、通信データ量を抑制することができる。

【0019】

なお、本発明は、装置及び制御方法として実現できるだけでなく、制御方法におけるステップをコンピュータに実行させるプログラムとして実現することもできる。また、そのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体として実現すること、及び、そのプログラムを示す情報、データ又は信号として実現することもできる。そして、それらプログラム、情報、データ及び信号は、インターネット等の通信ネットワークを介して配信してもよい。

【発明の効果】

【0020】

本発明により、被搬送物を載置する載置ポートと、被搬送物の搬送及び受け渡しを行う搬送台車との間の通信を行う通信デバイスにおいて、通信データ量の増加を抑制しつつ、遅滞なくエラー情報を伝達することができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】本発明の実施の形態に係る通信デバイスを含む半導体製造システムの概要を示す外観図である。

【図2】本発明の実施の形態に係る通信デバイスを含む半導体製造システムの機能構成を示すブロック図である。

【図3】本発明の実施の形態に係る通信デバイスの処理手順の一例を示す図である。

【図4】本発明の実施の形態に係るＡｃｔｉｖｅ側インターロック実行工程の詳細な処理工程を示すフローチャートである。

【図5】本発明の実施の形態に係るＰａｓｓｉｖｅ側インターロック実行工程の詳細な処理工程を示すフローチャートである。

【図6】本発明の実施の形態に係る通信デバイスのＰａｓｓｉｖｅ信号受信工程の詳細な処理工程を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも本発明の好ましい一具体例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、より好ましい形態を構成する任意の構成要素として説明される。

【0023】

なお、同一の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略する場合がある。

【0024】

まず、本発明に係る通信デバイスを含む半導体製造システムの実施の形態の概要を説明する。図１は、半導体製造システムの概要を示す外観図である。図１に示されるように、半導体製造システム１は、主に、通信デバイス１０、半導体製造装置５０、載置ポート２０、走行ルート２、搬送台車３０及びアクセスポイント４０から構成される。

【0025】

図１に示される半導体製造装置５０は、ウェハを加工する装置であり、ウェハが格納されたＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）１００を搬入及び搬出するためのＦＯＵＰ搬入搬出口５１を備える。

【0026】

載置ポート２０は、被搬送物であるＦＯＵＰ１００が載置されるポートであり、半導体製造装置５０のＦＯＵＰ搬入搬出口５１付近に配置されて、半導体製造装置５０とＦＯＵＰ１００を受け渡しする。また、載置ポート２０は、搬送台車３０との間で、ＦＯＵＰ１００を移載する。また、載置ポート２０は、パラレルインタフェース２１を有し、パラレルケーブル６０を介して、通信デバイス１０との間で信号を送受信する。

【0027】

搬送台車３０は、載置ポート２０との間でＦＯＵＰ１００を移載し、走行ルート２に沿って搬送する台車であり、内部にＦＯＵＰ１００を把持する把持部３１を備える。把持部３１は、昇降可能に設けられており、ＦＯＵＰ１００を載置ポート２０との間で移載する際には、載置ポート２０付近まで降下される。

【0028】

通信デバイス１０は、載置ポート２０と搬送台車３０との間の信号の送受信を仲介するデバイスである。通信デバイス１０は、パラレルインタフェース１１を備え、パラレルケーブル６０を介して、載置ポート２０のパラレルインタフェース２１との間でパラレル信号を送受信する。また、通信デバイス１０は、さらに、ＬＡＮポート１２を備え、ＬＡＮケーブル７０及びアクセスポイント４０を介して、搬送台車３０との間でパケットを送受信する。

【0029】

アクセスポイント４０は、搬送台車３０と通信デバイス１０との間のパケットの送受信を仲介するデバイスである。アクセスポイント４０は、通信デバイス１０からＬＡＮケーブル７０を介して受信したパケットを、無線通信（例えばＩＥＥＥ ８０２．１１）によって搬送台車３０に送信し、搬送台車３０から無線通信によって受信したパケットを、ＬＡＮケーブル７０を介して通信デバイス１０に送信する。

