特許 6068925 プローブの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6068925

(24)【登録日】2017年1月6日

(45)【発行日】2017年1月25日

(54)【発明の名称】プローブの製造方法

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/067 20060101AFI20170116BHJP

   G01R 1/073 20060101ALI20170116BHJP

   H01L 21/66 20060101ALN20170116BHJP

【ＦＩ】

   G01R1/067 G

   G01R1/073 E

   !H01L21/66 B

【請求項の数】14

【全頁数】33

(21)【出願番号】特願2012-234066(P2012-234066)

(22)【出願日】2012年10月23日

(65)【公開番号】特開2014-85216(P2014-85216A)

(43)【公開日】2014年5月12日

【審査請求日】2015年6月11日

(73)【特許権者】

【識別番号】000153018

【氏名又は名称】株式会社日本マイクロニクス

(74)【代理人】

【識別番号】100166338

【弁理士】

【氏名又は名称】関口 正夫

(74)【代理人】

【識別番号】100152054

【弁理士】

【氏名又は名称】仲野 孝雅

(74)【代理人】

【識別番号】100150898

【弁理士】

【氏名又は名称】祐成 篤哉

(74)【代理人】

【識別番号】100120569

【弁理士】

【氏名又は名称】大阿久 敦子

(72)【発明者】

【氏名】那須 美佳

【審査官】 菅藤 政明

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００８−１９１０２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−１５１５１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−１５７５９６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｒ １／０６７

Ｇ０１Ｒ １／０７３

Ｈ０１Ｌ ２１／６６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

プローブの製造方法であって、
基台上に配置された犠牲層上に該犠牲層が露出する凹所を、前記プローブおよび該プローブに連結する固定タブの平面形状に対応するようにレジストで形成する第１の工程と、
前記凹所内にプローブ材料を堆積し、前記プローブおよび該プローブに連結する前記固定タブを形成する第２の工程と、
前記レジストを除去する第３の工程と、
エッチング処理により、前記犠牲層の一部を残してその残部を除去し、その残存する該犠牲層の一部により前記基台上に支持された前記プローブおよび前記固定タブを形成する第４の工程と、
前記プローブを前記基台から取り外す第５の工程と
を有し、
前記固定タブは、複数の支持板と、該複数の支持板の間を連結する１つ以上の連結部とを有して構成され、
第１の工程は、前記複数の支持板と前記１つ以上の連結部とを有する前記固定タブの平面形状に対応するように前記凹所の前記固定タブに対応する部分を形成することによって、前記凹所を形成し、
第４の工程は、前記プローブ下の前記犠牲層部分を残すことなく除去する一方、前記固定タブの前記複数の支持板のぞれぞれの下に前記犠牲層部分を残すことによって前記固定タブの下に前記犠牲層部分を残し、残存する該犠牲層部分を複数の支持点として、該基台上に支持された前記プローブおよび前記固定タブを形成することを特徴とするプローブの製造方法。

【請求項2】

前記連結部は、直線、曲線またはそれらの組み合わせからなる形状を有することを特徴とする請求項１に記載のプローブの製造方法。

【請求項3】

第４の工程は、前記複数の支持板のそれぞれの下に前記犠牲層部分を残すとともに、該複数の支持板の少なくとも一つの下には、互いに離間する複数の前記犠牲層部分を残すようにされ、
前記複数の支持板の下に残存する前記犠牲層部分の３点以上により前記基台上に支持された前記プローブおよび前記固定タブを形成することを特徴とする請求項１または２に記載のプローブの製造方法。

