特許 6062235 ２芯コンタクトプローブ、２芯コンタクトプローブ・ユニットおよび２芯コンタクトプローブの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6062235

(24)【登録日】2016年12月22日

(45)【発行日】2017年1月18日

(54)【発明の名称】２芯コンタクトプローブ、２芯コンタクトプローブ・ユニットおよび２芯コンタクトプローブの製造方法

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/073 20060101AFI20170106BHJP

   H01L 21/66 20060101ALI20170106BHJP

【ＦＩ】

   G01R1/073 A

   H01L21/66 B

【請求項の数】15

【全頁数】23

(21)【出願番号】特願2012-282195(P2012-282195)

(22)【出願日】2012年12月26日

(65)【公開番号】特開2014-126422(P2014-126422A)

(43)【公開日】2014年7月7日

【審査請求日】2015年8月5日

(73)【特許権者】

【識別番号】000003414

【氏名又は名称】東京特殊電線株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100117226

【弁理士】

【氏名又は名称】吉村 俊一

(72)【発明者】

【氏名】三木 裕治

(72)【発明者】

【氏名】岡田 洋一

(72)【発明者】

【氏名】太田 聡一

【審査官】 續山 浩二

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１２−１１２７０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−０２１６５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−１３９７９４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０５−２７３２３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−２７９１３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−２３２５５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０３８８３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２７０８３６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６３−２８９５０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−０９８０６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 欧州特許出願公開第０２０６０９２１（ＥＰ，Ａ１）

【文献】 特開２０１２−１１７８４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−２７０２６７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｒ １／０７３

Ｈ０１Ｌ ２１／６６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１電線からなる第１コンタクトピンと第２電線からなる第２コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象面と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる２芯コンタクトプローブであって、
前記第１コンタクトピン及び前記第２コンタクトピンはそれぞれ被覆を有し、
前記被覆を有する前記第１コンタクトピンと前記被覆を有する前記第２コンタクトピンとは、両者の間と周囲とに前記被覆と異なる被覆を設けて一体に構成され、
前記各先端部と反対側の各基端部には各コンタクトピンの各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）と傾斜して交差する各傾斜面（５ａ，５ｂ）がそれぞれ同じ向きに形成され、両軸線（Ａｘ，Ｂｘ）を含む平面（Ｐ）に対して直交し且つ前記各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）をそれぞれ含む各平面（Ｐａ，Ｐｂ）に前記傾斜面（５ａ，５ｂ）の各法線（Ｎａ，Ｎｂ）が平行であることを特徴とする２芯コンタクトプローブ（１１）。

【請求項2】

第１電線からなる第１コンタクトピンと第２電線からなる第２コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象面と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる２芯コンタクトプローブであって、
前記第１コンタクトピン及び前記第２コンタクトピンはそれぞれ被覆を有し、
前記被覆を有する前記第１コンタクトピンと前記被覆を有する前記第２コンタクトピンとは、両者の間と周囲とに前記被覆と異なる被覆を設けて一体に構成され、
前記各先端部と反対側の各基端部には各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）と直交し各コンタクトピンの断面積の半分未満の面積を有する各平面（９ａ，９ｂ）を有して各コンタクトピンの各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）と傾斜して交差する各傾斜面（５ａ’，５ｂ’）がそれぞれ同じ向きに形成され、両軸線（Ａｘ，Ｂｘ）を含む平面（Ｐ）に対して直交し且つ前記各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）をそれぞれ含む各平面（Ｐａ，Ｐｂ）に前記傾斜面（５ａ’，５ｂ’）の各法線（Ｎａ，Ｎｂ）が平行であることを特徴とする２芯コンタクトプローブ（１２）。

【請求項3】

第１電線からなる第１コンタクトピンと第２電線からなる第２コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象面と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる２芯コンタクトプローブであって、
前記第１コンタクトピン及び前記第２コンタクトピンはそれぞれ被覆を有し、
前記被覆を有する前記第１コンタクトピンと前記被覆を有する前記第２コンタクトピンとは、両者の間と周囲とに前記被覆と異なる被覆を設けて一体に構成され、
前記各先端部と反対側の各基端部には各コンタクトピンの各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）と傾斜して交差する各傾斜面（５ａ’，５ｂ’）がそれぞれ同じ向きに形成されると共に各コンタクトピンの各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）と傾斜して交差し前記傾斜面（５ａ’，５ｂ’）より面積が小さい各傾斜面（５ａ”，５ｂ”）が前記傾斜面（５ａ’，５ｂ’）と反対向きに形成され、両軸線（Ａｘ，Ｂｘ）を含む平面（Ｐ）に対して直交し且つ前記各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）をそれぞれ含む各平面（Ｐａ，Ｐｂ）に前記傾斜面（５ａ’，５ｂ’）の各法線（Ｎａ，Ｎｂ）が平行であることを特徴とする２芯コンタクトプローブ（１３）。

【請求項4】

請求項１から請求項３のいずれかに記載の２芯コンタクトプローブにおいて、前記第１コンタクトピンと第２コンタクトピンとを被覆を介して一体化すると共に前記被覆に段差（８）を設けたことを特徴とする２芯コンタクトプローブ（１６）。

【請求項5】

請求項１から請求項４のいずれかに記載の２芯コンタクトプローブにおいて、前記第１コンタクトピンと第２コンタクトピンとを被覆の結合部分（６）のみを介して一体化したことを特徴とする２芯コンタクトプローブ（１７）。

【請求項6】

請求項１から請求項５のいずれかに記載の２芯コンタクトプローブを複数本、前記各傾斜面（５ａ，５ｂ，５ａ’，５ｂ’，５ａ”，５ｂ”）の方向を揃えて且つ平行に保持したことを特徴とする２芯コンタクトプローブ・ユニット（３０）。

【請求項7】

第１電線からなる第１コンタクトピンと第２電線からなる第２コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる２芯コンタクトプローブであって、
前記第１コンタクトピン及び前記第２コンタクトピンはそれぞれ被覆を有し、
前記被覆を有する前記第１コンタクトピンと前記被覆を有する前記第２コンタクトピンとは、両者の間と周囲とに前記被覆と異なる被覆を設けて一体に構成され、
前記各先端部と反対側の各基端部には各コンタクトピンの各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）と傾斜して交差する各傾斜面（５ａ１，５ｂ１）がそれぞれ同じ向きに形成されると共に各コンタクトピンの各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）と傾斜して交差し前記傾斜面（５ａ１，５ｂ１）と同面積の各傾斜面（５ａ２，５ｂ２）が前記傾斜面（５ａ１，５ｂ１）と反対側に反対向きにそれぞれ形成され、両軸線（Ａｘ，Ｂｘ）を含む平面（Ｐ）に対して直交し且つ前記各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）をそれぞれ含む各平面（Ｐａ，Ｐｂ）に前記傾斜面（５ａ１，５ｂ１）の各法線（Ｎａ，Ｎｂ）が平行であることを特徴とする２芯コンタクトプローブ（１４）。

【請求項8】

第１電線からなる第１コンタクトピンと第２電線からなる第２コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる２芯コンタクトプローブであって、
前記第１コンタクトピン及び前記第２コンタクトピンはそれぞれ被覆を有し、
前記被覆を有する前記第１コンタクトピンと前記被覆を有する前記第２コンタクトピンとは、両者の間と周囲とに前記被覆と異なる被覆を設けて一体に構成され、
前記各先端部と反対側の各基端部には各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）と直交する各平面（９ａ，９ｂ）を有して各コンタクトピンの各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）と傾斜して交差する各傾斜面（５ａ１’，５ｂ１’）がそれぞれ同じ向きに形成されると共に各コンタクトピンの各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）と傾斜して交差する各傾斜面（５ａ２’，５ｂ２’）が前記傾斜面（５ａ１’，５ｂ１’）と反対側に反対向きにそれぞれ形成され、両軸線（Ａｘ，Ｂｘ）を含む平面（Ｐ）に対して直交し且つ前記各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）をそれぞれ含む各平面（Ｐａ，Ｐｂ）に前記傾斜面（５ａ１’，５ｂ１’）の各法線（Ｎａ，Ｎｂ）が平行であることを特徴とする２芯コンタクトプローブ（１５）。

