特許 6053132 シート貼付装置およびシート貼付方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6053132

(24)【登録日】2016年12月9日

(45)【発行日】2016年12月27日

(54)【発明の名称】シート貼付装置およびシート貼付方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20161219BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 N

【請求項の数】5

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2012-268678(P2012-268678)

(22)【出願日】2012年12月7日

(65)【公開番号】特開2014-116422(P2014-116422A)

(43)【公開日】2014年6月26日

【審査請求日】2015年7月10日

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】特許業務法人樹之下知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【審査官】 儀同 孝信

(56)【参考文献】

【文献】 特開昭４９−０６４４００（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６３−１６５２７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０２−０５１２４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−１１２４９４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０７−０１４８０７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−０７４２３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭５９−１６９８１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−０７０８３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−２４９６３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−１１５２５９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−１６３０９７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

一方の面が接着面とされた接着シートを繰り出す第１繰出手段と、
前記接着シートの他方の面側から当該接着シートを支持可能な支持材を繰り出す第２繰出手段と、
前記支持材を前記接着シートの他方の面に押圧して貼付する第１押圧手段と、
前記支持材に支持された接着シートを被着体に押圧して貼付する第２押圧手段と、
前記第２押圧手段で押圧される支持材に対し、前記接着シートの繰り出し方向に交差する方向に張力を付与する幅方向張力付与手段と、
前記接着シートから前記支持材を剥離する支持材剥離手段とを備えることを特徴とするシート貼付装置。

【請求項2】

一方の面が接着面とされた接着シートの当該接着面に帯状の剥離シートが仮着された原反を繰り出す第１繰出手段と、
前記接着シートの他方の面側から当該接着シートを支持可能な支持材を繰り出す第２繰出手段と、
前記支持材を前記接着シートの他方の面に押圧して貼付する第１押圧手段と、
前記剥離シートから前記接着シートを剥離するシート剥離手段と、
前記支持材に支持された接着シートを被着体に押圧して貼付する第２押圧手段と、
前記第２押圧手段で押圧される支持材に対し、前記接着シートの繰り出し方向に交差する方向に張力を付与する幅方向張力付与手段と、
前記接着シートから前記支持材を剥離する支持材剥離手段とを備えることを特徴とするシート貼付装置。

【請求項3】

前記被着体に貼付された接着シート上の支持材を所定形状に切断する切断手段を備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。

【請求項4】

一方の面が接着面とされた接着シートを繰り出す工程と、
前記接着シートの他方の面側から当該接着シートを支持可能な支持材を繰り出す工程と、
前記支持材を前記接着シートの他方の面に押圧して貼付する工程と、
前記支持材に対し、前記接着シートの繰り出し方向に交差する方向に張力を付与しながら、前記支持材に支持された接着シートを被着体に押圧して貼付する工程と、
前記接着シートから前記支持材を剥離する工程とを備えることを特徴とするシート貼付方法。

【請求項5】

一方の面が接着面とされた接着シートの当該接着面に帯状の剥離シートが仮着された原反を繰り出す工程と、
前記接着シートの他方の面側から当該接着シートを支持可能な支持材を繰り出す工程と、
前記支持材を前記接着シートの他方の面に押圧して貼付する工程と、
前記剥離シートから前記接着シートを剥離する工程と、
前記支持材に対し、前記接着シートの繰り出し方向に交差する方向に張力を付与しながら、前記支持材に支持された接着シートを被着体に押圧して貼付する工程と、
前記接着シートから前記支持材を剥離する工程とを備えることを特徴とするシート貼付方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体製造工程において、半導体ウェハ（以下、単に「ウェハ」という場合がある）に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載のシート貼付装置は、ウェハマウント用テープ（原反）から剥離された貼着部（接着シート）をウェハに貼着する押圧ローラ手段と、接着シートに対し、当該接着シートの繰り出し方向と交差する方向（以下、単に「交差方向」という場合がある）に張力を付与するテンション付与手段とを備えている。テンション付与手段は、押圧ローラ手段の両端に設けられた２個のピン歯車と、当該２個のピン歯車の間隔を拡張する方向に付勢するスプリングとを備えている。
そして、接着シートをウェハに貼着する際には、原反の両端縁部に設けられた孔部にピン歯車の突起状物を嵌合させ、スプリングの拡張作用により交差方向にテンションを付与しながら、原反から接着シートを剥離し、当該接着シートをウェハに貼着するように構成されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平１１−７４２３１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のシート貼付装置では、当該シート貼付装置の構成に合わせ、ピン歯車用の孔部を有する原反を用いなければならず、汎用性に劣るという不都合がある。