【請求項4】

前記プローブに連結する前記固定タブは、前記プローブに連結する第１の支持板と、該第１の支持板に連結する第２の支持板とを有して構成されて、該第１の支持板および該第２の支持板がそれぞれ前記固定タブの複数の支持板を構成し、該第１の支持板および該第２の支持板はそれぞれ、第４の工程の前記エッチング処理によって前記プローブ下の前記犠牲層部分が除去されたときに、該第１の支持板および該第２の支持板の下の前記犠牲層部分が残るのに充分な平面形状を有し、
第１の工程は、前記第１の支持板と前記第２の支持板と前記連結部とを有する前記固定タブの平面形状に対応するように前記凹所の該固定タブに対応する部分を形成して、前記プローブおよび該固定タブの平面形状に対応するように、前記凹所を形成し、
第４の工程は、前記プローブ下の前記犠牲層部分を残すことなく除去するとともに、前記第１の支持板および前記第２の支持板のぞれぞれの下に前記犠牲層部分を残すようにされ、該第１の支持板の下に残存する該犠牲層部分と、該第２の支持板の下に残存する該犠牲層部分とを２点の支持点として、前記基台上に支持された前記プローブおよび前記固定タブを形成し、
第５の工程は、前記プローブと前記固定タブの前記第１の支持板との間を分離して、該プローブを前記基台から取り外すよう構成されることを特徴とする請求項１または２に記載のプローブの製造方法。

【請求項5】

前記固定タブは、第１の連結部を介して前記プローブに連結するとともに、前記第１の支持板と前記第２の支持板とを連結する第２の連結部を有し、
前記第２の連結部は、直線、曲線またはそれらの組み合わせからなる形状を有して前記複数の支持板の間を連結する連結部を構成し、
第１の工程は、前記第１の支持板、前記第２の支持板および前記第２の連結部を有する前記固定タブの平面形状に対応するように、前記凹所の前記固定タブに対応する部分を形成することを特徴とする請求項４に記載のプローブの製造方法。

【請求項6】

前記プローブに連結する前記固定タブは、前記プローブに連結する第１の支持板と、該第１の支持板に連結する第２の支持板と、該第２の支持板に連結する第３の支持板とを有して構成されて、該第１の支持板、該第２の支持板および該第３の支持板がそれぞれ前記固定タブの複数の支持板を構成し、該第１の支持板、該第２の支持板および該第３の支持板はそれぞれ、第４の工程の前記エッチング処理によって前記プローブ下の前記犠牲層部分が除去されたときに、該第１の支持板、該第２の支持板および該第３の支持板の下の前記犠牲層部分が残るのに充分な平面形状を有し、
前記第１の工程は、前記第１の支持板、前記第２の支持板および前記第３の支持板と前記連結部とを有する前記固定タブの平面形状に対応するように前記凹所の該固定タブに対応する部分を形成して、前記プローブおよび該固定タブの平面形状に対応するように、前記凹所を形成し、
第４の工程は、前記プローブ下の前記犠牲層部分を残すことなく除去するとともに、前記第１の支持板、前記第２の支持板および前記第３の支持板のぞれぞれの下に前記犠牲層部分を残すようにされ、該第１の支持板の下に残存する該犠牲層部分、該第２の支持板の下に残存する該犠牲層部分および該第３の支持板の下に残存する該犠牲層部分を３点の支持点として、前記基台上に支持された前記プローブおよび前記固定タブを形成し、
第５の工程は、前記プローブと前記固定タブの前記第１の支持板との間を分離して、該プローブを前記基台から取り外すよう構成されることを特徴とする請求項１または２に記載のプローブの製造方法。

【請求項7】

前記固定タブは、第１の連結部を介して前記プローブに連結するとともに、前記第１の支持板と前記第２の支持板とを連結する第２の連結部と、前記第２の支持板と前記第３の支持板とを連結する第３の連結部とを有し、
前記第２の連結部および前記第３の連結部は、互いに独立に、直線、曲線またはそれらの組み合わせからなる形状を有してそれぞれが前記複数の支持板の間を連結する連結部を構成し、
第１の工程は、前記第１の支持板、前記第２の支持板、前記第３の支持板、前記第２の連結部および前記第３の連結部を有する前記固定タブの平面形状に対応するように、前記凹所の前記固定タブに対応する部分を形成することを特徴とする請求項６に記載のプローブの製造方法。