【請求項9】

請求項７または請求項８のいずれかに記載の２芯コンタクトプローブにおいて、前記第１コンタクトピンと第２コンタクトピンとを被覆を介して一体化すると共に前記被覆に段差（８）を設けたことを特徴とする２芯コンタクトプローブ（１６）。

【請求項10】

請求項７から請求項９のいずれかに記載の２芯コンタクトプローブにおいて、前記第１コンタクトピンと第２コンタクトピンとを被覆の結合部分（６）のみを介して一体化したことを特徴とする２芯コンタクトプローブ（１７）。

【請求項11】

所定長の第１電線と第２電線とを平行に且つ絶縁して一体化した２芯平行電線（１ｅ）を製作する２芯平行電線製作工程と、複数の２芯平行電線を一つの仮想平面（Ｐｅ）上に平行に且つ各２芯平行電線の第１電線と第２電線の両軸線（Ａｘ，Ｂｘ）を含む平面（Ｐ）が前記仮想平面（Ｐｅ）に直交する向きになるように並べて先端部研磨用治具（Ｅ）で保持し前記仮想平面（Ｐｅ）と交差し且つ前記平面（Ｐ）と直交する研磨面（Ｆ）により前記複数の２芯平行電線の各第１電線の先端部にその軸線と傾斜して交差する傾斜面（４ａ）を設け次いで前記先端部研磨用治具（Ｅ）を裏返して前記複数の２芯平行電線の各第２電線の先端部にその軸線と傾斜して交差する傾斜面（４ｂ）を設ける先端部研磨工程と、複数の２芯平行電線を一つの仮想平面（Ｐｇ）上に平行に且つ各２芯平行電線の第１電線と第２電線の両軸線（Ａｘ，Ｂｘ）を含む平面（Ｐ）が前記仮想平面（Ｐｇ）に平行な向きになるように且つ各先端部を揃えて並べて基端部研磨用治具（Ｇ）で保持し前記仮想平面（Ｐｇ）と交差する研磨面（Ｆ）により前記複数の２芯平行電線の各第１電線および各第２電線の基端部にその軸線と傾斜して交差する傾斜面（５ａ，５ｂ，５ａ’，５ｂ’，５ａ”，５ｂ”，５ａ１，５ｂ１，５ａ２，５ｂ２，５ａ１’，５ｂ１’，５ａ２’，５ｂ２’）を設ける基端部研磨工程とを有することを特徴とする２芯コンタクトプローブの製造方法。

【請求項12】

請求項１１に記載の２芯コンタクトプローブの製造方法において、前記２芯平行電線製作工程では前記第１電線と第２電線とを被覆を介して一体化すると共に、前記被覆の一部を除去して段差（８）を設ける段差形成工程を有することを特徴とする２芯コンタクトプローブの製造方法。

【請求項13】

請求項１１または請求項１２のいずれかに記載の２芯コンタクトプローブの製造方法において、前記２芯平行電線製作工程では前記第１電線と第２電線とを被覆を介して一体化すると共に、前記第１電線と第２電線の中間に先端側および基端側からそれぞれ切込みを入れて前記第１電線と第２電線とを被覆の結合部分（６）のみを介して一体化するスリット工程を有することを特徴とする２芯コンタクトプローブの製造方法。

【請求項14】

第１電線からなる第１コンタクトピンと第２電線からなる第２コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象面と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる２芯コンタクトプローブであって、
前記第１コンタクトピン及び前記第２コンタクトピンはそれぞれ被覆を有し、
前記被覆を有する前記第１コンタクトピンと前記被覆を有する前記第２コンタクトピンとは、両者の間と周囲とに前記被覆と異なる被覆を設けて一体に構成され、
前記各先端部と反対側の各基端部は各コンタクトピンの各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）を回転軸とする凸型回転面（７ａ，７ｂ）に形成されていることを特徴とする２芯コンタクトプローブ（１８）。

【請求項15】

所定長の第１電線の基端部を該第１電線の軸線を回転軸とする凸型回転面（７ａ）に加工する第１電線基端部加工工程と、所定長の第２電線の基端部を前記第１電線の基端部と同形状の凸型回転面（７ｂ）に加工する第２電線基端部加工工程と、前記基端部を加工した第１電線と第２電線とを平行に且つ絶縁して一体化した２芯平行電線を製作する２芯平行電線製作工程と、複数の２芯平行電線を一つの仮想平面（Ｐｅ）上に平行に且つ各２芯平行電線の第１電線と第２電線の両軸線（Ａｘ，Ｂｘ）を含む平面（Ｐ）が前記仮想平面（Ｐｅ）に直交する向きになるように並べて先端部研磨用治具（Ｅ）で保持し前記仮想平面（Ｐｅ）と交差し且つ前記平面（Ｐ）と直交する研磨面（Ｆ）により前記複数の２芯平行電線の各第１電線の先端部にその軸線（Ａｘ）と傾斜して交差する傾斜面（４ａ）を設け次いで前記先端部研磨用治具（Ｅ）を裏返して前記複数の２芯平行電線の各第２電線の先端部にその軸線（Ｂｘ）と傾斜して交差する傾斜面（４ｂ）を設ける先端部研磨工程とを有することを特徴とする２芯コンタクトプローブの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、２芯コンタクトプローブ、２芯コンタクトプローブ・ユニットおよび２芯コンタクトプローブの製造方法に関し、さらに詳しくは、製造工数を低減することが出来る２芯コンタクトプローブ、２芯コンタクトプローブ・ユニットおよび２芯コンタクトプローブの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、第１コンタクトピンと第２コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象面と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる２芯コンタクトプローブが知られている（例えば、特許文献１，２参照。）。
また、検査対象面との接触を確実にするために検査対象面にコンタクトピンを押圧したときのコンタクトピンの撓み方向を決める為に、コンタクトピンをやや斜めに保持するようにした検査治具が知られている（例えば、特許文献３参照。）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】実開平３−２７３６０号公報

【特許文献2】特許第３９０５８５０号公報

【特許文献3】特開２００８−３０９７６１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記特許文献１に記載の２芯コンタクトプローブでは、第１電線の軸線と傾斜して交差する傾斜面をその先端部に形成して第１コンタクトピンとし、それとは別に第２電線の軸線と傾斜して交差する傾斜面をその先端部に形成して第２コンタクトピンとし、その後で、第１コンタクトピンと第２コンタクトピンとを各コンタクトピンの先端部の各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きになるように向けて一体化している。
しかし、各コンタクトピンが極めて細い（例えば直径約１１０μｍ）場合、各コンタクトピンの先端部の各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きになるように向けて一体化する作業は、マイクロスコープが必要になるなどの困難があり、製造工数が大きくなる問題点があった。

【0005】

他方、上記特許文献２に記載の２芯コンタクトプローブでは、第１コンタクトピンと第２コンタクトピンとをそれらの各基端部の各傾斜面をそれらの頂部が最離隔する向きになるように向けて一体化している構造上、第１コンタクトピンとなる第１電線の基端部に傾斜面を形成し、それとは別に第２コンタクトピンとなる第２電線の基端部に傾斜面を形成し、その後で、第１電線と第２電線とを一体化しなければならない。
しかし、各電線が極めて細い（例えば直径約１１０μｍ）場合、各電線の基端部の各傾斜面がそれらの頂部を最離隔する向きになるように向けて一体化する作業は、マイクロスコープが必要になるなどの困難があり、製造工数が大きくなる問題点があった。

【0006】

さらに、上記特許文献３に記載の検査治具では、コンタクトピンをやや斜めに保持するために中心軸をずらした穴の間にコンタクトピンをセットしなければならない困難があり、やはり製造工数が大きくなる問題点があった。

【0007】

そこで、本発明の目的は、製造工数を低減することが出来る２芯コンタクトプローブ、２芯コンタクトプローブ・ユニットおよび２芯コンタクトプローブの製造方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

