特許6053457IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

セパレータ付きダイシング・ダイボンドフィルム

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

セパレータには一般的にダイシング・ダイボンドフィルムの剥離性を高めるために離型剤等による離型処理が施されている。しかしながら、ダイシング・ダイボンドフィルムのセパレータからの剥離の際に、セパレータとダイボンドフィルムとの間での剥離がうまく進行せず、ダイボンドフィルムはセパレータ上に残ったままで、ダイシングフィルムのみが剥離されることがある。 本発明は前記問題点に鑑みなされたものであり、セパレータからのダイシング・ダイボンドフィルムの剥離が容易なセパレータ付きダイシング・ダイボンドフィルムを提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本願発明者らは、前記問題点を解決すべく検討した結果、下記の構成を採用することにより、前記問題点を解決可能であることを見出し、本発明を完成させるに至った。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1A】本発明の一セパレータ付きダイシング・ダイボンドフィルムを示す断面模式図である。

【図1B】図1Aに示したセパレータ付きダイシング・ダイボンドフィルムのダイボンドフィルムを示す透視平面図である。

【図2】本発明の一ダイボンドフィルムの延出片を示す一部拡大平面図である。

【図3】本発明の一セパレータ付きダイシング・ダイボンドフィルムを用いる半導体装置の製造工程の一工程を示す断面模式図である。

【図4】図1Aに示したセパレータ付きダイシング・ダイボンドフィルムにおけるダイボンドフィルムを介して半導体チップを実装した例を示す断面模式図である。

【図5A】本発明の他のダイボンドフィルムの一部を示す拡大平面図である。

【図5B】本発明の他のセパレータ付きダイシング・ダイボンドフィルムのダイボンドフィルムを示す透視平面図である。

【図6A】本発明の別のダイボンドフィルムの延出片を示す一部拡大平面図である。

【図6B】本発明の別のダイボンドフィルムの延出片を示す一部拡大平面図である。

【図6C】本発明の別のダイボンドフィルムの延出片を示す一部拡大平面図である。

【図6D】本発明の別のダイボンドフィルムの延出片を示す一部拡大平面図である。

【図6E】本発明の別のダイボンドフィルムの延出片を示す一部拡大平面図である。

【図6F】本発明の別のダイボンドフィルムの延出片を示す一部拡大平面図である。

【図6G】本発明の別のダイボンドフィルムの延出片を示す一部拡大平面図である。

【図6H】本発明の別のダイボンドフィルムの延出片を示す一部拡大平面図である。

【図6I】本発明の別のダイボンドフィルムの延出片を示す一部拡大平面図である。

【図6J】本発明の別のダイボンドフィルムの延出片を示す一部拡大平面図である。

【図6K】本発明の別のダイボンドフィルムの延出片を示す一部拡大平面図である。

【図6L】本発明の別のダイボンドフィルムの延出片を示す一部拡大平面図である。

【図6M】本発明の別のダイボンドフィルムの延出片を示す一部拡大平面図である。

1 基材   2 粘着剤層   3 ダイボンドフィルム   3a、33a〜33l 延出片   3A 延出部   4 半導体ウェハ   5 半導体チップ   6 被着体   7 ボンディングワイヤー   8 封止樹脂   10 セパレータ付きダイシング・ダイボンドフィルム   11 ダイシングフィルム   12 ダイシング・ダイボンドフィルム   14 セパレータ  

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