【0005】

本発明の目的は、専用の原反を用いることなく、交差方向に張力を付与した接着シートを被着体に貼付することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、一方の面が接着面とされた接着シートを繰り出す第１繰出手段と、前記接着シートの他方の面側から当該接着シートを支持可能な支持材を繰り出す第２繰出手段と、前記支持材を前記接着シートの他方の面に押圧して貼付する第１押圧手段と、前記支持材に支持された接着シートを被着体に押圧して貼付する第２押圧手段と、前記第２押圧手段で押圧される支持材に対し、前記接着シートの繰り出し方向に交差する方向に張力を付与する幅方向張力付与手段と、前記接着シートから前記支持材を剥離する支持材剥離手段とを備える、という構成を採用している。

【0007】

また、本発明の他のシート貼付装置は、一方の面が接着面とされた接着シートの当該接着面に帯状の剥離シートが仮着された原反を繰り出す第１繰出手段と、前記接着シートの他方の面側から当該接着シートを支持可能な支持材を繰り出す第２繰出手段と、前記支持材を前記接着シートの他方の面に押圧して貼付する第１押圧手段と、前記剥離シートから前記接着シートを剥離するシート剥離手段と、前記支持材に支持された接着シートを被着体に押圧して貼付する第２押圧手段と、前記第２押圧手段で押圧される支持材に対し、前記接着シートの繰り出し方向に交差する方向に張力を付与する幅方向張力付与手段と、前記接着シートから前記支持材を剥離する支持材剥離手段とを備える、という構成を採用している。

【0008】

この際、本発明のシート貼付装置では、前記被着体に貼付された接着シート上の支持材を所定形状に切断する切断手段を備える、ことが好ましい。

【0009】

一方、本発明のシート貼付方法は、一方の面が接着面とされた接着シートを繰り出す工程と、前記接着シートの他方の面側から当該接着シートを支持可能な支持材を繰り出す工程と、前記支持材を前記接着シートの他方の面に押圧して貼付する工程と、前記支持材に対し、前記接着シートの繰り出し方向に交差する方向に張力を付与しながら、前記支持材に支持された接着シートを被着体に押圧して貼付する工程と、前記接着シートから前記支持材を剥離する工程とを備える、という構成を採用している。

【0010】

また、他のシート貼付方法は、一方の面が接着面とされた接着シートの当該接着面に帯状の剥離シートが仮着された原反を繰り出す工程と、前記接着シートの他方の面側から当該接着シートを支持可能な支持材を繰り出す工程と、前記支持材を前記接着シートの他方の面に押圧して貼付する工程と、前記剥離シートから前記接着シートを剥離する工程と、前記支持材に対し、前記接着シートの繰り出し方向に交差する方向に張力を付与しながら、前記支持材に支持された接着シートを被着体に押圧して貼付する工程と、前記接着シートから前記支持材を剥離する工程とを備える、という構成を採用している。

【発明の効果】

【0011】

以上のような本発明によれば、接着シートを支持している支持材に幅方向張力付与手段で交差方向への張力を付与しつつ、第２押圧手段で接着シートを被着体に押圧して貼付することができるので、接着シートに交差方向への張力を付与しつつ、当該接着シートを被着体に貼付することができる。これにより、専用の原反を用いることなく交差方向に張力を付与した接着シートを被着体に貼付することができる。

【0012】

この際、被着体に貼付された接着シート上の支持材を所定形状に切断するようにすれば、支持材を接着シートの保護材として使用することができ、当該支持材を有効利用することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本発明の第１実施形態に係るシート貼付装置の側面図。

