特許 6058300 吸着ノズル、吸着装置及び機器製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6058300

(24)【登録日】2016年12月16日

(45)【発行日】2017年1月11日

(54)【発明の名称】吸着ノズル、吸着装置及び機器製造方法

(51)【国際特許分類】

   B25J 15/06 20060101AFI20161226BHJP

【ＦＩ】

   B25J15/06 E

【請求項の数】5

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2012-145893(P2012-145893)

(22)【出願日】2012年6月28日

(65)【公開番号】特開2014-8564(P2014-8564A)

(43)【公開日】2014年1月20日

【審査請求日】2015年2月19日

(73)【特許権者】

【識別番号】000104722

【氏名又は名称】京セラクリスタルデバイス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100094053

【弁理士】

【氏名又は名称】佐藤 隆久

(74)【代理人】

【識別番号】100135828

【弁理士】

【氏名又は名称】飯島 康弘

(74)【代理人】

【識別番号】100157989

【弁理士】

【氏名又は名称】葛谷 稔

(72)【発明者】

【氏名】小関 友幸

(72)【発明者】

【氏名】橋本 明史

【審査官】 藤島 孝太郎

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０６−１７０６２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭４９−１０００６９（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開平０８−１７４４６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０６−０９９３８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−２５４３６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−１１４８６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００５／０２２６７１１（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２５Ｊ １／００−２１／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ノズル本体と、
前記ノズル本体内に設けられた弁体と、
を有し、
前記ノズル本体の内面は、当該ノズル本体の先端側ほど縮径するテーパー面を含み、
前記弁体は、
前記ノズル本体の先端側ほど縮径する円錐面を有し、前記円錐面が前記テーパー面と隙間を挟んで対向する開位置と、前記円錐面が前記テーパー面に当接する閉位置との間で移動可能であり、
前記ノズル本体の根元側への移動が規制される前記開位置から前記閉位置の手前までの範囲に位置しているとき、前記円錐面と前記テーパー面との隙間を遊びとして前記ノズル本体の径方向に移動可能であり、
前記テーパー面は、前記開位置に位置しているときの前記弁体の後端と、前記ノズル本体の軸方向において同じ位置まで、前記ノズル本体の根元側へ延びている
吸着ノズル。

【請求項2】

前記ノズル本体の内面は、前記テーパー面から前記ノズル本体の根元側へ一定の内径で延び、かつ前記テーパー面の後端における内径と同一の内径の部分を有している
請求項１に記載の吸着ノズル。

【請求項3】

前記ノズル本体に対して当該ノズル本体の根元側から挿入された筒状のノズルシャフトを更に有し、
前記ノズルシャフトの先端は、前記テーパー面に対して前記ノズル本体の根元側に位置し、
前記弁体は、前記開位置において前記ノズルシャフトの先端に当接することにより前記ノズル本体の根元側への移動が規制され、
前記弁体の表面のうち前記ノズル本体の根元側の端面のみに、前記弁体が前記開位置にあるときに、前記円錐面と前記テーパー面との間の隙間と、前記ノズルシャフトの内部とを連通する、前記円錐面に到達するまで延びている溝が形成されている
請求項１又は２に記載の吸着ノズル。

【請求項4】

請求項１〜３のいずれか１項に記載の吸着ノズルと、
気体を吸引する吸引装置と、
気体を送出する送出装置と、
前記吸着ノズルに対して前記吸引装置又は前記送出装置を選択的に接続する切換装置と、
を有している吸着装置。

【請求項5】

請求項１〜３のいずれか１項に記載の吸着ノズルを介して気体を吸引することにより第１の部品を前記吸着ノズルに吸着させる吸着工程と、
前記第１の部品を吸着している前記吸着ノズルを移動させて前記第１の部品を第２の部品に対して位置決めする搬送工程と、
前記第１の部品を前記第２の部品に対して位置決めしている前記吸着ノズルを介して気体を送出することにより前記第１の部品を前記吸着ノズルから離脱させる離脱工程と、
を有している機器製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、真空吸着により部品を保持する吸着ノズル、当該吸着ノズルを有する吸着装置、及び、前記吸着ノズルを利用する機器製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