第１の観点では、本発明は、第１コンタクトピンと第２コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象面と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる２芯コンタクトプローブであって、前記各先端部と反対側の各基端部には各コンタクトピンの各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）と傾斜して交差する各傾斜面（５ａ，５ｂ）がそれぞれ同じ向きに形成され、両軸線（Ａｘ，Ｂｘ）を含む平面（Ｐ）に対して直交し且つ前記各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）をそれぞれ含む各平面（Ｐａ，Ｐｂ）に前記傾斜面（５ａ，５ｂ）の各法線（Ｎａ，Ｎｂ）が平行であることを特徴とする２芯コンタクトプローブ（１１）を提供する。
上記第１の観点による２芯コンタクトプローブ（１１）では、各コンタクトピンの各先端部の各傾斜面は、それらの頂部が最近接する向きに向けられているので、第１コンタクトピンとなる第１電線と第２コンタクトピンとなる第２電線とを一体化した後でも形成することが出来る。また、各基端部の各傾斜面は、同じ向きであって、両軸線（Ａｘ，Ｂｘ）を含む平面（Ｐ）に対して直交し且つ前記各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）をそれぞれ含む各平面（Ｐａ，Ｐｂ）に前記傾斜面（５ａ，５ｂ）の各法線（Ｎａ，Ｎｂ）が平行である向きにそれぞれ向けられているので、やはり第１コンタクトピンとなる第１電線と第２コンタクトピンとなる第２電線とを一体化した後でも形成することが出来る。換言すれば、向きを気にせずに第１電線と第２電線とを一体化し、その後で、先端部の傾斜面および基端部の傾斜面を形成できるから、マイクロスコープを用いて２本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。
なお、基端部の傾斜面の頂点が測定器側電極に点接触するので、ゴミを挟み込むことによる接触不良の確率を低くすることが出来る。

【0009】

第２の観点では、本発明は、第１コンタクトピンと第２コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象面と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる２芯コンタクトプローブであって、前記各先端部と反対側の各基端部には各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）と直交し各コンタクトピンの断面積の半分未満の面積を有する各平面（９ａ，９ｂ）を有して各コンタクトピンの各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）と傾斜して交差する各傾斜面（５ａ’，５ｂ’）がそれぞれ同じ向きに形成され、両軸線（Ａｘ，Ｂｘ）を含む平面（Ｐ）に対して直交し且つ前記各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）をそれぞれ含む各平面（Ｐａ，Ｐｂ）に前記傾斜面（５ａ’，５ｂ’）の各法線（Ｎａ，Ｎｂ）が平行であることを特徴とする２芯コンタクトプローブ（１２）を提供する。
上記第２の観点による２芯コンタクトプローブ（１２）では、各コンタクトピンの各先端部の各傾斜面は、それらの頂部が最近接する向きに向けられているので、第１コンタクトピンとなる第１電線と第２コンタクトピンとなる第２電線とを一体化した後でも形成することが出来る。また、各基端部の各傾斜面（５ａ’，５ｂ’）は、同じ向きであって、第１コンタクトピンと第２コンタクトピンの両軸線（Ａｘ，Ｂｘ）を含む平面（Ｐ）に対して直交し且つ前記各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）をそれぞれ含む各平面（Ｐａ，Ｐｂ）に前記傾斜面（５ａ'，５ｂ'）の各法線（Ｎａ，Ｎｂ）が平行である向きに向けられているので、やはり第１コンタクトピンとなる第１電線と第２コンタクトピンとなる第２電線とを一体化した後でも形成することが出来る。換言すれば、向きを気にせずに第１電線と第２電線とを一体化し、その後で、先端部の傾斜面および基端部の傾斜面を形成できるから、マイクロスコープを用いて２本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。
なお、基端を平面（９ａ，９ｂ）とするので、各コンタクトピンの長さを揃えることが容易になる。

【0010】

第３の観点では、本発明は、第１コンタクトピンと第２コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象面と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる２芯コンタクトプローブであって、前記各先端部と反対側の各基端部には各コンタクトピンの各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）と傾斜して交差する各傾斜面（５ａ’，５ｂ’）がそれぞれ同じ向きに形成されると共に各コンタクトピンの各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）と傾斜して交差し前記傾斜面（５ａ’，５ｂ’）より面積が小さい各傾斜面（５ａ”，５ｂ”）が前記傾斜面（５ａ’，５ｂ’）と反対向きに形成され、両軸線（Ａｘ，Ｂｘ）を含む平面（Ｐ）に対して直交し且つ前記各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）をそれぞれ含む各平面（Ｐａ，Ｐｂ）に前記傾斜面（５ａ’，５ｂ’）の各法線（Ｎａ，Ｎｂ）が平行であることを特徴とする２芯コンタクトプローブ（１３）を提供する。
上記第３の観点による２芯コンタクトプローブ（１３）では、各コンタクトピンの各先端部の各傾斜面は、それらの頂部が最近接する向きに向けられているので、第１コンタクトピンとなる第１電線と第２コンタクトピンとなる第２電線とを一体化した後でも形成することが出来る。また、各基端部の各傾斜面（５ａ’，５ｂ’，５ａ”，５ｂ”）は、同じ向きであって、第１コンタクトピンと第２コンタクトピンの両軸線（Ａｘ，Ｂｘ）を含む平面（Ｐ）に対して直交し且つ前記各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）をそれぞれ含む各平面（Ｐａ，Ｐｂ）に前記傾斜面（５ａ'，５ｂ'）の各法線（Ｎａ，Ｎｂ）が平行である向きに向けられているので、やはり第１コンタクトピンとなる第１電線と第２コンタクトピンとなる第２電線とを一体化した後でも形成することが出来る。換言すれば、向きを気にせずに第１電線と第２電線とを一体化し、その後で、先端部の傾斜面（４ａ，４ｂ）および基端部の傾斜面（５ａ’，５ｂ’，５ａ”，５ｂ”）を形成できるから、マイクロスコープを用いて２本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。
なお、基端部の２つの傾斜面（５ａ’，５ｂ’，５ａ”，５ｂ”）が会合する稜線が測定器側電極に線接触するので、ゴミを挟み込むことによる接触不良の確率を低くすることが出来る。

【0011】

第４の観点では、本発明は、前記第１から前記第３のいずれかの観点による２芯コンタクトプローブにおいて、前記第１コンタクトピンと第２コンタクトピンとを被覆を介して一体化すると共に前記被覆に段差（８）を設けたことを特徴とする２芯コンタクトプローブ（１６）を提供する。
上記第４の観点による２芯コンタクトプローブ（１６）では、各コンタクトピンの軸方向の位置決めに利用するための段差（８）を被覆に設けたため、位置決め部材との接触が被覆を介して行われることとなり、滑り性および絶縁性の両方において好適となる。

【0012】

第５の観点では、本発明は、前記第１から前記第４のいずれかの観点による２芯コンタクトプローブにおいて、前記第１コンタクトピンと第２コンタクトピンとを被覆の結合部分（６）のみを介して一体化したことを特徴とする２芯コンタクトプローブ（１７）を提供する。
上記第５の観点による２芯コンタクトプローブ（１７）では、第１コンタクトピンと第２コンタクトピンとが一部のみでしか一体化されていないため、第１コンタクトピンと第２コンタクトピンとが別個に撓みうる自由度を大きくすることが出来る。

【0013】

第６の観点では、本発明は、前記第１から前記第５のいずれかの観点による２芯コンタクトプローブを複数本、前記各傾斜面（５ａ，５ｂ，５ａ’，５ｂ’，５ａ”，５ｂ”）の方向を揃えて且つ平行に保持したことを特徴とする２芯コンタクトプローブ・ユニット（３０）を提供する。
上記第６の観点による２芯コンタクトプローブ・ユニット（３０）では、複数本の２芯コンタクトプローブを、各傾斜面（５ａ，５ｂ，５ａ’，５ｂ’，５ａ”，５ｂ”）の方向を揃えて且つ平行に保持しているため、隣接する２芯コンタクトプローブの撓む方向が同方向となり、隣接する２芯コンタクトプローブが互いに近づくような方向に撓まないため、従来のようにコンタクトプローブに傾斜をつけて配置しなくとも、隣接する２芯コンタクトプローブが近接して接触することを回避できる。