【図2】第１実施形態の動作説明図。

【図3】本発明の第２実施形態に係るシート貼付装置の側面図。

【図4】第２実施形態の部分断面図。

【図5】本発明の変形例に係る部分断面図。

【発明を実施するための形態】

【0014】

［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第１、第２実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、水平面内の軸とし、Ｚ軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、第１、第２実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。

【0015】

図１、２において、シート貼付装置１は、一方の面が接着面ＡＤとされた接着シートＡＳの当該接着面ＡＤに帯状の剥離シートＲＬが仮着された原反ＲＳを繰り出す第１繰出手段２と、接着シートＡＳの他方の面側から当該接着シートＡＳを支持可能な支持材ＳＬ１を繰り出す第２繰出手段３と、支持材ＳＬ１を接着シートＡＳの他方の面に押圧して貼付する第１押圧手段４と、剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離するシート剥離手段としての剥離板５と、支持材ＳＬ１に支持された接着シートＡＳを被着体としてのウェハＷＦに押圧して貼付する第２押圧手段６と、第２押圧手段６で押圧される支持材ＳＬ１に対し、交差方向に張力を付与する幅方向張力付与手段７（図２）と、接着シートＡＳから支持材ＳＬ１を剥離する支持材剥離手段８とを備え、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段によってウェハＷＦを支持する支持面９１を備えたテーブル９２の上方においてその全体が図示しないフレームに支持されている。

【0016】

第１繰出手段２は、原反ＲＳを支持する支持ローラ２０と、支持ローラ２０から引き出された原反ＲＳを案内するガイドローラ２１と、駆動機器としての回動モータ２２によって駆動する駆動ローラ２３との間に原反ＲＳを挟み込むピンチローラ２４と、駆動機器としての回動モータ２５によって駆動する駆動ローラ２６との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２７と、図示しない駆動機器によって駆動し、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２８とを備えている。

【0017】

第２繰出手段３は、駆動機器としての回動モータ３０によって駆動し、一方の面が接着面ＳＤとされた支持材ＳＬ１を支持する支持ローラ３１と、複数のガイドローラ３２と、駆動機器としての回動モータ３３によって駆動し、支持材ＳＬ１を回収する回収ローラ３４とを備えている。なお、接着面ＳＤが接着シートＡＳに接着する接着力は、接着シートＡＳの接着面ＡＤがウェハＷＦに接着する接着力よりも弱く設定されている。

【0018】

第１押圧手段４は、駆動機器としての直動モータ４０の出力軸４１に支持されたブラケット４２に対し回転可能に支持された押圧ローラ４３と、支持材ＳＬ１および原反ＲＳを間に挟んで押圧ローラ４３と対向配置された受けローラ４４とを備えている。

【0019】

第２押圧手段６は、駆動機器としてのリニアモータ６０の第１スライダ６１に支持された駆動機器としての直動モータ６２と、直動モータ６２の出力軸６３に支持されたブラケット６４に回転可能に支持された押圧ローラ６５とを備えている。

【0020】

幅方向張力付与手段７は、駆動機器としての前後一対のリニアモータ７０の各スライダ７１にそれぞれ支持された駆動機器としての直動モータ７２と、直動モータ７２の出力軸７３に支持された下チャック７４と、直動モータ７２本体下面に支持された上チャック７５とを備えている。なお、上、下チャック７５、７４は、テーブル９２の上方に配置されており、本実施形態では、それらの左右方向の長さは、テーブル９２の左右方向の長さと同じ長さに設定されているが、それ以上でもそれ以下でもよい。

【0021】

支持材剥離手段８は、リニアモータ６０の第２スライダ６６に支持された駆動機器としての直動モータ８０の図示しない出力軸に支持されたフレーム８１と、フレーム８１に支持された駆動機器としての回動モータ８２によって駆動する剥離ローラ８３と、当該剥離ローラ８３との間に支持材ＳＬ１を挟み込むピンチローラ８４とを備えている。