真空吸着により部品を保持する吸着ノズルが知られている。特許文献１の吸着ノズルでは、ノズル内に設けられ、部品吸着時の負圧により開かれ、部品離脱時の正圧により閉じられる弁が設けられている。特許文献１の技術では、このような弁が設けられることにより、部品離脱時のエアブローにより部品が吹き飛ばされることが抑制されるなどの効果が奏されるとしている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００８−２３８３５５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１では、弁は、ノズルの流路に直交する回転軸回りに回転可能に一端が支持された平板状（いわゆるスイングチャッキバルブに類似した弁）とされている。しかし、このような弁は、構成が複雑であり、吸着ノズルのコスト増大を招く。特に、吸着ノズルが精密部品を吸着保持するための比較的微小なものである場合（例えばノズル内径が１ｍｍオーダーの場合）、そのような構成が複雑な弁を吸着ノズル内に設けることは困難であり、コスト増大を招く。

【0005】

従って、流路を開閉できる、簡素な構成の吸着ノズル、当該吸着ノズルを有する吸着装置及び当該吸着ノズルを利用した機器製造方法が提供されることが望まれる。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一態様に係るノズル本体と、前記ノズル本体内に設けられた弁体と、を有し、前記ノズル本体の内面は、当該ノズル本体の先端側ほど縮径するテーパー面を含み、前記弁体は、前記ノズル本体の先端側ほど縮径する円錐面を有し、前記円錐面が前記テーパー面と隙間を挟んで対向する開位置と、前記円錐面が前記テーパー面に当接する閉位置との間で移動可能である。

【0007】

好適には、前記吸着ノズルは、前記ノズル本体に対して当該ノズル本体の根元側から挿入された筒状のノズルシャフトを更に有し、前記ノズルシャフトの先端は、前記テーパー面に対して前記ノズル本体の根元側に位置し、前記弁体は、開位置において前記ノズルシャフトの先端に当接することにより前記ノズル本体の根元側への移動が規制される。

【0008】

好適には、前記弁体の、前記ノズル本体の根元側の端面には、前記弁体が前記開位置にあるときに、前記円錐面と前記テーパー面との間の隙間と、前記ノズルシャフトの内部とを連通する溝が形成されており、前記溝は、前記端面の平面視において十字に延びている。

【0009】

好適には、前記テーパー面のテーパー角と前記円錐面のテーパー角とが同一である。

【0010】

好適には、前記弁体は、前記ノズル本体の材料と同一材料により形成されている。

【0011】

本発明の一態様に係る吸着装置は、吸着ノズルと、気体を吸引する吸引装置と、気体を送出する送出装置と、前記吸着ノズルに対して前記吸引装置又は前記送出装置を選択的に接続する切換装置と、を有し、前記吸着ノズルは、ノズル本体と、前記ノズル本体内に設けられた弁体と、を有し、前記ノズル本体の内面は、当該ノズル本体の先端側ほど縮径するテーパー面を含み、前記弁体は、前記ノズル本体の先端側ほど縮径する円錐面を有し、前記吸引装置により前記ノズル本体から気体を吸引することにより、前記弁体は、前記円錐面が前記テーパー面と隙間を挟んで対向する開位置へ移動し、前記送出装置により前記ノズル本体へ気体を送出することにより、前記弁体は、前記円錐面を前記テーパー面に当接させる閉位置へ移動する。

【0012】

本発明の一態様に係る機器製造方法は、吸着ノズルを介して気体を吸引することにより第１の部品を前記吸着ノズルに吸着させる吸着工程と、前記第１の部品を吸着している前記吸着ノズルを移動させて前記第１の部品を第２の部品に対して位置決めする搬送工程と、前記第１の部品を前記第２の部品に対して位置決めしている前記吸着ノズルを介して気体を送出することにより前記第１の部品を前記吸着ノズルから離脱させる離脱工程と、を有し、前記吸着ノズルは、ノズル本体と、前記ノズル本体内に設けられた弁体と、を有し、前記ノズル本体の内面は、当該ノズル本体の先端側ほど縮径するテーパー面を含み、前記弁体は、前記ノズル本体の先端側ほど縮径する円錐面を有し、前記吸着工程では、前記ノズル本体から気体を吸引することにより、前記円錐面が前記テーパー面と隙間を挟んで対向する開位置へ前記弁体を移動させ、前記離脱工程では、前記ノズル本体へ気体を送出することにより、前記円錐面が前記テーパー面に当接する閉位置へ前記弁体を移動させる。