【0014】

第７の観点では、本発明は、第１コンタクトピンと第２コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる２芯コンタクトプローブであって、前記各先端部と反対側の各基端部には各コンタクトピンの各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）と傾斜して交差する各傾斜面（５ａ１，５ｂ１）がそれぞれ同じ向きに形成されると共に各コンタクトピンの各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）と傾斜して交差し前記傾斜面（５ａ１，５ｂ１）と同面積の各傾斜面（５ａ２，５ｂ２）が前記傾斜面（５ａ１，５ｂ１）と反対側に反対向きにそれぞれ形成され、両軸線（Ａｘ，Ｂｘ）を含む平面（Ｐ）に対して直交し且つ前記各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）をそれぞれ含む各平面（Ｐａ，Ｐｂ）に前記傾斜面（５ａ１，５ｂ１）の各法線（Ｎａ，Ｎｂ）が平行であることを特徴とする２芯コンタクトプローブ（１４）を提供する。
上記第７の観点による２芯コンタクトプローブ（１４）では、各コンタクトピンの各先端部の各傾斜面は、それらの頂部が最近接する向きに向けられているので、第１コンタクトピンとなる第１電線と第２コンタクトピンとなる第２電線とを一体化した後でも形成することが出来る。また、各基端部の各傾斜面（５ａ１，５ｂ１）および傾斜面（５ａ２，５ｂ２）は、同じ向きであって、第１コンタクトピンと第２コンタクトピンの両軸線（Ａｘ，Ｂｘ）を含む平面（Ｐ）に対して直交し且つ前記各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）をそれぞれ含む各平面（Ｐａ，Ｐｂ）に前記傾斜面（５ａ１，５ｂ１）の各法線（Ｎａ，Ｎｂ）が平行である向きに向けられているので、やはり第１コンタクトピンとなる第１電線と第２コンタクトピンとなる第２電線とを一体化した後でも形成することが出来る。換言すれば、向きを気にせずに第１電線と第２電線とを一体化し、その後で、先端部の傾斜面および基端部の傾斜面を形成できるから、マイクロスコープを用いて２本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。
なお、基端部の２つの傾斜面（５ａ１，５ａ２）および（５ｂ１，５ｂ２）が会合する稜線が測定器側電極に線接触するので、ゴミを挟み込むことによる接触不良の確率を低くすることが出来る。

【0015】

第８の観点では、本発明は、第１コンタクトピンと第２コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる２芯コンタクトプローブであって、前記各先端部と反対側の各基端部には各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）と直交する各平面（９ａ，９ｂ）を有して各コンタクトピンの各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）と傾斜して交差する各傾斜面（５ａ１’，５ｂ１’）がそれぞれ同じ向きに形成されると共に各コンタクトピンの各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）と傾斜して交差する各傾斜面（５ａ２’，５ｂ２’）が前記傾斜面（５ａ１’，５ｂ１’）と反対側に反対向きにそれぞれ形成され、両軸線（Ａｘ，Ｂｘ）を含む平面（Ｐ）に対して直交し且つ前記各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）をそれぞれ含む各平面（Ｐａ，Ｐｂ）に前記傾斜面（５ａ１’，５ｂ１’）の各法線（Ｎａ，Ｎｂ）が平行であることを特徴とする２芯コンタクトプローブ（１５）を提供する。
上記第８の観点による２芯コンタクトプローブ（１５）では、各コンタクトピンの各先端部の各傾斜面は、それらの頂部が最近接する向きに向けられているので、第１コンタクトピンとなる第１電線と第２コンタクトピンとなる第２電線とを一体化した後でも形成することが出来る。また、各基端部の各傾斜面は、同じ向きであって、第１コンタクトピンと第２コンタクトピンの両軸線（Ａｘ，Ｂｘ）を含む平面（Ｐ）に対して直交し且つ前記各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）をそれぞれ含む各平面（Ｐａ，Ｐｂ）に前記傾斜面（５ａ１'，５ｂ１'）の各法線（Ｎａ，Ｎｂ）が平行である向きに向けられているので、やはり第１コンタクトピンとなる第１電線と第２コンタクトピンとなる第２電線とを一体化した後でも形成することが出来る。換言すれば、向きを気にせずに第１電線と第２電線とを一体化し、その後で、先端部の傾斜面および基端部の傾斜面を形成できるから、マイクロスコープを用いて２本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。
なお、基端を平面とするので、各コンタクトピンの長さを揃えることが容易になる。

【0016】

第９の観点では、本発明は、前記第７または前記第８のいずれかの観点による２芯コンタクトプローブにおいて、前記第１コンタクトピンと第２コンタクトピンとを被覆を介して一体化すると共に前記被覆に段差（８）を設けたことを特徴とする２芯コンタクトプローブ（１６）を提供する。
上記第９の観点による２芯コンタクトプローブ（１６）では、各コンタクトピンの軸方向の位置決めに利用するための段差（８）を被覆に設けたため、位置決め部材との接触が被覆を介して行われることとなり、滑り性および絶縁性の両方において好適となる。

【0017】

第１０の観点では、本発明は、前記第７から前記第９のいずれかの観点による２芯コンタクトプローブにおいて、前記第１コンタクトピンと第２コンタクトピンとを被覆の結合部分（６）のみを介して一体化したことを特徴とする２芯コンタクトプローブ（１７）を提供する。
上記第１０の観点による２芯コンタクトプローブ（１７）では、第１コンタクトピンと第２コンタクトピンとが一部のみでしか一体化されていないため、第１コンタクトピンと第２コンタクトピンとが別個に撓みうる自由度を大きくすることが出来る。

【0018】

第１１の観点では、本発明は、所定長の第１電線と第２電線とを平行に且つ絶縁して一体化した２芯平行電線（１ｅ）を製作する２芯平行電線製作工程と、複数の２芯平行電線を一つの仮想平面（Ｐｅ）上に平行に且つ各２芯平行電線の第１電線と第２電線の両軸線（Ａｘ，Ｂｘ）を含む平面（Ｐ）が前記仮想平面（Ｐｅ）に直交する向きになるように並べて先端部研磨用治具（Ｅ）で保持し前記仮想平面（Ｐｅ）と交差し且つ前記平面（Ｐ）と直交する研磨面（Ｆ）により前記複数の２芯平行電線の各第１電線の先端部にその軸線と傾斜して交差する傾斜面（４ａ）を設け次いで前記先端研磨用治具（Ｅ）を裏返して前記複数の２芯平行電線の各第２電線の先端部にその軸線と傾斜して交差する傾斜面（４ｂ）を設ける先端部研磨工程と、複数の２芯平行電線を一つの仮想平面（Ｐｇ）上に平行に且つ各２芯平行電線の第１電線と第２電線の両軸線（Ａｘ，Ｂｘ）を含む平面（Ｐ）が前記仮想平面（Ｐｇ）に平行な向きになるように且つ各先端部を揃えて並べて基端部研磨用治具（Ｇ）で保持し前記仮想平面（Ｐｇ）と交差する研磨面（Ｆ）により前記複数の２芯平行電線の各第１電線および各第２電線の基端部にその軸線と傾斜して交差する傾斜面（５ａ，５ｂ，５ａ’，５ｂ’，５ａ”，５ｂ”，５ａ１，５ｂ１，５ａ２，５ｂ２，５ａ１’，５ｂ１’，５ａ２’，５ｂ２’）を設ける基端部研磨工程とを有することを特徴とする２芯コンタクトプローブの製造方法を提供する。
上記第１１の観点による２芯コンタクトプローブの製造方法では、第１コンタクトピンとなる第１電線と第２コンタクトピンとなる第２電線とを一体化し、その後で先端部の傾斜面および基端部の傾斜面を形成するから、向きを気にせずに第１電線と第２電線とを一体化できる。従って、マイクロスコープを用いて２本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。これにより、上記第１の観点から第１０の観点による２芯コンタクトプローブを好適に製造できる。
なお、先端部研磨工程と基端部研磨工程とは、どちらを先に行ってもよい。