【0022】

以上のシート貼付装置１において、ウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、リニアモータ６０の第１および第２スライダ６１、６６が図１中二点鎖線で示す位置で停止している状態で、オペレータが原反ＲＳおよび支持材ＳＬ１をそれぞれ図１に示すようにセットする。その後、図示しない操作パネル等を介して運転開始の信号が入力されると、第１繰出手段２が回動モータ２２、２５を駆動し、原反ＲＳを繰り出すとともに、その繰り出しに同期して、第２繰出手段３および支持材剥離手段８が回動モータ３０、３３、８２を駆動し、支持材ＳＬ１を原反ＲＳと同じ速度で繰り出す（以下、このような原反ＲＳと支持材ＳＬ１との同期繰り出しを単に「第１同期繰出」という場合がある）。このとき、第１押圧手段４が直動モータ４０を駆動し、押圧ローラ４３で支持材ＳＬ１を押圧して接着面ＳＤを接着シートＡＳに貼付する。そして、支持材ＳＬ１が貼付された接着シートＡＳが剥離板５の剥離縁から所定量繰り出されたことが図示しない検知手段に検知されると、第１、第２繰出手段２、３および支持材剥離手段８が第１同期繰出を停止しスタンバイ状態となる。
その後、図示しない搬送手段によってテーブル９２の支持面９１上にウェハＷＦが載置されると、図示しない吸引手段が駆動し、当該ウェハＷＦを吸着保持する。
そして、支持材剥離手段８が回動モータ８２の駆動を停止させた状態で、第２押圧手段６がリニアモータ６０を駆動し、第１および第２スライダ６１、６６を図１中実線で示す位置に移動させる。この移動に同期して、第１および第２繰出手段２、３が回動モータ２２、２５、３０、３３を駆動し、支持材ＳＬ１および接着シートＡＳを繰り出すことで、接着シートＡＳが支持材ＳＬ１に支持されて剥離シートＲＬから剥離される。その後、支持材ＳＬ１に支持された接着シートＡＳがウェハＷＦの直上に位置したことが図示しない検知手段に検知されると、第１、第２繰出手段２、３および第２押圧手段６が回動モータ２２、２５、３０、３３およびリニアモータ６０を停止する。このとき、第１および第２繰出手段２、３の少なくとも一方と、第２押圧手段６および支持材剥離手段８の少なくとも一方とが繰出方向張力付与手段となり、支持材ＳＬ１に対して接着シートＡＳの繰出方向（以下、単に「繰出方向」という）に所定の張力を付与し、延いては、接着シートＡＳに張力を付与するように、回動モータ２２、２５、３０、３３、８２、リニアモータ６０の内１または複数のトルクを制御する。

【0023】

次いで、図２（Ａ）の状態から、幅方向張力付与手段７が各リニアモータ７０および直動モータ７２を駆動し、図２（Ｂ）に示すように、上、下チャック７５、７４で支持材ＳＬ１の前後端部を挟持した後、図２（Ｃ）に示すように、各スライダ７１を互いに離れる方向に移動する。このとき、幅方向張力付与手段７は、繰出方向張力付与手段が支持材ＳＬ１に対して付与している張力と略等しい張力となるように、当該支持材ＳＬ１に対して交差方向に所定の張力を付与し、延いては、接着シートＡＳに張力を付与するように、各リニアモータ７０のトルクを制御する。
そして、第２押圧手段６が直動モータ６２およびリニアモータ６０を駆動し、押圧ローラ６５を下降させた後、第１スライダ６１を図１中二点鎖線で示す位置に移動させることで、支持材ＳＬ１を介して接着シートＡＳを押圧してウェハＷＦに貼付する。これにより、接着シートＡＳは、繰出方向（左右方向）および交差方向（前後方向）にそれぞれ略等しい張力が付与された状態でウェハＷＦに貼付されることとなる。

【0024】

次いで、幅方向張力付与手段７が直動モータ７２およびリニアモータ７０を駆動し、上、下チャック７５、７４での支持材ＳＬ１の挟持を解除した後、各スライダ７１を互いに離れる方向に移動する。その後、支持材剥離手段８が直動モータ８０および回動モータ８２を駆動し、フレーム８１を下降させた後、剥離ローラ８３を回転させると同時に、第２押圧手段６がリニアモータ６０を駆動し、第２スライダ６６を図１中二点鎖線で示す位置に移動させる。これにより、支持材ＳＬ１が接着シートＡＳから剥離される。その後、支持材剥離手段８が回動モータ８２を停止した後、直動モータ８０を駆動し、フレーム８１を上昇させ、第２押圧手段６が直動モータ６２を駆動し、押圧ローラ６５を上昇させる。
次いで、図示しない吸引手段が停止し、ウェハＷＦの吸着保持を解除した後、接着シートＡＳが貼付されたウェハＷＦは、図示しない搬送手段等によって次工程へ搬送され、以降上述と同様の動作が繰り返される。