【発明の効果】

【0013】

上記の構成及び手順によれば、簡素な構成で吸着ノズルの流路を開閉できる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】図１は本発明の実施形態に係る部品実装装置の要部を示す模式図である。

【図2】図２（ａ）及び図２（ｂ）は図１の部品実装装置の吸着ノズルを示す断面図であり、図２（ｃ）はその吸着ノズルの弁体の平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

図１は、本発明の実施形態に係る部品実装装置１の要部を示す模式図である。

【0016】

部品実装装置１は、例えば、水晶発振器１０１（若しくは水晶振動子）を組み立てる装置として構成されている。

【0017】

水晶発振器１０１は、例えば、容器１０３と、容器１０３の段差部に配置される導電性接着剤１０５と、導電性接着剤１０５により容器１０３に接合される水晶片１０７と、容器１０３に被せられる不図示の蓋部等を有している。部品実装装置１は、少なくとも、水晶片１０７を搬送して容器１０３に対して位置決めする役割を担う。水晶片１０７の重さは、例えば、０．０３ｇ以下である。

【0018】

部品実装装置１は、例えば、水晶片１０７を真空吸着により保持する吸着ノズル３と、吸着ノズル３から気体（例えば空気）を吸引する吸引装置５と、吸着ノズル３へ気体を送出する送出装置７と、吸着ノズル３に対して吸引装置５又は送出装置７を選択的に接続する切換装置９と、吸着ノズル３を搬送する搬送装置１１と、これらの装置の制御を行う制御装置１３とを有している。

【0019】

吸引装置５は、例えば、真空ポンプを含んで構成されている。吸引装置５は、真空ポンプにより減圧され、吸着ノズル３に接続される真空タンクを含んでいてもよい。送出装置７は、例えば、ポンプ若しくはファンを含んで構成されている。送出装置７は、ポンプ等により送出される圧縮気体を収容するアキュムレータを含んでいてもよい。切換装置９は、例えば、適宜な制御弁を含んで構成されている。搬送装置１１は、例えば、直交ロボット等のロボットにより構成されている。制御装置１３は、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ及び外部記憶装置を有するコンピュータにより構成されている。

【0020】

部品実装装置１の水晶片１０７の容器１０３への位置決め動作の概要は、以下のとおりである。

【0021】

まず、部品実装装置１は、搬送装置１１により吸着ノズル３を適宜な供給部に載置された水晶片１０７上へ移動させる。次に、部品実装装置１は、切換装置９により吸着ノズル３と吸引装置５とを接続し、吸引装置５により吸着ノズル３から気体を吸引する。これにより、吸着ノズル３と水晶片１０７との間に負圧が生じ、水晶片１０７は、吸着ノズル３に吸着される。なお、吸着圧は、例えば、５０ｋＰａ〜８０ｋＰａである。

【0022】

次に、部品実装装置１は、吸引装置５による吸引（吸着ノズル３による水晶片１０７の保持）を継続しつつ、搬送装置１１により水晶片１０７を容器１０３に対して位置決めする。

【0023】

そして、部品実装装置１は、切換装置９により吸着ノズル３と送出装置７とを接続し、送出装置７により吸着ノズル３へ気体を送出する。これにより、単に吸引装置５による吸着ノズル３からの吸引を停止する場合に比較して、吸着ノズル３と水晶片１０７との間の負圧が迅速且つ確実に解消され、水晶片１０７は、吸着ノズル３から離脱する。

【0024】

図２（ａ）及び図２（ｂ）は吸着ノズル３を示す断面図である。図２（ａ）は、水晶片１０７を吸着しているときの状態を示し、図２（ｂ）は、水晶片１０７を吸着していないときの状態を示している。

【0025】

吸着ノズル３は、吸着ノズル３の根元側部分を構成するノズルシャフト２１と、吸着ノズル３の先端側部分を構成するノズル本体２３と、吸着ノズル３の流路を開閉する弁体２５とを有している。

【0026】

吸着ノズル３が、一の筒状部材ではなく、２つの筒状部材（ノズルシャフト２１及びノズル本体２３）を有しているのは、吸着ノズル３の先端を交換可能とするためである。例えば、吸着ノズル３の先端が水晶片１０７との接触により摩耗したときには、ノズル本体２３は交換される。ノズルシャフト２１とノズル本体２３とは、例えば、不図示のビスにより互いに固定されている。