【請求項8】

プローブの製造方法であって、
基台上に配置された犠牲層上に該犠牲層が露出する凹所を、前記プローブおよび該プローブに連結する固定タブの平面形状に対応するようにレジストで形成する第１の工程と、
前記凹所内にプローブ材料を堆積し、前記プローブおよび該プローブに連結する前記固定タブを形成する第２の工程と、
前記レジストを除去する第３の工程と、
エッチング処理により、前記犠牲層の一部を残してその残部を除去し、その残存する該犠牲層の一部により前記基台上に支持された前記プローブおよび前記固定タブを形成する第４の工程と、
前記プローブを前記基台から取り外す第５の工程と
を有し、
前記固定タブは、１つの支持板を有して構成され、
第１の工程は、前記１つの支持板を有する前記固定タブの平面形状に対応するように前記凹所の前記固定タブに対応する部分を形成することによって、前記凹所を形成し、
第４の工程は、前記プローブ下の前記犠牲層部分を残すことなく除去する一方、前記固定タブの前記１つの支持板の下に該支持板の長手方向に離間する複数の前記犠牲層を残すことによって該固定タブの下に前記犠牲層部分を残し、残存する該犠牲層部分を複数の支持点として、該基台上に支持された前記プローブおよび前記固定タブを形成することを特徴とするプローブの製造方法。

【請求項9】

前記プローブは、本体部と、該本体部から横方向へ伸びるアーム部と、該アーム部に一体的に設けられ、該アーム部から縦方向へ伸長してその先端に針が設けられる針先部とを備え、全体に板状の形状を有し、
前記複数の支持板はそれぞれ、前記本体部の面積よりも大きな面積を有し、
第１の工程は、前記凹所の前記本体部に対応する部分の平面形状の面積よりも、前記固定タブに対応する部分の平面形状の面積が大きくなるように、該凹所を形成することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のプローブの製造方法。

【請求項10】

前記プローブは、本体部と、該本体部から横方向へ伸びるアーム部と、該アーム部に一体的に設けられ、該アーム部から縦方向へ伸長してその先端に針が設けられる針先部とを備え、全体に板状の形状を有し、
前記固定タブは、前記プローブの前記本体部の側部に連結する構造を有し、
第１の工程は、前記プローブおよび該プローブの前記本体部の側部に連結する固定タブの平面形状に対応するように、前記凹所を形成することを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のプローブの製造方法。

【請求項11】

前記プローブは、本体部と、該本体部から横方向へ伸びるアーム部と、該アーム部に一体的に設けられ、該アーム部から縦方向へ伸長してその先端に針が設けられる針先部とを備え、全体に板状の形状を有し、
前記プローブの前記アーム部は、前記本体部と前記針先部との間で、該プローブの厚み方向に貫通し、且つ、該アーム部の長手方向に伸長する開口部が設けられ、
前記固定タブは、前記プローブの前記アーム部の前記開口部内に配置されて、該プローブと連結する構造を有し、
第１の工程は、前記プローブおよび該プローブの前記アーム部の前記開口部内に配置されて該プローブに連結する前記固定タブの平面形状に対応するように、前記凹所を形成することを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のプローブの製造方法。

【請求項12】

前記固定タブを前記基台上に支持する前記複数の支持点は、それぞれが互いに離間するとともに、前記基台の面と平行な断面が、円、楕円、多角形および星形よりなる群から選択されたいずれかの断面形状を有し、
第１の工程は、第４の工程のエッチング処理によって前記複数の支持点のそれぞれが前記断面形状を有して構成されるように、前記凹所の前記固定タブの平面形状に対応する部分を形成することを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載のプローブの製造方法。

【請求項13】

前記固定タブを前記基台上に支持する前記複数の支持点は、それぞれが互いに離間するとともに、前記基台の面と平行な断面が等しい面積を有し、
第１の工程は、第４の工程のエッチング処理によって前記複数の支持点のそれぞれの前記断面の面積が等しくなるように、前記凹所の前記固定タブの平面形状に対応する部分を形成することを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１項に記載のプローブの製造方法。