【0030】

次に、本実施の形態の半導体製造装置の機能構成を説明する。図２は、通信デバイスを含む半導体製造装置の特徴的な機能構成を示すブロック図である。

【0031】

まず、図２に示される搬送台車３０の機能構成について説明する。図２に示されるように、搬送台車３０は、機能的には、台車制御部３２及び台車通信部３３を含む。台車制御部３２は、台車通信部３３から載置ポート２０の情報を示す信号を受信して、搬送台車３０の動作を制御する。また、台車制御部３２は、搬送台車３０の状態を示すパケットを台車通信部３３に送信する。台車通信部３３は、台車制御部３２から送信された搬送台車３０の状態を示すパケットを、無線通信によって、アクセスポイント４０に送信する。また、台車通信部３３は、アクセスポイント４０から送信されたパケットを受信して、台車制御部３２に送信する。

【0032】

次に、図２に示される載置ポート２０の機能構成について説明する。図２に示されるように、載置ポート２０は、機能的には、ＬＰ制御部２２とパラレルインタフェース２１とを含む。ＬＰ制御部２２は、パラレルインタフェース２１から搬送台車３０の状態を示すパラレル信号を受信して、載置ポート２０を制御する。また、ＬＰ制御部２２は、載置ポート２０の状態を示すパラレル信号をパラレルインタフェース２１に送信する。パラレルインタフェース２１は、パラレル信号を入出力する入出力部であって、パラレルケーブル６０が備えるコネクタ（Ｄｓｕｂ−２５ｐｉｎ）を接続するためのレセプタクルを含む。

【0033】

次に、図２に示される通信デバイス１０の機能構成について説明する。図２に示されるように、通信デバイス１０は、機能的には、パラレルインタフェース１１、ＬＡＮポート１２、制御部１３及びネットワーク通信部１４を含む。パラレルインタフェース１１は、載置ポート２０との間で通信するインタフェースであって、片方８ｂｉｔ、双方向で１６ｂｉｔのＩＯポートを含み、パラレルケーブル６０が接続される。制御部１３は、載置ポート２０と搬送台車３０との間でＦＯＵＰ１００を移載するためのインターロックシーケンスにおいて、載置ポート２０及び搬送台車３０との通信処理を、所定の通信周期で繰り返し行う処理部である。制御部１３は通信処理において少なくとも以下の六つの処理を行う。

【0034】

（１）ネットワーク通信部１４から送信されたパケットをパラレル信号に変換する処理。
（２）パケットから変換されたパラレル信号を各ＩＯポートに書き込み（ＷＲＩＴＥ）、パラレルインタフェース１１から出力する処理。
（３）パラレルインタフェース１１から入力されたパラレル信号を各ＩＯポートから読み出し（ＲＥＡＤ）、パケットに変換する処理。
（４）パラレル信号から変換されたパケットをネットワーク通信部１４に送信する処理。
（５）受信したパケット及びパラレル信号に基づき、載置ポート２０と搬送台車３０との間のＦＯＵＰ１００移載のインターロックシーケンスにおけるエラーが生じているかを判定する処理。
（６）エラーが生じていない場合においては、待機期間を第１の時間間隔に設定し、インターロックシーケンスにおけるエラーが生じている場合においては、待機期間を第１の時間間隔より短い第２の時間間隔に設定する処理。

【0035】

制御部１３は、上記通信処理を行うためのＣＰＵや記憶部等を内部に備える。

【0036】

ネットワーク通信部１４は、搬送台車３０とネットワークを介して通信する通信部である。ＬＡＮポート１２は、パケットを入出力する入出力部であって、ＬＡＮケーブル７０が接続される。