【0027】

ノズルシャフト２１の形状は、例えば、円筒状である。ノズルシャフト２１の外径Ｄ１は、例えば、６ｍｍ程度であり、内径Ｄ２は、例えば、２ｍｍ程度である。ノズルシャフト２１の材料は、例えば、ステンレス鋼等の金属である。

【0028】

ノズル本体２３は、例えば、根元側に位置する大径部２３ａと、先端側に位置する小径部２３ｃと、これらの間に位置する縮径部２３ｂとを有している。大径部２３ａ、縮径部２３ｂ及び小径部２３ｃは、例えば、ステンレス鋼等の金属により一体的に形成されている。

【0029】

大径部２３ａは、ノズルシャフト２１が挿入（嵌合）される部分である。従って、大径部２３ａの内周面の形状は、ノズルシャフト２１の外周面の形状と同様とされており、その内径はノズルシャフト２１の外径Ｄ１と概ね同一とされている（以下、ノズルシャフト２１の外径Ｄ１を「大径部２３ａの内径Ｄ１」ということがある。）。

【0030】

小径部２３ｃは、水晶片１０７に当接する部分である。従って、その形状及び大きさは、水晶片１０７の吸着に好適なものとされている。例えば、小径部２３ｃは、概ね円筒状に形成されており、その内径Ｄ３は、２ｍｍ程度である。

【0031】

小径部２３ｃの内径Ｄ３は、大径部２３ａの内径Ｄ１（ノズルシャフト２１の外径Ｄ１）よりも小さく設定されている。従って、例えば、小径部２３ｃの内径Ｄ３をノズルシャフト２１の内径Ｄ２と同等若しくはそれ未満として、ノズルシャフト２１と小径部２３ｃとの間の流れを好適化できる。ただし、内径Ｄ３は、内径Ｄ２よりも大きくてもよい。

【0032】

縮径部２３ｂは、大径部２３ａの内周面から小径部２３ｃの内周面へ連続するテーパー面２３ｂｔを有している。テーパー面２３ｂｔのテーパー角θ１は、例えば、６０°以上９０°以下である。

【0033】

テーパー面２３ｂｔは、一般的なドリルによりノズル本体２３の流路（孔）を形成するときに略必然的に形成されるものである。具体的には、以下のとおりである。大径部２３ａの孔は、その内径Ｄ１と概ね同等の直径のドリルにより、ノズル本体２３をその根元側から中途まで切削することにより形成される。ここで、一般的なドリルの先端は、所定の先端角で縮径するように形成されている。従って、大径部２３ａを切削するドリルの先端により、ドリルの先端角と概ね同等のテーパー角θ１のテーパー面２３ｂｔ（縮径部２３ｂの孔）が形成される。なお、小径部２３ｃの孔は、その内径Ｄ３と概ね同等の直径のドリルにより、ノズル本体２３をその根元側若しくは先端側から切削することにより形成される。

【0034】

ノズルシャフト２１は、ノズル本体２３に挿入されているから、ノズルシャフト２１の内周面と、ノズル本体２３の内周面との間には、ノズルシャフト２１の先端により、ノズルシャフト２１の厚みで段差が形成されている。ノズルシャフト２１の先端は、例えば、大径部２３ａの内周面とテーパー面２３ｂｔとの境界に位置している。ただし、ノズルシャフト２１の先端は、上記の境界よりも根元側に位置していてもよい。

【0035】

ノズル本体２３は、例えば、その先端から根元まで一定の厚みで形成されており、外周面の形状と、内周面の形状とは相似形である。ただし、外周面の形状は、内周面の形状と相似形とされる必要は無く、適宜な形状とされてよい。

【0036】

図２（ｃ）は、弁体２５を吸着ノズル３の根元側から見た平面図である。

【0037】

図２（ａ）〜図２（ｃ）に示すように、弁体２５は、円錐状に形成され、ノズル本体２３の内部（より具体的には縮径部２３ｂ付近）において、円錐の先端をノズル本体２３の先端に向けるよう配置されている。