【0025】

以上のような第１実施形態によれば、専用の原反ＲＳを用いることなく交差方向に張力を付与した接着シートＡＳをウェハＷＦに貼付することができる。

【0026】

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
なお、第１実施形態と同様の構成および動作については、詳細な説明を省略する。
図３、４に示すように、第２実施形態のシート貼付装置１Ａは、第１実施形態のシート貼付装置１に対し、第２押圧手段６、幅方向張力付与手段７、支持材剥離手段８の代わりに第２押圧手段６Ａ、幅方向張力付与手段７Ａ（図４）、支持材剥離手段８Ａを設け、リニアモータ９４Ａのスライダ９３Ａに支持されたテーブル９２の上方に配置されている点が相違する。また、第２実施形態の支持材ＳＬ２は、第１実施形態の支持材ＳＬ１の幅方向の両端部に所定間隔で円形の孔ＳＨ２（図４）を設けた点が相違する。なお、第２繰出手段３のガイドローラ３２は、単数となっている。

【0027】

第２押圧手段６Ａは、図示しないフレームに支持されたブラケット６４に押圧ローラ６５が回転可能に支持されている。

【0028】

幅方向張力付与手段７Ａは、押圧ローラ６５の前後両端に設けられ、当該押圧ローラ６５の回転軸を中心に回転可能に設けられた一対のピン歯車７０Ａを備えている。ピン歯車７０Ａは、押圧ローラ６５と略等しい直径を有する円盤状の本体部７１Ａと、当該本体部７１Ａの外周面において孔ＳＨ２における繰出方向の間隔と略等しい間隔で設けられた複数のピン７２Ａとを備えている。ピン７２Ａは、本体部７１Ａから突出し孔ＳＨ２に挿抜可能な外径を有する円柱状の円柱部７３Ａと、当該円柱部７３Ａの先端に設けられた円錐状の円錐部７４Ａとを備えている。円柱部７３Ａにおける交差方向の外側間隔ＤＡ１は、図４（Ｂ）に示すように、交差方向に張力が付与されていない支持材ＳＬ２における孔ＳＨ２の外側間隔ＤＢよりも長く設定されている。これにより、前後両側の孔ＳＨ２が各円柱部７３Ａに挿入されたときに、支持材ＳＬ２は、それらの外側間隔の差によって交差方向への張力が付与され、延いては、接着シートＡＳに張力が付与されるようになっている。

【0029】

支持材剥離手段８Ａは、回動モータ８２によって駆動する剥離ローラ８３と、剥離ローラ８３との間に支持材ＳＬ２を挟み込むピンチローラ８４とを備えている。

【0030】

以上のシート貼付装置１Ａにおいて、ウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、オペレータが原反ＲＳおよび支持材ＳＬ２をそれぞれ図３に示すようにセットする。このとき、ピン歯車７０Ａのピン７２Ａに支持材ＳＬ２の孔ＳＨ２が挿通されることで、支持材ＳＬ２に交差方向への張力を付与することとなる。その後、図示しない操作パネル等を介して運転開始の信号が入力されると、第１繰出手段２が回動モータ２２、２５を駆動し、原反ＲＳを繰り出すとともに、その繰り出しに同期して、第２繰出手段３および支持材剥離手段８Ａが回動モータ３０、３３、８２を駆動し、支持材ＳＬ２を原反ＲＳと同じ速度で繰り出す（以下、このような原反ＲＳと支持材ＳＬ２との同期繰り出しを単に「第２同期繰出」という場合がある）。このとき、第１押圧手段４が直動モータ４０を駆動し、押圧ローラ４３で支持材ＳＬ２を押圧して接着面ＳＤを接着シートＡＳに貼付する。そして、支持材ＳＬ２が貼付された接着シートＡＳが剥離板５の剥離縁から所定量繰り出されたことが図示しない検知手段に検知されると、第１、第２繰出手段２、３および支持材剥離手段８Ａが第２同期繰出を停止してスタンバイ状態となる。