【0019】

第１２の観点では、本発明は、前記第１１の観点による２芯コンタクトプローブの製造方法において、前記２芯平行電線製作工程では前記第１電線と第２電線とを被覆を介して一体化すると共に、前記被覆の一部を除去して段差（８）を設ける段差形成工程を有することを特徴とする２芯コンタクトプローブの製造方法を提供する。
上記第１２の観点による２芯コンタクトプローブの製造方法では、上記第４の観点および第９の観点による２芯コンタクトプローブを好適に製造できる。

【0020】

第１３の観点では、本発明は、前記第１１または前記第１２のいずれかの観点による２芯コンタクトプローブの製造方法において、前記２芯平行電線製作工程では前記第１電線と第２電線とを被覆を介して一体化すると共に、前記第１電線と第２電線の中間に先端側および基端側からそれぞれ切込みを入れて前記第１電線と第２電線とを被覆の結合部分（６）のみを介して一体化するスリット工程を有することを特徴とする２芯コンタクトプローブの製造方法を提供する。
上記第１３の観点による２芯コンタクトプローブの製造方法では、上記第５の観点および第１０の観点による２芯コンタクトプローブを好適に製造できる。

【0021】

第１４の観点では、本発明は、第１コンタクトピンと第２コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象面と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる２芯コンタクトプローブであって、前記各先端部と反対側の各基端部は各コンタクトピンの各軸線（Ａｘ，Ｂｘ）を回転軸とする凸型回転面（７ａ，７ｂ）に形成されていることを特徴とする２芯コンタクトプローブ（１８）を提供する。
上記構成において、軸線（Ａｘ，Ｂｘ）を回転軸とする凸型回転面（７ａ，７ｂ）とは、軸線（Ａｘ，Ｂｘ）上に第１端を有し、その第１端よりも先端側で且つ軸線（Ａｘ，Ｂｘ）外に第２端を有する直線または曲線を軸線（Ａｘ，Ｂｘ）の周りに回転させて形成される面であり、例えば円錐面，截頭円錐面，半球面，截頭半球面などである。
上記第１４の観点による２芯コンタクトプローブ（１８）では、第１コンタクトピンとなる第１電線の基端部に凸型回転面（７ａ）を形成し、それとは別に第２コンタクトピンとなる第２電線の基端部にも凸回転面（７ｂ）を形成し、第１電線と第２電線とを一体化し、その後で各電線の各先端部に各傾斜面を形成できる。ここで、第１電線と第２電線とを一体化する際、基端部が傾斜面でなく凸型回転面（７ａ，７ｂ）なので、向きを調整する必要がない。従って、マイクロスコープを用いて２本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。

【0022】

第１５の観点では、本発明は、所定長の第１電線の基端部を該第１電線の軸線を回転軸とする凸型回転面（７ａ）に加工する第１電線基端部加工工程と、所定長の第２電線の基端部を前記第１電線の基端部と同形状の凸型回転面（７ｂ）に加工する第２電線基端部加工工程と、前記基端部を加工した第１電線と第２電線とを平行に且つ絶縁して一体化した２芯平行電線を製作する２芯平行電線製作工程と、複数の２芯平行電線を一つの仮想平面（Ｐｅ）上に平行に且つ各２芯平行電線の第１電線と第２電線の両軸線（Ａｘ，Ｂｘ）を含む平面（Ｐ）が前記仮想平面（Ｐｅ）に直交する向きになるように並べて先端部研磨用治具（Ｅ）で保持し前記仮想平面（Ｐｅ）と交差し且つ前記平面（Ｐ）と直交する研磨面（Ｆ）により前記複数の２芯平行電線の各第１電線の先端部にその軸線（Ａｘ）と傾斜して交差する傾斜面（４ａ）を設け次いで前記先端研磨用治具（Ｅ）を裏返して前記複数の２芯平行電線の各第２電線の先端部にその軸線（Ｂｘ）と傾斜して交差する傾斜面（４ｂ）を設ける先端部研磨工程とを有することを特徴とする２芯コンタクトプローブの製造方法を提供する。
上記第１５の観点による２芯コンタクトプローブの製造方法では、第１電線の基端部に凸型回転面（７ａ）を形成し、それとは別に第２電線の基端部にも凸回転面（７ｂ）を形成し、第１電線と第２電線とを一体化し、その後で各電線の各先端部に各傾斜面（４ａ、４ｂ）を形成する。ここで、第１電線と第２電線とを一体化する際、基端部が傾斜面でなく凸型回転面（７ａ，７ｂ）なので、向きを調整する必要がない。従って、マイクロスコープを用いて２本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。これにより、上記第１４の観点による２芯コンタクトプローブを好適に製造できる。

【発明の効果】

【0023】

本発明の２芯コンタクトプローブ、２芯コンタクトプローブ・ユニットおよび２芯コンタクトプローブの製造方法によれば、製造工数を低減することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】実施例１に係る２芯コンタクトプローブを示す正面図および側面図である。

【図2】図１のＸ−Ｘ’断面図である。

【図3】実施例１に係る直線矯正工程を示すブロック図である。

【図4】実施例１に係る被覆焼付工程を示すブロック図である。

【図5】実施例１に係る２線一体化工程を示すブロック図である。

【図6】実施例１に係る所定長カット工程を示すブロック図である。

【図7】実施例１に係る２芯平行電線を示す斜視図である。

【図8】実施例１に係る先端研磨用治具を示す斜視図である。

【図9】実施例１に係る先端部研磨工程を示す説明図である。

【図10】実施例１に係る先端部研磨工程の続きを示す説明図である。

【図11】実施例１に係る基端研磨用治具を示す斜視図である。

【図12】実施例１に係る基端部研磨工程を示す説明図である。

【図13】先端部研磨工程および基端部研磨工程を経た２芯平行電線を示す正面図および側面図である。

【図14】実施例１に係る２芯コンタクトプローブ・ユニットを示す一部破断正面図および一部破断側面図である。

【図15】実施例２に係る２芯コンタクトプローブの基端部を示す正面図および側面図である。

【図16】実施例３に係る２芯コンタクトプローブの基端部を示す正面図および側面図である。

【図17】実施例３に係る基端部研磨工程を示す説明図である。

【図18】実施例３に係る基端部研磨工程の続きを示す説明図である。

【図19】実施例４に係る２芯コンタクトプローブの基端部を示す正面図および側面図である。

【図20】実施例５に係る２芯コンタクトプローブの基端部を示す正面図および側面図である。

【図21】実施例６に係る２芯コンタクトプローブの先端部を示す正面図および側面図である。

【図22】実施例７に係る２芯コンタクトプローブを示す正面図である。

【図23】実施例８に係る２芯コンタクトプローブを示す正面図および側面図である。

【図24】実施例８に係る所定長カット工程を示すブロック図である。

【図25】基端部研磨工程を経た第１電線を示す正面図および側面図である。

【図26】基端部研磨工程を経た第１電線と第２電線を一体化した２芯平行電線を示す正面図および側面図である。

【図27】実施例８に係る先端部研磨用治具を示す斜視図である。

【図28】実施例９に係る２芯コンタクトプローブの基端部を示す正面図および側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0025】

以下、図に示す実施の形態により本発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明が限定されるものではない。

【実施例】

【0026】

−実施例１−
図１の（ａ）は、実施例１に係る２芯コンタクトプローブ１１を示す左側面図である。図１の（ｂ）は同正面図である。図１の（ｃ）は右同側面図である。
この２芯コンタクトプローブ１１は、第１コンタクトピン１１ａと第２コンタクトピン１１ｂとを平行に且つ被覆３を介して一体化したものである。
各コンタクトピン１１ａ，１１ｂの各先端部には、各コンタクトピン１１ａ，１１ｂの各軸線Ａｘ，Ｂｘと傾斜して交差する各傾斜面４ａ，４ｂがそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されている。
各コンタクトピン１１ａ，１１ｂの各基端部には、各コンタクトピン１１ａ，１１ｂの各軸線Ａｘ，Ｂｘと傾斜して交差する各傾斜面５ａ，５ｂが同じ向きにそれぞれ形成されている。

