特許6058822プラズマ抵抗性が向上したセラミック被膜の形成方法およびこれによるセラミック被膜

発明の名称　プラズマ抵抗性が向上したセラミック被膜の形成方法およびこれによるセラミック被膜

出願人　イオンズ　カンパニー　リミテッド　（識別番号 515178111）

　　　　特許公開件数ランキング 1788 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1520 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6058822

公報発行日　2017年1月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6058822

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