【0031】

その後、図示しない吸引手段でウェハＷＦを支持したテーブル９２が図３右側の二点鎖線で示す位置から左方向に搬送され、当該ウェハＷＦが所定位置に達したことが図示しない検知手段に検知されると、第１、第２繰出手段２、３および支持材剥離手段８Ａが第２同期繰出を開始する。これにより、接着シートＡＳが支持材ＳＬ２に支持されて剥離シートＲＬから剥離されるとともに、押圧ローラ６５が支持材ＳＬ２を介して接着シートＡＳをウェハＷＦに押圧して貼付する。このとき、第１および第２繰出手段２、３の少なくとも一方と、支持材剥離手段８Ａとが繰出方向張力付与手段となり、支持材ＳＬ２に対して接着シートＡＳの繰出方向に所定の張力を付与し、延いては、接着シートＡＳに張力を付与するように、回動モータ２２、２５、３０、３３、８２の内１または複数のトルクを制御する。つまり、繰出方向張力付与手段が接着シートＡＳに付与する繰出方向の張力は、ピン歯車７０Ａにおける円柱部７３Ａの外側間隔ＤＡ１と、孔ＳＨ２における外側間隔ＤＢとの差によって接着シートＡＳに付与される交差方向への張力と略同じ張力となるように設定されている。これとは逆に、ピン歯車７０Ａにおける円柱部７３Ａの外側間隔ＤＡ１と、孔ＳＨ２における外側間隔ＤＢとの差によって接着シートＡＳに付与される交差方向への張力が、繰出方向張力付与手段が接着シートＡＳに付与する繰出方向の張力と略同じ張力となるように、ピン７２Ａ間隔が設定されている。

【0032】

その後、テーブル９２が左方へ移動すると、接着シートＡＳに貼付されている支持材ＳＬ２が剥離ローラ８３によって剥離され、接着シートＡＳ全面が剥離ローラ８３の下方を通過した時点でウェハＷＦへの接着シートＡＳの貼付が完了する。なお、接着シートＡＳの貼付が完了した後も、第１、第２繰出手段２、３および支持材剥離手段８Ａが第２同期繰出を継続し、次の接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離され、当該次の接着シートＡＳが所定長さ繰り出されたことが図示しない検知手段によって検知された時点で、第２同期繰出を停止し、再びスタンバイ状態となる。その後、テーブル９２は、図３中二点鎖線で示す位置で停止し、接着シートＡＳが貼付されたウェハＷＦは、図示しない搬送手段等によって次工程へ搬送される。そして、テーブル９２が図３右側の二点鎖線で示す位置に復帰し、以降上述と同様の動作が繰り返される。

【0033】

以上のような第２実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果を奏することができる。

【0034】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

【0035】

例えば、図１、３中二点鎖線で示すように、駆動機器としての直動モータ１１Ｂの出力軸１２Ｂに支持された駆動機器としての回動モータ１３Ｂと、回動モータ１３Ｂの出力軸１４Ｂに支持されたブラケット１５Ｂの先端から下方に延びる切断刃１６Ｂとを備え、ウェハＷＦに貼付された接着シートＡＳ上の支持材ＳＬ１、ＳＬ２を所定形状に切断する切断手段１０Ｂをシート貼付装置１、１Ａに設けてもよい。なお、シート貼付装置１Ａの場合、支持材剥離手段８Ａは二点鎖線で示す位置に変更するとよい。このような構成にすれば、接着シートＡＳ上で切断された支持材ＳＬ１、ＳＬ２部分を接着シートＡＳの保護シートとして利用することができる。
また、図１、３中二点鎖線で示すように、第２繰出手段３の代わりに、駆動機器としての回動モータ３０Ｃ、３１Ｃによって駆動する駆動ローラ３２Ｃ、３３Ｃとの間に支持材ＳＬ１、ＳＬ２を挟み込むピンチローラ３４Ｃ、３５Ｃと、複数または単数のガイドローラ３２とを備えた第２繰出手段３Ｃを設け、無端の支持材ＳＬ３を回行させる構成としてもよい。

