特許6054385荷電粒子ビームリソグラフィを用いてパターンを形成するための方法およびシステム

発明の名称　荷電粒子ビームリソグラフィを用いてパターンを形成するための方法およびシステム

出願人　ディー・ツー・エス・インコーポレイテッド　（識別番号 509142184）

　　　　特許公開件数ランキング 2471 位（7件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3250 位（4件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6054385

公報発行日　2016年12月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6054385

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6054385「荷電粒子ビームリソグラフィを用いてパターンを形成するための方法およびシステム」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録