【0038】

弁体２５は、ノズル本体２３において縮径部２３ｂ付近に形成されている内部空間よりも一回り小さく形成されている。従って、弁体２５は、図２（ａ）に示す開位置と、図２（ｂ）に示す閉位置との間で移動可能である。

【0039】

弁体２５の端面２５ｃの直径（弁体２５の最大幅）は、ノズルシャフト２１の外径Ｄ１よりも小さく、且つ、ノズルシャフト２１の内径Ｄ２及び小径部２３ｃの内径Ｄ３よりも大きく設定されている。

【0040】

従って、弁体２５は、図２（ａ）に示すように、その端面２５ｃがノズルシャフト２１の先端に当接することにより、吸着ノズル３の根元側への移動が規制される。また、図２（ｂ）に示すように、その円錐面２５ａがテーパー面２３ｂｔに当接することにより、吸着ノズル３の先端側への移動が規制される。

【0041】

弁体２５の端面２５ｃには、ノズルシャフト２１の内周面よりも内側の位置から端面２５ｃの縁部まで延びる溝２５ｓが形成されている。溝２５ｓは、例えば、端面２５ｃの中心において交差する十字に延びている。溝２５ｓの断面形状、幅及び深さは、適宜に設定されてよい。

【0042】

図２（ａ）に示すように、弁体２５が開位置にあるときは、弁体２５の円錐面２５ａとノズル本体２３のテーパー面２３ｂｔとは隙間Ｓ１を挟んで対向している。また、弁体２５の端面２５ｃは、ノズルシャフト２１の先端に当接しているが、溝２５ｓが、弁体２５とノズルシャフト２１との間の隙間となっており、ノズルシャフト２１の内部と、隙間Ｓ１とを連通している。従って、ノズルシャフト２１の内部と小径部２３ｃの内部とは、隙間Ｓ１及び溝２５ｓにより連通される。すなわち、吸着ノズル３の流路は開かれる。

【0043】

一方、図２（ｂ）に示すように、弁体２５が閉位置にあるときは、弁体２５の円錐面２５ａと、ノズル本体２３のテーパー面２３ｂｔとは当接する。従って、ノズルシャフト２１の内部と小径部２３ｃの内部との接続は遮断される。すなわち、吸着ノズル３の流路は閉じられる。

【0044】

なお、開位置において、隙間Ｓ１により確保される流路断面積は、小径部２３ｃの流路断面積に対して同等とされ、また、溝２５ｓにより確保される流路断面積は、小径部２３ｃの流路断面積に対して同等以上とされている。従って、開位置にある弁体２５により吸着ノズル３の流路断面の縮小は生じず、また、弁体２５が開位置から閉位置へ動き始めると同時に、吸着ノズル３の最小断面積は絞られる。

【0045】

ただし、隙間Ｓ１及び溝２５ｓの流路断面積は、これ以外に適宜な設定がなされてもよい。例えば、隙間Ｓ１により確保される流路断面積が、小径部２３ｃの流路断面積よりも大きく設定されることにより、弁体２５による流路を閉じる動作に遊びが設けられてもよい。

【0046】

弁体２５のテーパー角θ２は、例えば、テーパー面２３ｂｔのテーパー角θ１と同一とされている。この場合、弁体２５が閉位置にあるとき、円錐面２５ａは、テーパー面２３ｂｔに対して面接触する。なお、θ１とθ２との差が、加工精度に起因する誤差の範囲内である場合には、ここでいう同一であるものとする。加工精度は、例えば、±０．５°である。

【0047】

弁体２５の材料は、例えば、ノズル本体２３の材料と同一の材料とされている。当該材料は、例えば、ステンレス鋼である。ただし、弁体２５は、ノズル本体２３の材料とは別個の材料により形成されていてもよい。

【0048】

吸着ノズル３の動作は、以下のとおりである。

【0049】

ノズルシャフト２１からの気体の吸引及びノズルシャフト２１への気体の送出のいずれも行われていない場合においては、弁体２５は、重力により閉位置（図２（ｂ））に位置している。

【0050】

水晶片１０７を吸着ノズル３に吸着させるために、吸引装置５により、ノズルシャフト２１から気体の吸引が行われると、弁体２５の端面２５ｃ上において負圧が生じる。これにより、弁体２５は上昇し、開位置へ至る。そして、溝２５ｓ及び隙間Ｓ１を介して小径部２３ｃ内の気体が吸引される。これにより、既に述べたように、吸着ノズル３と水晶片１０７との間に負圧が生じ、水晶片１０７は吸着ノズル３に吸着される。