【請求項14】

前記固定タブを前記基台上に支持する前記複数の支持点は、それぞれが互いに離間するとともに、前記基台の面と平行な断面が異なる面積を有し、
第１の工程は、第４の工程のエッチング処理によって前記複数の支持点のそれぞれの前記断面の面積が異なるように、前記凹所の前記固定タブの平面形状に対応する部分を形成することを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１項に記載のプローブの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、プローブの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体集積回路（ＩＣ）は、半導体ウエハ上に多数が形成され、その後、チップ毎に分離されて使用される。そのＩＣは、そのチップ毎の分離に先立ち、性能評価のための電気的試験を行うのが通常である。

【0003】

この電気的試験には、上述したＩＣのような各被検査体の電極に対して電気的接続を行うための複数のプローブを備えるプローブカードのようなプローブ組立体、すなわち電気的接続装置が用いられ、被検査体は電気的接続装置を経て試験手段であるテスタに接続される。

【0004】

この電気的接続装置に用いられる従来のプローブの１つとして、板状のプローブ本体部と、そのプローブ本体部に設けられたアーム部と、アーム部の先に設けられて被検査体の電極に当接される針先部とを備えるものがある（例えば、特許文献１を参照のこと。）。針本体部を靭性に優れた金属材料で形成することにより、針先部が被検査体の電極に押し付けられたとき、アーム部の弾性変形に伴って針先部を被検査体の電極上で滑らせることができる。この針先の滑りにより被検査体の電極上の酸化膜を削ることができる。すなわち、プローブのプローブ本体部に弾性変形を生じさせるオーバドライブを作用させることにより、針先部の先端で電極の酸化膜を除去し、両者の確実な電気的接触を得ることができる。

【0005】

このようなプローブの形成は、先ず、シリコンウエハを基台として、その基台上にフォトリソグラフィ技術を利用してプローブ全体の平面形状を感光性のフォトレジストで模る。次いで、そのレジストにより模られた基台上の凹所に所望とする金属材料を順次堆積する。そして、プローブを形成した後、プローブをその基台から取り外すことにより形成することができる（例えば、特許文献２および特許文献３を参照のこと。）。

【0006】

このとき、形成されたプローブを基台から取りはずために、エッチング技術が利用されている。例えば、基台表面には、プローブの材料と異なる、例えば、銅等の金属材料からなる犠牲層が形成され、その犠牲層上にプローブの材料が堆積される。そして、例えば、エッチング液を用いたウエットエッチによって、その犠牲層を除去することにより、形成されたプローブを基台から剥離して取り外すことができる。

【0007】

しかし、プローブは、多数が基台上に一括的に形成される。そのため、プローブ下層の犠牲層が完全に除去されるまでエッチングを行った場合、微細な多数のプローブがエッチング液中に浮遊することとなり、それらの取り扱いに困難が生じることになる。

【0008】

そのため、プローブ形成時のエッチング処理は、プローブと基台との間に、そのプローブを取り外し容易に支持する支持部として、必要な最小限の適量部分の犠牲層を残した状態で処理を終了することが望ましい。その場合、基台上に留まった状態のプローブをそれぞれ、工具を用いて剥離し、取り外すことができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0009】

【特許文献1】特開２００８−１９０８８５号公報

【特許文献2】特開２００８−１６４５７５号公報

【特許文献3】特開２００８−１９１０２７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0010】

しかしながら、その場合、上述したエッチング処理の時間が不足すると、多量の犠牲層が支持部としてプローブと基台との間に残ることになる。残存する多量の犠牲層（支持部）によって基台に付着したプローブを引き剥がすには、強い力が必要となる。また、そうした処理では、プローブを変形させてしまう虞がある。

【0011】

そこで、特許文献３に記載されるように、基台上にプローブを形成するに際し、レジストにより模られた基台上の凹所を所定の形状とし、そこにプローブの材料を堆積し、プローブとそれに連結するプローブ固定用の固定タブとを一体的に形成する方法が知られている。

【0012】

図１は、従来のプローブの製造方法を説明する図であり、図１（ａ）は、プローブと固定タブとを模式的に示す平面図であり、図１（ｂ）は基台上のプローブと固定タブとを模式的に示す断面図である。

【0013】

図１では、プローブ１００１の形状を、便宜上、模式的に示している。
図１（ａ）に示すように、基台（図１（ａ）中、図示されない。）上には、プローブ１００１と、連結部１００４を介してプローブ１００１と連結する固定タブ１００２とが形成される。