【0036】

また、図４におけるピン７２Ａの代わりに、図５に示すピン７２Ｄとしてもよく、ピン７２Ｄは、本体部７１Ａから突出し孔ＳＨ２に挿抜可能な外径を有する円柱状の円柱部７３Ｄと、当該円柱部７３Ｄを斜めに切断した傾斜部７４Ｄとを備えている。このような構成にすることで、図４（Ｂ）で示す各円錐部７４Ａの頂点７５Ａ間隔よりも各傾斜部７４Ｄの頂点７５Ｄの間隔を大きくすることができるので、円柱部７３Ｄにおける交差方向の外側間隔ＤＡ２を大きくし、支持材ＳＬ２に対する交差方向への張力を図４で示す張力よりも大きくすることができる。

【0037】

また、第１、第２実施形態の第１繰出手段２の代わりに、剥離シートＲＬが仮着されていない枚葉の接着シートＡＳを繰り出す第１繰出手段を設けてもよい。
また、幅方向張力付与手段が支持材に張力を付与する方向は、繰出方向と交差する方向であればＹ軸に対して傾斜する方向であってもよい。
さらに、幅方向張力付与手段が支持材に張力を付与する方向は、１方向だけでなく、複数の方向であってよい。この場合、例えば、第１実施形態の幅方向張力付与手段７を、張力を付与する方向をずらして複数配置すればよい。
さらに、第１実施形態において、幅方向張力付与手段７の代わりに、押圧ローラ６５と同軸で回転可能なピン歯車７０Ａを有する幅方向張力付与手段７Ａを設けるとともに、支持材ＳＬ１の代わりに支持材ＳＬ２を用い、直動モータ６２およびリニアモータ６０の駆動によって、ピン歯車７０Ａのピン７２Ａを支持材ＳＬ２の孔ＳＨ２に嵌合させて支持材ＳＬ２に張力を付与するとともに、右方向に移動する押圧ローラ６５によって接着シートＡＳを支持材ＳＬ２上から押圧してウェハＷＦに貼付してもよい。
さらに、第２実施形態において、孔ＳＨ２の形状としては、円形に限らず、多角形、楕円形であってもよく、ピン７２Ａ、７２Ｄの形状としては、孔ＳＨ２に挿抜可能な形状であれば、いかなる形状であってもよい。
また、第２実施形態において、ピン歯車７０Ａ、７０Ｄは、押圧ローラ６５とは異なるブラケットで回転可能に支持されていてもよい。
さらに、第２実施形態における剥離ローラ８３に、ピン歯車７０Ａ、７０Ｄと同等のピン７２Ａ、７２Ｄを設けてもよい。
さらに、繰出方向張力付与手段が支持材ＳＬ１、ＳＬ２に付与する張力と、幅方向張力付与手段７、７Ａが支持材ＳＬ１、ＳＬ２に付与する張力とは、同じであってもよいし、同じでなくてもよい。

【0038】

また、本発明における接着シートＡＳ、支持材ＳＬ１、ＳＬ２および被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳおよび支持材ＳＬ１、ＳＬ２は、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはなく、感熱接着性のものが採用された場合は、当該接着シートＡＳおよび支持材ＳＬ１、ＳＬ２を加熱する適宜な加熱手段を設ければよい。また、このような接着シートＡＳおよび支持材ＳＬ１、ＳＬ２は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等の半導体ウェハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付するができる。
さらに、支持材ＳＬ１、ＳＬ２は、濡れ性や静電気等で接着シートＡＳを支持する樹脂やエラストマ等で構成してもよい。

【0039】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

【符号の説明】

【0040】

１、１Ａ…シート貼付装置
２…第１繰出手段
３、３Ｃ…第２繰出手段
４…第１押圧手段
５…剥離板（シート剥離手段）
６、６Ａ…第２押圧手段
７、７Ａ…幅方向張力付与手段
８、８Ａ…支持材剥離手段
１０Ｂ…切断手段
ＡＤ…接着面
ＡＳ…接着シート
ＲＬ…剥離シート
ＲＳ…原反
ＳＬ１、ＳＬ２、ＳＬ３…支持材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】