【0027】

図２は、図１のＸ−Ｘ’断面図である。
コンタクトピン１１ａ，１１ｂは、それぞれ被覆２ａ，２ｂを有している。
平面Ｐａは、両軸線Ａｘ，Ｂｘを含む平面Ｐに対して直交し且つ軸線Ａｘを含む平面である。傾斜面５ａの法線Ｎａは平面Ｐａに平行である。
平面Ｐｂは、両軸線Ａｘ，Ｂｘを含む平面Ｐに対して直交し且つ軸線Ｂｘを含む平面である。傾斜面５ｂの法線Ｎｂは平面Ｐｂに平行である。

【0028】

図３〜図１３を参照して２芯コンタクトプローブ１１の製造方法を説明する。
図３〜図７が２芯平行電線製作工程であり、図８〜図１０が先端部研磨工程であり、図１１〜図１３が基端部研磨工程である。

【0029】

まず図３に示すように、例えば直径約１１０μｍのタングステン線のような導線１ａを直線矯正装置Ａに通して所定の直線性を持つ導線１ｂとし、これをロールＲａに巻き取る。
次に図４に示すように、導線１ｂを被覆焼付装置Ｂに通して例えば厚さ約１０μｍのポリエステル被覆のような被覆２を形成した被覆導線１ｃとし、これをロールＲｂに巻き取る。
次に図５に示すように、２本の被覆導線１ｃを所定間隔に並べて被覆焼付装置Ｃに通して例えば厚さ約５μｍのポリエステル被覆や融着被覆のような被覆３で一体化した２芯平行導線１ｄとし、これをロールＲｃに巻き取る。
次に図６に示すように、２芯平行導線１ｄをカット装置Ｄに通して例えば長さ３０ｍｍのような所定長の２芯平行電線１ｅとし、これをトレイＱに収容する。
図７は、２芯平行電線１ｅの斜視図である。

【0030】

次に図８に示すように、複数の２芯平行電線１ｅを、一つの仮想平面Ｐｅ上に平行に且つ各２芯平行電線１ｅの第１電線１ｃ−１と第２電線１ｃ−２の両軸線Ａｘ，Ｂｘを含む平面Ｐが仮想平面Ｐｅに直交する向きになるように並べて、先端部研磨用治具Ｅの第１保持具Ｅａと第２保持具Ｅｂとで弾性的に挟持する。

【0031】

次に図９に示すように、研磨面Ｆに仮想平面Ｐｅが例えば３０°の角度θで交差し且つ研磨面Ｆに平面Ｐが直交するように先端部研磨用治具Ｅを傾けて複数の２芯平行電線１ｅの各第１電線１ｃ−１の先端部を研磨面Ｆで研磨し、複数の第１電線１ｃ−１の各先端部にそれぞれ軸線Ａｘと傾斜して交差する傾斜面４ａを同時に設け、２芯平行電線１ｆとする。
次に図１０に示すように、先端部研磨用治具Ｅを裏返し、研磨面Ｆに仮想平面Ｐｅが角度θで交差し且つ研磨面Ｆに平面Ｐが直交するように先端部研磨用治具Ｅを傾けて複数の２芯平行電線１ｆの各第２電線１ｃ−２の先端部を研磨面Ｆで研磨し、複数の第２電線１ｃ−２の各先端部にそれぞれ軸線Ｂｘと傾斜して交差する傾斜面４ｂを同時に設け、２芯平行電線１ｇとする。

【0032】

次に図１１に示すように、先端部に傾斜面４ａ，４ｂを設けた複数の２芯平行電線１ｇを、一つの仮想平面Ｐｇ上に平行に且つ各２芯平行電線１ｇの第１電線１ｃ−１と第２電線１ｃ−２の両軸線Ａｘ，Ｂｘを含む平面Ｐが仮想平面Ｐｇと平行する向きになるように且つ軸線Ａｘ，Ｂｘと直交する仮想直線Ｌｇ上に傾斜面４ａ，４ｂの頂点を揃えて並べ、基端部研磨用治具Ｇの第１保持具Ｇａと第２保持具Ｇｂとで弾性的に挟持する。

【0033】

次に図１２に示すように、研磨面Ｆに仮想平面Ｐｇが例えば３０°の角度φで交差し且つ先端部の傾斜面４ａ，４ｂの頂点を結ぶ仮想直線Ｌｇが研磨面Ｆに平行になるように基端部研磨用治具Ｇを傾けて複数の２芯平行電線１ｇの各第１電線１ｃ−１および第２電線１ｃ−２の基端部を研磨面Ｆで研磨し、複数の第１電線１ｃ−１および第２電線１ｃ−２の各基端部にそれぞれ軸線Ａｘ，Ｂｘと傾斜して交差する傾斜面５ａ，５ｂを同時に設け、２芯平行電線１ｈとする。
図１３の（ａ）は、先端部に傾斜面４ａ，４ｂを設けると共に基端部に傾斜面５ａ，５ｂを設けた２芯平行電線１ｈの正面図である。図１３の（ｂ）は同側面図である。

【0034】

最後に、２芯平行電線１ｈの先端部および基端部の被覆２ａ，２ｂ，３を例えばレーザ装置で除去すれば、図１に示す如き２芯コンタクトプローブ１１を製造できる。

【0035】

図１４の（ａ）は、２芯コンタクトプローブ・ユニット３０を示す一部破断正面図である。図１４の（ｂ）は同一部破断側面図である。
この２芯コンタクトプローブ・ユニット３０は、９本の２芯コンタクトプローブ１１を各傾斜面５ａ，５ｂの方向を揃えて且つ互いに平行に３行３列に配列し、２芯コンタクトプローブ保持具２０で保持している。
２芯コンタクトプローブ１１の各先端部の傾斜面４ａ，４ｂは、その頂点で回路基板の検査対象面Ｌに点接触する。
２芯コンタクトプローブ１１の各基端部の傾斜面５ａ，５ｂは、その頂点で測定器側電極Ｍａ，Ｍｂに点接触する。

【0036】

図１４の（ｂ）に矢印αで示すように、測定器側電極Ｍａ，Ｍｂで２芯コンタクトプローブ１１を押して接触を確実にするが、そのときに２芯コンタクトプローブ１１が矢印βの方向に撓む。この矢印βの方向は、第１電線１ｃ−１および第２電線１ｃ−２の重心が軸線Ａｘ，Ｂｘに対して存在する側と反対側の方向になる。すなわち、傾斜面５ａ，５ｂが向いている方向になる。

【0037】

実施例１の２芯コンタクトプローブ１１及びその製造方法によれば、向きを気にせずに第１電線１ｃ−１と第２電線１ｃ−２とを一体化し、その後で、先端部の傾斜面４ａ，４ｂおよび基端部の傾斜面５ａ，５ｂを形成できるから、マイクロスコープを用いて２本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。また、基端部の傾斜面５ａ，５ｂの頂点が測定器側電極Ｍａ，Ｍｂに点接触するので、ゴミを挟み込むことによる接触不良の確率を低くすることが出来る。

【0038】

また、実施例１の２芯コンタクトプローブ・ユニット３０によれば、複数本の２芯コンタクトプローブ１１を平行に保持しても、隣接する２芯コンタクトプローブ１１の撓む方向が同方向となり、隣接する２芯コンタクトプローブ１１が互いに近づくような方向に撓まないため、隣接する２芯コンタクトプローブ１１が近接して接触してしまうことを回避できる。

【0039】

−実施例２−
図１５の（ａ）は、実施例２に係る２芯コンタクトプローブ１２の基端部を示す左側面である。図１５の（ｂ）は同正面図である。図１５の（ｃ）は同右側面図である。
この２芯コンタクトプローブ１２は、各軸線Ａｘ，Ｂｘと直交し各コンタクトピン１２ａ，１２ｂの断面積の半分未満の面積を有する各平面９ａ，９ｂを基端に有している以外は、実施例１の２芯コンタクトプローブ１１と同様の構成である。