【0014】

この従来のプローブ１００１の製造方法では、図１（ｂ）に示すように、上述したエッチング処置により、プローブ１００１と基台１００５との間の犠牲層を残すことなく除去するとともに、所定の面積と形状の固定タブ１００２と基台１００５との間に、犠牲層の一部として、支持部１００３を１点残す。固定タブ１００２は、プローブ１００１下の犠牲層部分がエッチング処理によって除去されたときに、その固定タブ１００２下の犠牲層の一部が残存するのに十分な平面形状を有する。したがって、従来のプローブ１００１の製造方法は、基台１００５上のプローブ１００１それぞれに対し、それに連結する固定タブ１００２と基台１００５との間にのみ、１点の支持部１００３を残すかたちでエッチング処理を行う。

【0015】

その後、従来のプローブ１００１の製造方法では、各プローブ１００１を、基台１００５上に支持部１００３によってそれぞれ支持された固定タブ１００２から分離する。プローブ１００１の分離は、図１（ａ）の点線で模式的に示すように、連結部１００４を所定の位置で分断することによって行われる。その結果、上述したような剥離処理による損傷を与えることなく、プローブ１００１を基台１００５から取り外すことができる。

【0016】

しかしながら、上述した従来のプローブの製造方法では、プローブ製造の工程で行われる加熱処理等によってプローブや固定タブに生じた応力が、その後のエッチング処理の工程で固定タブに集中することがある。そうした固定タブへの応力の集中は、固定タブに反りを生じさせることがある。その結果、製造工程の途中で、基台上に形成されたプローブが、固定タブに連結されたまま基台から剥離し、基台上から脱落することがあった。そして、プローブの製造歩留まりを低下させることがあった。

【0017】

そこで、基台上に形成されたプローブが、その製造の途中工程で、基台から脱落することを低減できるプローブの製造方法が求められている。

【0018】

本発明は、こうした従来のプローブの製造方法における、基台からのプローブの脱落の問題に鑑みてなされたものである。

【0019】

すなわち、本発明の目的は、基台からのプローブの脱落を低減するプローブの製造方法を提供することである。

【0020】

本発明の他の目的および利点は、以下の記載から明らかとなるであろう。

【課題を解決するための手段】

【0021】

本発明は、プローブの製造方法であって、
基台上に配置された犠牲層上にその犠牲層が露出する凹所を、プローブおよびそのプローブに連結する固定タブの平面形状に対応するようにレジストで形成する第１の工程と、
レジストの凹所内にプローブ材料を堆積し、プローブおよびそのプローブに連結する固定タブを形成する第２の工程と、
レジストを除去する第３の工程と、
エッチング処理により、犠牲層の一部を残してその残部を除去し、その残存する犠牲層の一部により基台上に支持されたプローブおよび固定タブを形成する第４の工程と、
プローブを基台から取り外す第５の工程と
を有し、
第４の工程は、プローブ下の犠牲層部分を残すことなく除去する一方、固定タブの下に犠牲層部分を残し、残存するその犠牲層部分を複数の支持点として、基台上に支持されたプローブおよび固定タブを形成することを特徴とするプローブの製造方法に関する。

【0022】

本発明において、固定タブを基台上に支持する複数の支持点は、それぞれが互いに離間するとともに、基台の面と平行な断面が、円、楕円、多角形および星形よりなる群から選択されたいずれかの断面形状を有し、
第１の工程は、第４工程のエッチング処理によって複数の支持点のそれぞれが円、楕円、多角形および星形よりなる群から選択されたいずれかの断面形状を有して構成されるように、凹所の固定タブの平面形状に対応する部分を形成することが好ましい。

【0023】

本発明において、固定タブを基台上に支持する複数の支持点は、それぞれが互いに離間するとともに、基台の面と平行な断面が等しい面積を有し、
第１の工程は、第４工程のエッチング処理によって複数の支持点のそれぞれの断面の面積が等しくなるように、レジストの凹所の固定タブの平面形状に対応する部分を形成することが好ましい。