【0037】

次に、本実施の形態の半導体製造システム１の通信処理の動作について説明する。図３は、載置ポート２０と搬送台車３０との間でＦＯＵＰ１００の移載を行う際に、Ｅ８４インターロックシーケンスに基づいて通信デバイスが通信処理を行う場合の処理手順の一例を示す図である。本通信処理において、Ｅ８４インターロックシーケンスにおけるＰａｓｓｉｖｅ側が載置ポート２０であり、Ａｃｔｉｖｅ側が搬送台車３０である。Ｅ８４インターロックシーケンスは、複数の工程からなり、Ａｃｔｉｖｅ側及びＰａｓｓｉｖｅ側の各工程がエラーなく完了する毎に、Ａｃｔｉｖｅ側８ｂｉｔ又はＰａｓｓｉｖｅ側８ｂｉｔのパラレル信号の各ｂｉｔの値が更新される。そして、前の工程でエラーが発生しなかったことをパラレル信号によって判定された場合には次の工程が実行され、エラーが発生したと判定された場合にはインターロックシーケンスが中断される。なお、本実施の形態においては、Ａｃｔｉｖｅ側の搬送台車３０と通信デバイス１０との間で、Ａｃｔｉｖｅ側８ｂｉｔ、Ｐａｓｓｉｖｅ側８ｂｉｔのパラレル信号に対応するパケットが送受信される。

【0038】

本実施の形態において、Ａｃｔｉｖｅ側及びＰａｓｓｉｖｅ側にＥ８４インターロックシーケンス上のエラーが発生していない場合には、通信デバイス１０は、図３の処理工程Ｓ１〜Ｓ６の通信処理を繰り返す。また、例えば、Ｐａｓｓｉｖｅ側にエラーが発生している場合には、図３の処理工程Ｓ６〜Ｓ１１の通信処理を実行する。以下、各処理工程について説明する。

【0039】

まず、図３において処理工程Ｓ１〜Ｓ６で示されるＥ８４インターロックシーケンス上のエラーが発生しない場合の処理工程について説明する。Ｐａｓｓｉｖｅ信号送信工程（Ｓ１）においては、通信デバイス１０が、Ｐａｓｓｉｖｅ側である載置ポート２０の状態を示すパケットを、Ａｃｔｉｖｅ側である搬送台車３０に無線通信により送信する。続くＡｃｔｉｖｅ側インターロック実行工程（Ｓ２）において、Ａｃｔｉｖｅ側である搬送台車３０が、通信デバイス１０からのパケットを受信して、Ｐａｓｓｉｖｅ側の状態を検知する。そして、搬送台車３０は、Ｅ８４インターロックシーケンス上のエラーが発生していないことを確認すると、Ｅ８４インターロックシーケンスの次の工程を実行し、実行後の搬送台車３０の状態を示すパケットを通信デバイス１０に無線通信により送信する。次のＡｃｔｉｖｅ信号転送工程（Ｓ３）において、搬送台車３０から送信されたパケットを通信デバイス１０が受信して、パラレル信号に変換し、パラレルインタフェース１１を介して、Ｐａｓｓｉｖｅ側の載置ポート２０に送信する。続くＰａｓｓｉｖｅ側インターロック実行工程（Ｓ４）において、載置ポート２０は、通信デバイス１０からＡｃｔｉｖｅ側の状態を示すパラレル信号を受信して、Ａｃｔｉｖｅ側の状態を検知する。そして、Ｅ８４インターロックシーケンス上のエラーが発生していないことを確認すると、載置ポート２０は、Ｅ８４インターロックシーケンスの次の工程を実行し、実行後の載置ポート２０の状態を示すパラレル信号をパラレルインタフェース２１から送信する。次に、Ｐａｓｓｉｖｅ信号受信工程（Ｓ５）において、通信デバイス１０は載置ポート２０からのパラレル信号を受信し、パケットに変換する。さらに、載置ポート２０から受信したパラレル信号に基づいて載置ポート２０の状態を判定する。ここで、通信デバイス１０は、載置ポート２０において、Ｅ８４インターロックシーケンス上のエラーが発生していないと判定すると待機状態となる。そして、パラレル信号受信から第１の時間間隔が経過した後、通信デバイス１０は、Ｐａｓｓｉｖｅ側信号送信工程（Ｓ６）を実行する。Ｐａｓｓｉｖｅ側信号送信工程において、通信デバイス１０は、搬送台車３０に、載置ポート２０の状態を示すパケットを搬送台車３０に無線通信により送信する。上述のとおり、エラーが発生しない場合、通信デバイス１０、載置ポート２０及び搬送台車３０は、Ｓ１からＳ６までの処理工程を図３に示されるように、インターロックシーケンスの全工程が終了するまで繰り返し実行する。なお、第１の時間間隔としては、通信データ量が抑制され、かつ、インターロックシーケンスの実行に時間がかかり過ぎないような値に設定されることが好ましい。

