特許6060016成膜装置、成膜方法及び成膜プログラム

発明の名称　成膜装置、成膜方法及び成膜プログラム

出願人　ブラザー工業株式会社　（識別番号 5267）

　　　　特許公開件数ランキング 19 位（901件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24 位（761件）（共同出願を含む）

出願人　国立大学法人名古屋大学　（識別番号 504139662）

　　　　特許公開件数ランキング 267 位（198件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 264 位（180件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6060016

公報発行日　2017年1月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6060016

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