【0051】

このとき、弁体２５の閉位置から開位置への移動に伴って、隙間Ｓ１は、徐々にその流路断面積を拡大していく。従って、小径部２３ｃに急激な流れが生じることが抑制される。その結果、吸着時の勢いによって水晶片１０７が吸着ノズル３に対して位置ずれを生じることが抑制される。

【0052】

水晶片１０７を吸着ノズル３から離脱させるために、送出装置７により、ノズルシャフト２１に気体が送出されると、気体は、溝２５ｓ及び隙間Ｓ１を介して小径部２３ｃへ流れる。これにより、既に述べたように、吸着ノズル３と水晶片１０７との間の負圧が解消され、水晶片１０７は吸着ノズル３から離脱する。

【0053】

これと並行して、弁体２５の端面２５ｃの負圧は解消され、さらには、端面２５ｃは、送出された気体によって押される。これにより、弁体２５は下降し、閉位置へ至る。従って、必要以上に気体が小径部２３ｃから吹き出されることが抑制される。その結果、吸着ノズル３から離脱した水晶片１０７がブロー圧によって位置ずれを生じることが抑制される。

【0054】

また、弁体２５の開位置から閉位置への移動に伴って、隙間Ｓ１は、徐々にその流路断面積を縮小していく。従って、小径部２３ｃの流れが急激に止まることが抑制される。その結果、例えば、小径部２３ｃにおける空気の振動が抑制され、水晶片１０７が位置ずれを生じることが抑制される。

【0055】

以上のとおり、本実施形態では、吸着ノズル３は、ノズル本体２３と、ノズル本体２３内に設けられた弁体２５と、を有する。ノズル本体２３の内面は、当該ノズル本体２３の先端側ほど縮径するテーパー面２３ｂｔを含む。弁体２５は、ノズル本体２３の先端側ほど縮径する円錐面２５ａを有し、円錐面２５ａがテーパー面２３ｂｔと隙間Ｓ１を挟んで対向する開位置と、円錐面２５ａがテーパー面２３ｂｔに当接する閉位置との間で移動可能である。

【0056】

上記の構成では、弁体２５は、開位置から閉位置への移動に際して、円錐面２５ａがテーパー面２３ｂｔによりガイドされる（誘い込み効果が生じる）。従って、スイングチャッキ弁のように、弁体２５の移動を規定する特別な機構は不要である。しかも、テーパー面２３ｂｔは、既に述べたように、略必然的に形成されるものであることから、テーパー面２３ｂｔに関してノズル本体２３において特別な設計変更をする必要は無い。このように、簡素な構成で、吸着ノズル３の開閉が実現される。

【0057】

また、本実施形態では、吸着ノズル３は、ノズル本体２３に対して当該ノズル本体２３の根元側から挿入された筒状のノズルシャフト２１を更に有する。ノズルシャフト２１の先端は、テーパー面２３ｂｔに対してノズル本体２３の根元側に位置する。弁体２５は、開位置においてノズルシャフト２１の先端に当接することによりノズル本体２３の根元側への移動が規制される。

【0058】

従って、弁体２５の、ノズル本体２３の根元側への移動の規制は、吸着ノズル３の先端（ノズル本体２３）を着脱可能に構成するためのノズルシャフト２１によりなされることになる。すなわち、既にある段差が利用されることになる。その結果、ノズル本体２３及びノズルシャフト２１の設計変更は不要であり、更なる簡素化が期待される。

【0059】

弁体２５の、ノズル本体２３の根元側の端面には、弁体２５が開位置にあるときに、円錐面２５ａとテーパー面２３ｂｔとの間の隙間Ｓ１と、ノズルシャフト２１の内部とを連通する溝２５ｓが形成されている。溝２５ｓは、端面２５ｃの平面視において十字に延びている。