【0040】

次に、図３において処理工程Ｓ６〜Ｓ１２で示されるＥ８４インターロックシーケンス上のエラーが発生する場合の処理工程について説明する。まず、処理工程Ｓ６〜Ｓ８においては上述した処理工程Ｓ１〜Ｓ３と同様に処理が行われる。次に、Ｐａｓｓｉｖｅ側インターロック実行工程（Ｓ９）において、載置ポート２０は、通信デバイス１０からＡｃｔｉｖｅ側の状態を示すパラレル信号を受信して、Ａｃｔｉｖｅ側の状態を検知する。そして、Ｅ８４インターロックシーケンス上のエラーが発生していないことを確認すると、載置ポート２０は、Ｅ８４インターロックシーケンスの次の工程を実行する。ここで、本インターロックシーケンスの工程においてエラーが発生すると仮定すると、載置ポート２０は、エラーが発生している状態を示すパラレル信号をパラレルインタフェース２１から送信する。次に、Ｐａｓｓｉｖｅ信号受信工程（Ｓ１０）において、通信デバイス１０は載置ポート２０からのパラレル信号を受信し、載置ポート２０の状態を検知する。ここで、通信デバイス１０は、載置ポート２０において、Ｅ８４インターロックシーケンス上のエラーが発生していることを確認すると、載置ポート２０から受信したパラレル信号をパケットに変換して待機する。そして、パラレル信号受信から、第１の時間間隔より短い第２の時間間隔が経過した後、通信デバイス１０は、Ｐａｓｓｉｖｅ側信号送信工程（Ｓ１１）を実行する。Ｐａｓｓｉｖｅ側信号送信工程において、上述した処理工程Ｓ６と同様に、通信デバイス１０は、搬送台車３０に、載置ポート２０の状態を示すパケットを搬送台車３０に無線通信により送信する。上述のとおり、通信デバイス１０、載置ポート２０及び搬送台車３０は、Ｅ８４インターロックシーケンス上のエラーが発生する場合、Ｓ６からＳ１１までの処理工程を、第１の周期より短い第２の周期で実行する。そして、Ａｃｔｉｖｅ側インターロック実行工程（Ｓ１２）において、搬送台車３０が、通信デバイス１０からのパケットを受信して、Ｐａｓｓｉｖｅ側の状態を検知する。そして、Ｐａｓｓｉｖｅ側でＥ８４インターロックシーケンス上のエラーが発生していることを確認すると、搬送台車３０は、Ｅ８４インターロックシーケンスを中断する。なお、本実施の形態における、第２の時間間隔は、Ｐａｓｓｉｖｅ側の信号の受信を確実に行いつつ（ＩＯポートの信号を読み取る際のチャタリング処理のための時間を確保しつつ）、インターロックシーケンスの安全を確保するような値に設定される。

【0041】

また、本実施の形態においては、待機期間をＰａｓｓｉｖｅ信号受信工程に設けたが、Ａｃｔｉｖｅ側インターロック実行工程又はＰａｓｓｉｖｅ側インターロック実行工程など他の工程に設けてもよいし、複数の工程に設けてもよい。

【0042】

なお、上述の時間間隔は、固定されていなくてもよい。例えば、通信デバイス１０に入力用のインタフェースを設けて、このインタフェースを介して外部の入力装置から、制御部１３内の記憶部に格納されている各時間間隔及び周期を変更できる構成としてもよい。本構成によれば、各時間間隔及び周期を、随時適切な値に調整することができる。