【0024】

本発明において、固定タブを基台上に支持する複数の支持点は、それぞれが互いに離間するとともに、基台の面と平行な断面が異なる面積を有し、
第１の工程は、第４工程のエッチング処理によって複数の支持点のそれぞれの断面の面積が異なるように、レジストの凹所の固定タブの平面形状に対応する部分を形成することが好ましい。

【0025】

本発明において、固定タブは、複数の支持板と、その複数の支持板の間の連結する１つ以上の連結部とを有して構成され、
第１の工程は、複数の支持板と１つ以上の連結部とを有する固定タブの平面形状に対応するように、レジストの凹所の固定タブに対応する部分を形成し、
第４の工程は、固定タブの複数の支持板のぞれぞれの下に犠牲層部分を残すことが好ましい。

【0026】

本発明において、連結部は、直線、曲線またはそれらの組み合わせからなる形状を有することが好ましい。

【0027】

本発明において、プローブに連結する固定タブは、そのプローブに連結する第１の支持板と、第１の支持板に連結する第２の支持板とを有して構成され、第１の支持板および第２の支持板はそれぞれ、第４の工程のエッチング処理によってプローブ下の犠牲層部分が除去されたときに、第１の支持板および第２の支持板の下の犠牲層部分が残るのに充分な平面形状を有し、
第１の工程は、プローブ並びに第１の支持板および第２の支持板を有する固定タブの平面形状に対応するように、レジストの凹所を形成し、
第４の工程は、プローブ下の犠牲層部分を残すことなく除去するとともに、第１の支持板および第２の支持板のぞれぞれの下に犠牲層部分を残すようにされ、第１の支持板の下に残存する犠牲層部分と、第２の支持板の下に残存する犠牲層部分とを２点の支持点として、基台上に支持されたプローブおよび固定タブを形成し、
第５の工程は、プローブと固定タブの第１の支持板との間を分離して、プローブを基台から取り外すよう構成されることが好ましい。

【0028】

本発明において、固定タブは、第１の連結部を介してプローブに連結するとともに、第１の支持板と第２の支持板と連結する第２の連結部を有し、
第２の連結部は、直線、曲線またはそれらの組み合わせからなる形状を有し、
第１の工程は、第１の支持板、第２の支持板および第２の連結部を有する固定タブの平面形状に対応するように、レジストの凹所の固定タブに対応する部分を形成することが好ましい。

【0029】

本発明において、第４の工程は、第１の支持板および第２の支持板のぞれぞれの下に犠牲層部分を残すとともに、第１の支持板および第２の支持板の少なくとも一方の下には、互いに離間する複数の犠牲層部分を残すようにされ、
第１の支持板および第２の支持板の下に残存する犠牲層部分の３点以上により基台上に支持されたプローブおよび固定タブを形成することが好ましい。

【0030】

本発明において、プローブに連結する固定タブは、プローブに連結する第１の支持板と、第１の支持板に連結する第２の支持板と第２の支持板に連結する第３の支持板を有して構成され、第１の支持板、第２の支持板および第３の支持板はそれぞれ、第４の工程のエッチング処理によってプローブ下の犠牲層部分が除去されたときに、第１の支持板、第２の支持板および第３の支持板の下の犠牲層部分が残るのに充分な平面形状を有し、
第１の工程は、プローブ並びに第１の支持板、第２の支持板および第３の支持板を有する固定タブの平面形状に対応するように、レジストの凹所を形成し、
第４工程は、プローブ下の犠牲層部分を残すことなく除去するとともに、第１の支持板、第２の支持板および第３の支持板のぞれぞれの下に犠牲層部分を残すようにされ、第１の支持板の下に残存する犠牲層部分、第２の支持板の下に残存する犠牲層部分および第３の支持板の下に残存する犠牲層部分を３点の支持点として、基台上に支持されたプローブおよび固定タブを形成し、
第５工程は、プローブと固定タブの第１の支持板との間を分離して、プローブを基台から取り外すよう構成されることが好ましい。

