特許 6052642 物品の支持装置及び支持装置への２種類の物品の載置方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6052642

(24)【登録日】2016年12月9日

(45)【発行日】2016年12月27日

(54)【発明の名称】物品の支持装置及び支持装置への２種類の物品の載置方法

(51)【国際特許分類】

   B65G 1/14 20060101AFI20161219BHJP

   B65G 1/00 20060101ALI20161219BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20161219BHJP

   H01L 21/673 20060101ALI20161219BHJP

【ＦＩ】

   B65G1/14 B

   B65G1/00 501F

   H01L21/68 A

   H01L21/68 T

【請求項の数】7

【全頁数】7

(21)【出願番号】特願2015-538983(P2015-538983)

(86)(22)【出願日】2014年7月17日

(86)【国際出願番号】JP2014069019

(87)【国際公開番号】WO2015045583

(87)【国際公開日】20150402

【審査請求日】2016年3月3日

(31)【優先権主張番号】特願2013-201778(P2013-201778)

(32)【優先日】2013年9月27日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100086830

【弁理士】

【氏名又は名称】塩入 明

(74)【代理人】

【識別番号】100096046

【弁理士】

【氏名又は名称】塩入 みか

(72)【発明者】

【氏名】小合 玄己

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 靖久

【審査官】 八板 直人

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００５−１９７４３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−１６３０８５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−１７４０６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−２８２６７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−２９０９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｇ １／００−１／１３３；１／１４−１／２０

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の種類の物品を載置する支持装置であって、
第１の物品と、前記第１の物品よりも底部が大きい第２の物品とを、共に載置できる載置面と、
前記載置面から突き出す少なくとも一対のピンから成り、前記第１の物品の底部の孔と係合することにより、前記第１の物品の底部を位置決めし、かつ前記第２の物品を載置面上に位置決めする際に、前記第２の物品の底部に放射状に設けられている位置決め用の溝内に入って、第２の物品とは干渉しないようにされている第１の位置決め部材と、
前記載置面から突き出し、前記第２の物品を位置決めする第２の位置決め部材と、
前記第２の位置決め部材は、前記第１の位置決め部材により、前記第１の物品を載置面上に位置決めする際に、前記第１の物品と干渉しない位置に配置されていることを特徴とする、物品の支持装置。

【請求項2】

前記第２の位置決め部材は載置面から突き出す少なくとも一対のガイド部材で、前記第２の物品の底部の外周をガイドするように構成されていることを特徴とする、請求項１の物品の支持装置。

【請求項3】

前記一対のガイド部材は各々、傾斜方向が異なる一対のテーパー面を備え、かつ一対のテーパー面により前記第２の物品の底部外周の角部をガイドするように構成されていることを特徴とする、請求項２の物品の支持装置。

【請求項4】

前記第１の物品と前記第２の物品は共に半導体ウェハーを収容する容器で、前記第２の物品は、前記第１の物品に比べ、より大径の半導体ウェハーを収容するようにされていることを特徴とする、請求項３の物品の支持装置。

【請求項5】

前記第１の物品は位置決め用の溝を底部に放射状に備え、
前記第１の物品の位置決め用の溝とも、前記第２の物品の位置決め用の溝とも、非接触に、前記第１の物品の底面と前記第２の物品の底面とを位置決めするように構成されていることを特徴とする、請求項４の物品の支持装置。

【請求項6】

支持装置上に複数の種類の物品を載置する方法であって、
前記支持装置は、第１の物品と、前記第１の物品よりも底部が大きい第２の物品とを、共に載置できる載置面と、共に前記載置面から突き出す、第１の位置決め部材と、第２の位置決め部材とを備え、
前記第１の位置決め部材は載置面から突き出す少なくとも一対のピンから成り、前記第１の物品の底部の孔と係合し、かつ前記第２の物品を載置面上に位置決めする際に、前記第２の物品の底部に放射状に設けられている位置決め用の溝内に入って、第２の物品とは干渉しないようにされ、
第２の位置決め部材と第１の物品との干渉を回避しながら、第１の位置決め部材により第１の物品を位置決めして、載置面上に載置するステップと、
第１の位置決め部材と第２の物品との干渉を回避しながら、第２の位置決め部材により第２の物品を位置決めして、載置面上に載置するステップ、とを行うことを特徴とする、支持装置への２種類の物品の載置方法。

【請求項7】

前記第２の位置決め部材は載置面から突き出す少なくとも一対のガイド部材から成り、前記第２の物品の底部の外周をガイドするように構成されていることを特徴とする、請求項６の支持装置への２種類の物品の載置方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、大きさの異なる２種類の物品を、共に位置決めして支持装置上へ載置できるようにすることに関する。

【背景技術】

【0002】

大きさが異なる２種類の物品に対して、支持装置を共用できると便利なことがある。例えば大きさが異なる２種類の半導体ウェハーを扱う工場では、ウェハーに応じて２種類の容器が発生し、これらを同じ支持装置で支持できると便利である。これらの容器は、底部の３個所に断面がＶ字状の溝を備え、通常は、支持装置に設けた３本のピンと溝をカップリングさせて位置決めする。この溝を用いて容器を位置決めすると、一方の物品しか位置決めできない。このため容器に合わせて２種類の支持装置が必要になり、非効率である。