【0043】

また、上述の第１の時間間隔を、各インターロックシーケンスの処理工程に応じて変更する構成としてもよい。本構成によれば、インターロックシーケンスの各処理工程に要する時間などに応じて適切な時間間隔及び周期を採用することができるため、必要以上に短い周期で通信を行うことを回避でき、通信データ量を抑制することができる。例えば、インターロックシーケンスの中で、エラーが発生しにくく、かつ、第１の時間間隔より十分長い時間を要する処理がある場合には、当該処理に要する時間に応じて、第１の時間間隔を長くしてもよい。

【0044】

また、上述の第２の時間間隔を、エラーの種類に応じて変更する構成としてもよい。例えば、載置ポート２０付近に作業員が接近したことを検知した場合などの危険なエラーの場合には、第２の時間間隔を極力短くし、通信エラーなどの軽微なエラーの場合には、第２の時間間隔を長くする構成としてもよい。本構成によれば、エラーの危険性、緊急性などに応じて適切な第２の時間間隔を採用することができるので、必要以上に短い間隔で通信を行うことを回避でき、通信データ量を抑制することができる。

【0045】

次に、図３に示されるＡｃｔｉｖｅ側インターロック実行工程内の詳細な処理工程について図４を用いて説明する。図４は、Ａｃｔｉｖｅ側インターロック実行工程の詳細な処理工程を示すフローチャートである。

【0046】

まず、Ａｃｔｉｖｅ側インターロック実行工程が開始されると、Ａｃｔｉｖｅ側である搬送台車３０は、Ｐａｓｓｉｖｅ側である載置ポート２０の状態を示すパケットを受信する（Ｓ２１）。次に、搬送台車３０は、内部に記憶されている載置ポートの状態を示す信号を更新する（Ｓ２２）。続いて、更新された載置ポート２０の状態を示す信号に基づいて、載置ポート２０においてエラーが発生したか否かを判定する（Ｓ２３）。処理工程Ｓ２３でエラーが発生したと判定された場合には、搬送台車３０は、インターロックシーケンスを中断する（Ｓ２６）。また、処理工程Ｓ２３でエラーが発生しなかったと判定された場合には、Ａｃｔｉｖｅ側のインターロックシーケンスを続行する（Ｓ２４）。そして、インターロックシーケンスにおいて、Ａｃｔｉｖｅ側である搬送台車３０でエラーが発生したか否かを判定する（Ｓ２５）。処理工程Ｓ２５でエラーが発生したと判定された場合には、インターロックシーケンスを中断する（Ｓ２６）。処理工程Ｓ２５でエラーが発生しなかったと判定された場合、及び、処理工程Ｓ２６においてインターロックシーケンスが中断された場合には、Ａｃｔｉｖｅ側である搬送台車３０に記憶されている搬送台車３０の状態を示す信号が更新される（Ｓ２７）。そして、更新された搬送台車３０の状態を示すパケットが、搬送台車３０から、通信デバイス１０に送信され（Ｓ２８）、Ａｃｔｉｖｅ側インターロック実行工程が終了する。

【0047】

次に、図３に示されるＰａｓｓｉｖｅ側インターロック実行工程内の詳細な処理工程について図５を用いて説明する。図５は、Ｐａｓｓｉｖｅ側インターロック実行工程の詳細な処理工程を示すフローチャートである。