【0040】

各平面９ａ，９ｂは、これら各平面９ａ，９ｂを残すように各傾斜面５ａ’，５ｂ’を研磨して設ける。あるいは、実施例１の２芯コンタクトプローブ１１と同様に各傾斜面５ａ，５ｂを研磨して設けた後、各軸線Ａｘ，Ｂｘと直交する研磨面で研磨して平面９ａ，９ｂを設けることも出来る。

【0041】

実施例２の２芯コンタクトプローブ１２及びその製造方法によれば、向きを気にせずに第１電線１ｃ−１と第２電線１ｃ−２とを一体化し、その後で、先端部の傾斜面４ａ，４ｂおよび基端部の傾斜面５ａ’，５ｂ’および平面９ａ，９ｂを形成できるから、マイクロスコープを用いて２本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。また、基端を平面９ａ，９ｂとするので、各コンタクトピン１２ａ，１２ｂの長さを揃えることが容易になる。

【0042】

また、平面９ａ，９ｂの面積が各コンタクトピン１２ａ，１２ｂの断面積の半分未満であるため、各コンタクトピン１２ａ，１２ｂの重心が軸線Ａｘ，Ｂｘに対して十分に平面９ａ，９ｂ側に偏るため、実施例１の２芯コンタクトプローブ・ユニット３０における２芯コンタクトプローブ１１の代わりに複数本の実施例２の２芯コンタクトプローブ１２を平行に保持しても、隣接する２芯コンタクトプローブ１２の撓む方向が同方向となり、隣接する２芯コンタクトプローブ１２が互いに近づくような方向に撓まないため、隣接する２芯コンタクトプローブ１２が近接して接触してしまうことを回避できる。

【0043】

−実施例３−
図１６の（ａ）は、実施例３に係る２芯コンタクトプローブ１３の基端部を示す左側面である。図１６の（ｂ）は同正面図である。図１６の（ｃ）は同右側面図である。
この２芯コンタクトプローブ１３は、実施例２の平面９ａ、９ｂの代わりに各傾斜面５ａ’，５ｂ’より面積が小さい各傾斜面５ａ”，５ｂ”が各傾斜面５ａ’，５ｂ’と反対向きにそれぞれ形成されている以外は、実施例１の２芯コンタクトプローブ１１と同様の構成である。

【0044】

図１７に示すように、研磨面Ｆに仮想平面Ｐｇが例えば３０°の角度φで交差し且つ先端部の傾斜面４ａ，４ｂの頂点を結ぶ仮想直線Ｌｇが研磨面Ｆに平行になるように基端部研磨用治具Ｇを傾けて複数の２芯平行電線１ｇ（図１１参照）の各第１電線１ｃ−１および第２電線１ｃ−２の基端部を研磨面Ｆで研磨し、複数の第１電線１ｃ−１および第２電線１ｃ−２の各基端部にそれぞれ軸線Ａｘ，Ｂｘと傾斜して交差する傾斜面５ａ’，５ｂ’を同時に設け、２芯平行電線１ｉとする。なお、傾斜面５ａ’，５ｂ’の大きさは、軸線Ａｘ，Ｂｘと交差しうる大きさとする。

【0045】

次に、図１８に示すように、基端部研磨用治具Ｇを裏返し、研磨面Ｆに仮想平面Ｐｇが角度φで交差し且つ先端部の傾斜面４ａ，４ｂの頂点を結ぶ仮想直線Ｌｇが研磨面Ｆに平行になるように基端部研磨用治具Ｇを傾けて複数の２芯平行電線１ｉの各第１電線１ｃ−１および第２電線１ｃ−２の各基端部にそれぞれ軸線Ａｘ，Ｂｘと傾斜して交差する傾斜面５ａ”，５ｂ”を同時に設け、２芯平行電線１ｊとする。なお、傾斜面５ａ”，５ｂ”の大きさは、軸線Ａｘ，Ｂｘと交差しない大きさとする。

【0046】

傾斜面５ａ’，５ｂ’，５ａ”，５ｂ”を設けた２芯平行電線１ｊの先端部および基端部の被覆２ａ，２ｂ，３を例えばレーザ装置で除去すれば、図１６に示す如き２芯コンタクトプローブ１３を製造できる。

【0047】

実施例３の２芯コンタクトプローブ１３及びその製造方法によれば、向きを気にせずに第１電線１ｃ−１と第２電線１ｃ−２とを一体化し、その後で、先端部の傾斜面４ａ，４ｂおよび基端部の傾斜面５ａ’，５ｂ’，５ａ”，５ｂ”を形成できるから、マイクロスコープを用いて２本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。また、基端部の傾斜面５ａ’と５ａ”が会合する稜線および傾斜面５ｂ’と５ｂ”が会合する稜線が測定器側電極Ｍａ，Ｍｂに線接触するので、ゴミを挟み込むことによる接触不良の確率を低くすることが出来る。

【0048】

また、傾斜面５ａ”，５ｂ”の面積が傾斜面５ａ’，５ｂ’の面積より小さいため、各コンタクトピン１３ａ，１３ｂの重心が軸線Ａｘ，Ｂｘに対して十分に傾斜面５ａ”，５ｂ”側に偏るため、実施例１の２芯コンタクトプローブ・ユニット３０における２芯コンタクトプローブ１１の代わりに複数本の実施例３の２芯コンタクトプローブ１３を平行に保持しても、隣接する２芯コンタクトプローブ１３の撓む方向が同方向となり、隣接する２芯コンタクトプローブ１３が互いに近づくような方向に撓まないため、隣接する２芯コンタクトプローブ１３が近接して接触してしまうことを回避できる。

【0049】

−実施例４−
図１９の（ａ）は、実施例４に係る２芯コンタクトプローブ１４の基端部を示す左側面図である。図１９の（ｂ）は同正面図である。図１９の（ｃ）は同右側面図である。
この２芯コンタクトプローブ１４は、実施例３の面積の異なる傾斜面５ａ’，５ａ”及び５ｂ’，５ｂ”の代わりに面積を等しい傾斜面５ａ１，５ａ２および５ｂ１，５ｂ２がそれぞれ形成されている以外は、実施例１の２芯コンタクトプローブ１１と同様の構成である。

【0050】

実施例４の２芯コンタクトプローブ１４及びその製造方法によれば、向きを気にせずに第１電線１ｃ−１と第２電線１ｃ−２とを一体化し、その後で、先端部の傾斜面４ａ，４ｂおよび基端部の傾斜面５ａ１，５ｂ１，５ａ２，５ｂ２を形成できるから、マイクロスコープを用いて２本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。また、基端部の傾斜面５ａ１と５ａ２が会合する稜線および傾斜面５ｂ１と５ｂ２が会合する稜線が測定器側電極Ｍａ，Ｍｂに線接触するので、ゴミを挟み込むことによる接触不良の確率を低くすることが出来る。

【0051】

−実施例５−
図２０の（ａ）は、実施例５に係る２芯コンタクトプローブ１５の基端部を示す左側面図である。図２０の（ｂ）は同正面図である。図２０の（ｃ）は同右側面図である。
この２芯コンタクトプローブ１５は、各軸線Ａｘ，Ｂｘと直交し各コンタクトピン１２ａ，１２ｂの断面積の半分未満の面積を有する各平面９ａ，９ｂを基端に有している以外は、実施例４の２芯コンタクトプローブ１４と同様の構成である。

【0052】

各平面９ａ，９ｂは、これら各平面９ａ，９ｂを残すように各傾斜面５ａ１’，５ｂ１’，５ａ２’，５ｂ２’を研磨して設ける。あるいは、実施例４の２芯コンタクトプローブ１４と同様に各傾斜面５ａ１，５ｂ１，５ａ２，５ｂ２を研磨して設けた後、各軸線Ａｘ，Ｂｘと直交する研磨面で研磨して平面９ａ，９ｂを設けることも出来る。

【0053】

実施例５の２芯コンタクトプローブ１５及びその製造方法によれば、向きを気にせずに第１電線１ｃ−１と第２電線１ｃ−２とを一体化し、その後で、先端部の傾斜面４ａ，４ｂおよび基端部の傾斜面５ａ１’，５ｂ１’，５ａ２’，５ｂ２’および平面９ａ，９ｂを形成できるから、マイクロスコープを用いて２本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。