【0031】

本発明において、固定タブは、第１の連結部を介してプローブに連結するとともに、第１の支持板と第２の支持板とを連結する第２の連結部と、第２の支持板と第３の支持板とを連結する第３の連結部とを有し、
第２の連結部および第３の連結部は、互いに独立に、直線、曲線またはそれらの組み合わせからなる形状を有し、
第１の工程は、第１の支持板、第２の支持板、第３の支持板、第２連結部および第３の連結部を有する固定タブの平面形状に対応するように、レジストの凹所の固定タブに対応する部分を形成することが好ましい。

【0032】

本発明において、プローブは、本体部と、その本体部から横方向へ伸びるアーム部と、そのアーム部に一体的に設けられ、アーム部から縦方向へ伸長してその先端に針が設けられる針先部とを備え、全体に板状の形状を有し、
第１の支持板および第２の支持板はそれぞれ、本体部の面積よりも大きな面積を有し、
第１の工程は、レジストの凹所の本体部に対応する部分の平面形状の面積よりも、固定タブに対応する部分の平面形状の面積が大きくなるように、レジストの凹所を形成することが好ましい。

【0033】

本発明において、固定タブは、プローブの本体部の側部に連結する構造を有し、
第１の工程は、プローブおよびそのプローブの本体部の側部に連結する固定タブの平面形状に対応するように、レジストの凹所を形成することが好ましい。

【0034】

本発明において、プローブのアーム部は、本体部と針先部との間で、プローブの厚み方向に貫通し、且つ、アーム部の長手方向に伸長する開口部が設けられ、
固定タブは、プローブのアーム部の開口部内に配置されて、そのプローブと連結する構造を有し、
第１の工程は、プローブおよびそのプローブのアーム部の開口部内に配置されてそのプローブに連結する固定タブの平面形状に対応するように、レジストの凹所を形成することが好ましい。

【発明の効果】

【0035】

本発明によれば、基台からのプローブの脱落を低減するプローブの製造方法が提供される。

【図面の簡単な説明】

【0036】

【図1】従来のプローブの製造方法を説明する図であり、（ａ）は、プローブと固定タブとを模式的に示す平面図であり、（ｂ）は基台上のプローブと固定タブとを模式的に示す断面図である。

【図2】本発明の実施形態のプローブ組立体を模式的に示す側面図である。

【図3】本発明の実施形態のプローブを模式的に示す平面図である。

【図4】（ａ）〜（ｅ）は、本発明の第１実施形態のプローブの製造方法を示す工程図である。

【図5】本発明の第１実施形態のプローブの製造方法によって製造されるプローブと第１の連結部と固定タブの構造を模式的に示す図である。

【図6】本発明の第１実施形態のプローブの製造方法の途中段階で製造される基台上のプローブと固定タブとを説明する図であり、（ａ）は、プローブと固定タブとを模式的に示す平面図であり、（ｂ）は基台上のプローブと固定タブとを模式的に示す断面図である。

【図7】本発明の第１実施形態のプローブの製造方法で基台上に形成されるプローブと固定タブの別の例を模式的に示す平面図である。

【図8】本発明の第１実施形態のプローブの製造方法で基台上に形成されるプローブと固定タブのさらに別の例を模式的に示す平面図である。

【図9】本発明の第２実施形態のプローブの製造方法で基台上に形成されるプローブと固定タブの第１例を模式的に示す平面図である。

【図10】本発明の第２実施形態のプローブの製造方法で基台上に形成されるプローブと固定タブの第２例を模式的に示す平面図である。

【図11】本発明の第２実施形態のプローブの製造方法で基台上に形成されるプローブと固定タブの第３例を模式的に示す平面図である。

【図12】本発明の第２実施形態のプローブの製造方法で基台上に形成されるプローブと固定タブの第４例を模式的に示す平面図である。

【図13】本発明の第３実施形態のプローブの製造方法で基台上に形成されるプローブと固定タブの第１例を模式的に示す平面図である。

【図14】本発明の第３実施形態のプローブの製造方法で基台上に形成されるプローブと固定タブの第２例を模式的に示す平面図である。

【図15】本発明の第３実施形態のプローブの製造方法で基台上に形成されるプローブと固定タブの第３例を模式的に示す平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0037】