【0003】

関連する先行技術を示す。特許文献１（特開2007-287877）は、小さな物品の容器を、大きな物品の容器内に収容して搬送することにより、大小２種類の物品を搬送できる搬送システムを提案している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開2007-287877

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

この発明の課題は、大きさが異なる２種類の物品を、共に位置決めして載置できる支持装置と載置方法とを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

この発明の物品の支持装置は、複数の種類の物品を載置する支持装置であって、
第１の物品と、前記第１の物品よりも底部が大きい第２の物品とを、共に載置できる載置面と、
前記載置面から突き出し、前記第１の物品の底部を位置決めする第１の位置決め部材と、
前記載置面から突き出し、前記第２の物品を位置決めする第２の位置決め部材と、
前記第１の位置決め部材は、前記第２の位置決め部材により、前記第２の物品を載置面上に位置決めする際に、前記第２の物品と干渉しない位置に配置され、
前記第２の位置決め部材は、前記第１の位置決め部材により、前記第１の物品を載置面上に位置決めする際に、前記第１の物品と干渉しない位置に配置されていることを特徴とする。

【0007】

この発明の２種類の物品の載置方法は、
支持装置上に複数の種類の物品を載置する方法であって、
前記支持装置は、第１の物品と、前記第１の物品よりも底部が大きい第２の物品とを、共に載置できる載置面と、共に前記載置面から突き出す、第１の位置決め部材と、第２の位置決め部材とを備え、
第２の位置決め部材と第１の物品との干渉を回避しながら、第１の位置決め部材により第１の物品を位置決めして、載置面上に載置するステップと、
第１の位置決め部材と第２の物品との干渉を回避しながら、第２の位置決め部材により第２の物品を位置決めして、載置面上に載置するステップ、とを行うことを特徴とする。

【0008】

この発明の第１の位置決め部材は、第２の物品との接触を回避しながら、第１の物品を位置決めする。また第２の位置決め部材は、第１の物品との接触を回避しながら、第２の物品を位置決めする。このため１つの支持装置を第１の物品の支持と第２の物品の支持とに共用できる。第１の物品と第２の物品は、例えば共に半導体ウェハーを収容する容器で、第２の物品は、第１の物品に比べ、より大径の半導体ウェハーを収容するようにされている

【0009】

好ましくは、前記第１の位置決め部材は載置面から突き出す少なくとも一対のピンで、前記第１の物品の底部の孔と係合し、かつ前記第２の物品の底部の凹部内に入って第２の物品とは接触しないようにされている。このようにすると、第２の物品の位置決めを妨げずに、第１の物品を簡単に位置決めして載置できる。

【0010】

また好ましくは、前記第２の位置決め部材は載置面から突き出す少なくとも一対のガイド部材で、前記第２の物品の底部の外周をガイドするように構成されている。第２の物品は第１の物品よりも底部が大きいので、底部の外周をガイドするように第２の位置決め部材を設けると、第１の物品と干渉することがない。そして少なくとも一対のガイド部材でガイドすることにより、第２の物品を確実に位置決めできる。例えば一対のガイド部材は各々傾斜方向が異なる一対のテーパー面を備え、かつ一対のテーパー面により第２の物品の底部外周の角部をガイドするように構成されている。

【0011】

特に好ましくは、前記第１の位置決め部材は載置面から突き出す少なくとも一対のピンで、前記第１の物品の底部の孔と係合し、かつ前記第２の物品の底部に放射状に例えば３個設けられている位置決め用の溝内に入って、第２の物品とは接触しないようにされている。第２の物品が位置決め用の溝を備えている場合、この溝に入る位置でかつ第１の物品の底部の孔と係合するように、ピンを設けることができる。このため第２の物品と干渉せずに、確実に第１の物品を位置決めできる。特に好ましくは、前記第１の物品は位置決め用の溝を底部に放射状に例えば３個備え、支持装置は、前記第１の物品の位置決め用の溝とも、前記第２の物品の位置決め用の溝とも、非接触に、前記第１の物品の底面と前記第２の物品の底面とを位置決めするように構成されている。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】実施例の支持装置を配列した状態を表す平面図

【図2】第１の物品を支持装置上に載置している状態を、図１のII-II方向断面に沿って示す要部断面図

【図3】第２の物品を支持装置上に載置している状態を、図１のIII-III方向断面に沿って示す要部断面図

【図4】第２の物体の位置決めを示す部分平面図

【図5】実施例の支持装置を用いたストッカの平面図

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。この発明の範囲は、特許請求の範囲の記載に基づき、明細書の記載とこの分野での周知技術とを参酌し、当業者の理解に従って定められるべきである。