【0060】

従って、まず、溝２５ｓは、放射状に延びていることから、隙間Ｓ１とノズルシャフト２１との間の流れは、弁体２５の周方向において均等になる。その結果、弁体２５の移動は、円滑且つ安定する。また、実施形態の溝２５ｓよりも細い溝が４方向よりも多い方向へ放射状に延びている場合（この場合も本願発明に含まれる。）に比較して、端面２５ｃの中央に広い凹部を確保することができる。これにより、送出装置７によるブロー圧が端面２５ｃに加えられたときに弁体２５が回転することが抑制される。なお、溝の形成とは別個に、端面２５ｃの中央に広い凹部を形成することも考えられる。しかし、そのような凹部の形成は、弁体２５が小さい場合に困難である。一方、溝２５ｓの交差部により端面２５ｃの中央の凹部を形成する場合は、サイドカッタ若しくはメタルソーにより比較的容易に凹部が形成される。

【0061】

また、本実施形態では、テーパー面２３ｂｔのテーパー角θ１と円錐面２５ａのテーパー角θ２とが同一である。従って、これらの面の接触面積を大きくして、確実に吸着ノズル３の流路を閉じることができる。

【0062】

また、本実施形態では、弁体２５は、ノズル本体２３の材料と同一の材料により形成されている。従って、弁体２５がノズル本体２３に対して摺動することによる摩耗が抑制される。すなわち、吸着ノズル３及び弁体２５の耐久性が向上する。

【0063】

また、本実施形態の吸着ノズル３を用いた製造方法では、水晶片１０７の容器１０３に対する位置ずれが抑制される。その結果、歩留まりが向上する。別の観点では、水晶発振器１０１の品質が向上する。

【0064】

なお、以上の実施形態において、部品実装装置１は、本発明の吸着装置の一例であり、水晶発振器１０１は、本発明の機器製造方法における機器の一例であり、水晶片１０７は、その機器を構成する第１の部品の一例であり、容器１０３は、機器を構成し、水晶片１０７が位置決めされる第２の部品の一例である。

【0065】

本発明は、以上の実施形態に限定されず、種々の態様で実施されてよい。

【0066】

吸着ノズルによる吸着対象（部品）は、水晶発振器を構成する水晶片に限定されない。例えば、吸着対象は、ＩＣチップ若しくはチップ抵抗であってもよい。また、吸着ノズル及び吸着装置は、機器の製造（部品の組み立て）に利用されるものに限定されない。例えば、単に部品の搬送に利用されるだけであってもよい。

【0067】

吸着ノズルは、ノズル先端を下方に向けて使用されなくてもよく、適宜な方向へ向けて使用されてよい。また、吸着ノズルにおいて、弁体は、好適には、実施形態において示したように、気体（及び重力）のみによって開閉される。ただし、必要に応じて、弁体を開位置へ若しくは閉位置へ付勢するばねが設けられてもよい。

【0068】

ノズル本体は、吸着対象に対して当接するものに限定されない。例えば、ノズル本体の先端に、吸着対象付近における気体の流れをより好適にしたり、及び／又は、吸着対象に対する当接をより好適にしたりするためのブロックが取り付けられてもよい。なお、このようなブロックを含む全体をノズル本体として捉えてもよい。

【0069】

弁体は、円錐面を含んで構成されていれば、その全体が円錐形である必要は無い。例えば、弁体は、その円錐の先端が平面とされていてもよいし（側面視において台形とされていてもよいし）、円板状部分に円錐状部分を重ねたような形状であってもよい。

【0070】

また、弁体において、円錐の端面に形成された溝は必須ではない。例えば、そのような溝に代えて、円錐の端面から円錐面の中途へ弁体を貫通する孔が形成されてもよいし、弁体の側面に円錐の端面から円錐面の中途へ亘る深めの溝が形成されてもよいし、ノズルシャフトの先端縁部に切り欠きが形成されてもよい。

【0071】

ノズル本体に挿入されるノズルシャフトを設け、さらには、そのノズルシャフトを弁体の移動の規制に利用することは必須ではない。例えば、ノズル本体のみにより吸着ノズルの筒状部分全体が構成されてもよいし、ノズルシャフトをノズル本体に挿通せずにこれらを連結してもよいし、ノズル本体の外周面から挿通されてノズル本体の内周面から突出するビスにより弁体の移動を規制してもよい。

【符号の説明】

【0072】

３…吸着ノズル、２３…ノズル本体、２３ｂｔ…テーパー面、２５…弁体、２５ａ…円錐面。

【図1】

【図2】