【0048】

まず、Ｐａｓｓｉｖｅ側インターロック実行工程が開始されると、Ｐａｓｓｉｖｅ側である載置ポート２０は、パラレルインタフェース２１を介してＡｃｔｉｖｅ側である搬送台車３０の状態を示すパラレル信号を受信する（Ｓ３１）。次に、受信された搬送台車３０の状態を示すパラレル信号に基づいて、搬送台車３０においてエラーが発生したか否かを判定する（Ｓ３２）。処理工程Ｓ３２でエラーが発生したと判定された場合には、載置ポート２０は、インターロックシーケンスを中断する（Ｓ３５）。また、処理工程Ｓ３２でエラーが発生しなかったと判定された場合には、Ｐａｓｓｉｖｅ側のインターロックシーケンスを続行する（Ｓ３３）。そして、インターロックシーケンスにおいて、Ｐａｓｓｉｖｅ側である載置ポート２０でエラーが発生したか否かを判定する（Ｓ３４）。処理工程Ｓ３４でエラーが発生したと判定された場合には、インターロックシーケンスを中断する（Ｓ３５）。処理工程Ｓ３４でエラーが発生しなかったと判定された場合、及び、処理工程Ｓ３５においてインターロックシーケンスが中断された場合には、載置ポート２０状態を示すパラレル信号が更新されて、パラレルインタフェース２１から通信デバイス１０に送信される（Ｓ３６）。以上で、Ｐａｓｓｉｖｅ側インターロック実行工程が終了する。

【0049】

次に、図３に示されるＰａｓｓｉｖｅ信号受信工程の詳細な処理工程について図６を用いて説明する。図６は、Ｐａｓｓｉｖｅ信号受信工程の詳細な処理工程を示すフローチャートである。

【0050】

まず、Ｐａｓｓｉｖｅ信号受信工程が開始されると、通信デバイス１０において、Ｐａｓｓｉｖｅ側である載置ポート２０の状態を示すパラレル信号を受信する（Ｓ４１）。次に、受信したパラレル信号をパケットに変換する（Ｓ４２）。そして、受信したパラレル信号に基づいて、載置ポート２０においてエラーが発生したが否かを判定する（Ｓ４３）。処理工程Ｓ４３で、エラーが発生しなかったと判定された場合には、通信デバイス１０は、載置ポート２０からパラレル信号を受信した時点から第１の時間間隔が経過するまで待機する（Ｓ４４）。また、処理工程Ｓ４３で、エラーが発生したと判定された場合には、通信デバイス１０は、載置ポート２０からパラレル信号を受信した時点から第１の時間間隔より短い第２の時間間隔が経過するまで待機し（Ｓ４５）、Ｐａｓｓｉｖｅ信号受信工程が終了する。

【0051】

以上のように、本実施の形態に係る通信デバイスによれば、Ｅ８４インターロックシーケンスを実行する際、エラーが発生している場合には、搬送台車と載置ポートとの間の通信の間隔を短くできるため、エラー情報を遅滞なく伝達することができる。また、エラーが発生していない場合には、エラーが発生している場合より、搬送台車と載置ポートとの間の通信の周期を長くできるため、通信データ量を抑制することができる。

【0052】

以上、本発明の通信デバイスについて、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したものや、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本発明の範囲内に含まれる。

【0053】

例えば、図３〜５に示される処理例においては、エラーが発生している場合にインターロックシーケンスが中断されるが、エラーの種類によっては、再度インターロックシーケンスを試行する場合もあり得る。例えば、通信上のエラーだけが発生した場合には、インターロックシーケンスを中断せず、通信の再試行を行う場合もあり得る。

【0054】

また、本実施の形態においては、ＳＥＭＩ Ｅ８４規格に基づくインターロックシーケンスを実行する例を示したが、本発明は、ＳＥＭＩ Ｅ８４規格以外のインターロックシーケンスにおいても採用することができる。

【産業上の利用可能性】

【0055】

本発明は、被搬送物を載置する載置ポートと、被搬送物を搬送及び移載する搬送台車との間で通信を行う通信デバイスに利用することができる。

【符号の説明】

【0056】

１ 半導体製造システム
２ 走行ルート
１０ 通信デバイス
１１、２１ パラレルインタフェース
１２ ＬＡＮポート
１３ 制御部
１４ ネットワーク通信部
２０ 載置ポート
２２ ＬＰ制御部
３０ 搬送台車
３１ 把持部
３２ 台車制御部
３３ 台車通信部
４０ アクセスポイント
５０ 半導体製造装置
５１ ＦＯＵＰ搬入搬出口
６０ パラレルケーブル
７０ ＬＡＮケーブル
１００ ＦＯＵＰ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】