【実施例】

【0014】

図１〜図５に、実施例の支持装置２とそれを用いたストッカ５０とを示す。図１はストッカ内に配列された支持装置２を示し、支持装置２はストッカ５０の支柱４に取り付けられて、上下左右に配列されている。支持装置２は板状で、支柱４とは反対側の開口６と、その両側の載置面８，８、及び支柱４寄りの載置面９とを備えている。載置面８，８にはピン１０とテーパー片１２とが設けられ、支持装置２は一対のピン１０，１０と一対のテーパー片１２，１２とを備えている。なおこの明細書において、支持装置２から見て支柱４側を奧、開口６の先端側を手前と呼び、ピン１０はテーパー片１２よりも奧の位置で、かつ開口６に近接した位置にある。なおピン１０，テーパー片１２を各３個以上設けても良い。特にテーパー片１２を、支持装置２の手前側２個所の他に、奧側の２個所にも設けて、物品３０の角隅を４個所でテーパー片１２により位置決めすると、物品３０の位置決め精度が向上する。ただし実施例のように、テーパー片１２を支持装置２の手前側２個所にのみ設けても良い。

【0015】

２０は第１の物品、３０は第２の物品で、第１の物品２０（以下単に物品２０）は例えば半導体用の300mmウェハーを収容する容器で、第２の物品３０（以下単に物品３０）は例えば半導体用の450mmウェハーを収容する容器である。なお物品２０，３０の種類は任意で、物品３０が物品２０よりも底部が大きく、かつ物品２０は、テーパー片１２，１２と干渉せずに、ピン１０，１０により位置決めできれば良く、物品２０は、ピン１０，１０と干渉せずに、テーパー片１２，１２により位置決めできれば良い。２１，３１は物品２０，３０の頭部で、天井走行車等が物品２０，３０を把持するために用いる。２２，３２は扉で、物品２０，３０にウェハーを出し入れするために用いる。

【0016】

物品２０，３０は位置決め溝２４，３４を備え、本来の仕様では、溝２４，３４に支持装置側の図示しないピンをキネマチックカップリングさせて位置決めし、溝２４，３４は溝の長手方向に直角な断面がＶ字状である。しかしながら溝２４，３４により位置決めを行うと、物品２０，３０の一方しか、支持装置２上に載置できない。そこで物品２０に対しては、載置面８，８上のピン１０を、物品２０の底部に設けた孔に係合させて位置決めする。また物品３０に対しては、載置面８，８上のテーパー片１２により、物品３０の角部３６を位置決めする。

【0017】

物品２０の位置決めを図２に示す。300mmウェハー用の容器である物品２０には、フォークリフトピンと呼ばれるピンとの係合用に、孔２６を一対設けることが一般的である。そしてこの孔２６，２６と係合するように、ピン１０，１０を設ける。ピン１０を設ける位置と、物品３０を支持装置２上に載置する位置、とを選択すると、物品３０の位置決め溝３４内にピン１０が配置されて、物品３０と干渉しないようにできる。この状況を図３に示す。なお２５，３５は物品２０，３０内の棚で、Ｗ１，Ｗ２は棚２５，３０に載置されている半導体ウェハーである。

【0018】

物品３０の位置決め溝３４を、ピン１０との干渉を回避するために用いたので、物品３０の扉３２側の一対の角部３６，３６をテーパー片１２，１２で位置決めする。この状況を図４に示し、テーパー片１２は左右方向に傾斜するテーパー面１４と、手前側から奧側へ下降するテーパー面１５とを備えている。左右一対のテーパー片１２，１２で、一対の角部３６，３６をガイドすることにより、物品３０を位置決めすることができる。なお角部３６に限らず、物品３０の底部外周の任意の凹凸を、位置決めに用いることができる。

【0019】

支持装置２は、物品２０，３０を載置する任意の用途に用いることができるが、例えばストッカ５０の棚受として用いると、300mmウェハーと450mmウェハーとに共用のストッカ５０が得られる。中央の搬送スペース５１を搬送装置５２が移動して、支持装置２との間で物品を受け渡しする。また支持装置２は搬送スペース５１の両側に複数層に渡って配列されている。搬送装置５２の種類は任意であるが、例えば台車５３上にマスト５６を設けて、移載用のハンド５４の駆動装置を昇降させる。ハンド５４は物品２０，３０に対して共用としても良く、また物品２０，３０毎に専用のハンドを設けても良い。さらに物品２０，３０毎に、別の搬送装置を設けても良い。

【符号の説明】

【0020】

２ 支持装置 ４ 支柱 ６ 開口 ８，９ 載置面 １０ ピン
１２ テーパー片 １４，１５ テーパー面 ２０ 第１の物品
３０ 第２の物品 ２１，３１ 頭部 ２２，３２ 扉
２４，３４ 位置決め溝 ２５，３５ 棚 ２６ 孔
３６ 角部 ５０ ストッカ ５１ 搬送スペース
５２ 搬送装置 ５３ 台車 ５４ ハンド ５６ マスト
Ｗ１，Ｗ２ 半導体ウェハー

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】