【0054】

−実施例６−
図２１の（ａ）は、実施例６に係る２芯コンタクトプローブ１６の先端部を示す正面図である。図２１の（ｂ）は同側面図である。
この２芯コンタクトプローブ１６は、実施例１〜実施例５の２芯コンタクトプローブ１１〜１５を作成した後、被覆２ａ，２ｂを残して被覆３の先端側所定長を例えばレーザ装置で除去し、段差８を設けたものである。なお、被覆２ａ，２ｂの間に挟まれた部分の被覆３は残している。

【0055】

実施例６の２芯コンタクトプローブ１６及びその製造方法によれば、実施例１〜実施例５の効果に加えて、各コンタクトピン１６ａ，１６ｂの軸方向の位置決めに利用するための段差８を被覆２ａ，２ｂを残して設けたため、位置決め部材との接触が被覆２ａ，２ｂを介して行われることとなり、滑り性および絶縁性の両方において好適となる。

【0056】

−実施例７−
図２２は、実施例７に係る２芯コンタクトプローブ１６を示す正面図である。
この２芯コンタクトプローブ１７は、実施例６の２芯コンタクトプローブ１６を作成した後、コンタクトピン１７ａ，１７ｂを分離するための切込みＷを被覆３に結合部分６のみを介して例えばレーザ装置で入れた構成である。結合部分６は、先端部と基端部の中間よりやや基端部寄りの例えば約５ｍｍ長の部分とする。

【0057】

実施例７の２芯コンタクトプローブ１７及びその製造方法によれば、実施例６の効果に加えて、第１コンタクトピン１７ａと第２コンタクトピン１７ｂとが結合部分６のみでしか一体化されていないため、第１コンタクトピン１７ａと第２コンタクトピン１７ｂとが別個に撓みうる自由度を大きくすることが出来る。

【0058】

なお、実施例６の２芯コンタクトプローブ１６の代わりに実施例１〜実施例５の２芯コンタクトプローブ１１〜１５を用いても同様である。

【0059】

−実施例８−
図２３の（ａ）は、実施例８に係る２芯コンタクトプローブ１８を示す正面図である。図２３の（ｂ）は同側面図である。
この２芯コンタクトプローブ１８は、第１コンタクトピン１８ａと第２コンタクトピン１８ｂとを平行に且つ被覆３を介して一体化したものである。
各コンタクトピン１８ａ，１８ｂの各先端部には、各コンタクトピン１８ａ，１８ｂの各軸線Ａｘ，Ｂｘと傾斜して交差する各傾斜面４ａ，４ｂがそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されている。
各コンタクトピン１８ａ，１８ｂの各基端部には、各コンタクトピン１８ａ，１８ｂの各軸線Ａｘ，Ｂｘを回転軸とする回転面７ａ，７ｂが同じ向きにそれぞれ形成されている。
２芯コンタクトプローブ１８の断面は、図２と同様である。

【0060】

図３，図４，図２４〜図２７を参照して２芯コンタクトプローブ１８の製造方法を説明する。

【0061】

まず図３に示すように、例えば直径約１１０μｍのタングステン線のような導線１ａを直線矯正装置Ａに通して所定の直線性を持つ導線１ｂとし、これをロールＲａに巻き取る。
次に図４に示すように、導線１ｂを被覆焼付装置Ｂに通して例えば厚さ約１０μｍのポリエステル被覆のような被覆２を形成した被覆導線１ｃとし、これをロールＲｂに巻き取る。
次に図２４に示すように、被覆導線１ｃをカット装置Ｄに通して例えば長さ３０ｍｍのような所定長の電線１ｋとし、これをトレイＱに収容する。
次に、図２５に示すように、電線１ｋの基端部を軸線Ａｘを中心軸とする円錐面７ａに加工し、電線１ｍとする。
次に、図２６に示すように、第１電線１ｍ−１と第２電線１ｍ−２の２本の電線１ｍの結合部分６を接着剤で接着し、２芯平行電線１ｎとする。結合部分６は、先端部と基端部の中間よりやや基端部寄りの例えば約５ｍｍ長の部分とする。
なお、第２電線１ｍ−２の円錐面を第１電線１ｍ−１の円錐面７ａと識別するため、符号を７ｂとしている。

【0062】

次に図２７に示すように、複数の２芯平行電線１ｎを、一つの仮想平面Ｐｅ上に平行に且つ第１電線１ｍ−１と第２電線１ｍ−２の両軸線Ａｘ，Ｂｘを含む平面Ｐが仮想平面Ｐｅに直交する向きになるように且つ軸線Ａｘ，Ｂｘと直交する仮想直線Ｌｇ上に円錐面７ａ，７ｂの頂点を揃えて並べて、先端部研磨用治具Ｅの第１保持具Ｅａと第２保持具Ｅｂとで弾性的に挟持する。

【0063】

この後、図９，図１０を参照して説明したのと同様の加工を２芯平行電線１ｎの先端部に施せば、２芯コンタクトプローブ１８を製造できる。

【0064】

実際例８の２芯コンタクトプローブ１８及びその製造方法によれば、第１電線１ｍ−１と第２電線１ｍ−２とを接着し一体化する際、基端部が傾斜面でなく円錐面７ａ，７ｂなので、向きを調整する必要がない。従って、マイクロスコープを用いて２本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。

【0065】

−実施例９−
図２８の（ａ）は、実施例９に係る２芯コンタクトプローブ１９を示す左側面である。図２８の（ｂ）は同正面図である。図２８の（ｃ）は同右側面図である。
この２芯コンタクトプローブ１９は、被覆３および図２に示す被覆２ａ，２ｂが傾斜面５ａ，５ｂの間際まで残されている以外は、実施例１の２芯コンタクトプローブ１１と同様の構成である。

【0066】

なお、被覆２ａ，２ｂ，３を除去する範囲には特に限定はなく、図１に示すように基端側および先端側の数ｍｍの範囲を除去してもよいし、図２８に示すように基端側は傾斜面５ａ，５ｂの間際まで被覆２ａ，２ｂ，３を残してもよい。
また、図１４に示すように２芯コンタクトプローブ保持具２０のストッパー部分に被覆２ａ，２ｂ，３の先端側端を当接させる場合には、検査対象面Ｌまでの距離を考慮した設計に基づいて被覆２ａ，２ｂ，３の先端側部分を除去すればよい。

【産業上の利用可能性】

【0067】

本発明の２芯コンタクトプローブ、２芯コンタクトプローブ・ユニット及びその製造方法は、例えば回路基板の検査装置として利用することが出来る。

【符号の説明】

【0068】

１ｅ〜１ｊ，１ｎ ２芯平行電線
２ 被覆
３ 被覆（または融着被覆）
４ａ，４ｂ 傾斜面
５ａ，５ｂ 傾斜面
５ａ’，５ｂ’ 傾斜面
５ａ”，５ｂ” 傾斜面
５ａ１，５ｂ１，５ａ２，５ｂ２ 傾斜面
５ａ１’，５ｂ１’，５ａ２’，５ｂ２’ 傾斜面
７ａ，７ｂ 円錐面
９ａ，９ｂ 平面
１１〜１９ ２芯コンタクトプローブ
１１ａ，１１ｂ コンタクトピン
１２ａ，１２ｂ コンタクトピン
１３ａ，１３ｂ コンタクトピン
１５ａ，１５ｂ コンタクトピン
１６ａ，１６ｂ コンタクトピン
１７ａ，１７ｂ コンタクトピン
１８ａ，１８ｂ コンタクトピン
２０ ２芯コンタクトプローブ保持具
３０ ２芯コンタクトプローブ・ユニット
Ａｘ，Ｂｘ 軸線
Ｅ 先端部研磨用治具
Ｆ 研磨面
Ｇ 基端部研磨用治具
Ｐ 軸線Ａｘ，Ｂｘを含む平面
Ｐｅ，Ｐｇ 仮想平面

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】