本発明のプローブの製造方法によって製造される、本発明の実施形態のプローブは、複数がプローブカードのようなプローブ組立体に用いられて電気的接続装置を構成し、ＩＣのような被検査体の電気的接続のために使用することができる。

【0038】

図２は、本発明の実施形態のプローブ組立体を模式的に示す側面図である。

【0039】

図２に示すように、本発明の実施形態のプローブ組立体１０は、平面形状が全体に円形である配線基板１２と、配線基板１２の下面１２ａの中央部に取り付けられた矩形平面形状のプローブ基板１４と、プローブ基板１４の一方の面１４ａに取り付けられた多数のプローブ１６とを備える。

【0040】

各プローブ１６は、プローブ基板１４の一方の面１４ａ上に形成された対応する導電路（図示されない）のそれぞれの接続部（図示されない）に固着されている。プローブ基板１４は、プローブ１６が設けられた一方の面１４ａと反対側の面を配線基板１２の下面１２ａに対向させて、配線基板１２に固定されている。

【0041】

配線基板１２は、内部に導電路（図されない）が組み込まれた電気絶縁性の材料からなる。配線基板１２の上面の周縁部には、テスタ（図示されない）への接続端となる多数のテスタランド（図示されない）が設けられている。配線基板１２に取り付けられたプローブ基板１４の各プローブ１６は、プローブ基板１４の対応する導電路および配線基板１２内の対応する導電路を経て、上述した配線基板１２の対応する各テスタランドに電気的に接続される。これにより、各プローブ１６は、配線基板１２の対応するテスタランドを経て、上述したテスタに電気的に接続される。

【0042】

図３は、本発明の実施形態のプローブを模式的に示す平面図である。

【0043】

図３は、本発明の実施形態のプローブ１６の一例を模式的に示している。したがって、後に説明する、製造時に形成される、固定タブとの間の分離痕は省略している。

【0044】

本発明の実施形態のプローブ１６は、全体に平板状の形状を有する。プローブ１６は、プローブ基板１４（図３中には図示されない。）に設けられた接続部への取付け端２２ａを有する本体部２２と、本体部２２の下端から横方向に伸びるアーム部２４と、アーム部２４の先端から縦方向すなわち下方へ伸びる針先部２６とを備え、針先部２６の先端に針先２６ａが形成されている。この本体部２２の側部には、後述する固体タブと間の分離痕が残るが、図示省略している。

【0045】

アーム部２４には、図示の例では、本体部２２と針先部２６との間で、プローブ１６の板厚方向に貫通し、且つ、アーム部２４の長手方向に伸長する開口部２８が形成されている。この開口部２８により、アーム部２４は互いに間隔をおいて並行する一対のアーム部分２４ａ、２４ｂに区画されている。開口部２８は、図示の例では、その一端が本体部２２に至るように形成されている。

【0046】

また、本体部２２には、プローブ１６の板厚方向に貫通する開口部３０が形成されている。

【0047】

本発明の実施形態のプローブ１６において、アーム部２４の開口部２８を設けない構造も可能であるが、プローブ１６が被検査体（図示されない）に押圧されたときに、アーム部２４に対して適正な弾性を付与できるように、図示のように開口部２８を形成し、開口部２８によって区画されるアーム部分２４ａ、２４ｂでアーム部２４を構成することが好ましい。

【0048】

また、本発明の実施形態のプローブ１６においては、本体部２２に開口部３０を設けない構造も可能である。しかし、後述するプローブ１６の製造工程において、開口部３０は、本体部２２の下の犠牲層のエッチング処理による除去の促進に有効であり、本体部２２に形成されることが好ましい。

【0049】

本発明の実施形態のプローブ１６の針先２６ａは、上述したテスタを用いた、例えば、ＩＣのような被検査体の電気検査のために、被検査体の電極に押圧される。このとき、プローブ１６の針先２６ａは、両アーム部分２４ａ、２４ｂのしなり変形により、適正な弾性を伴って被検査体の電極（図示されない）に確実に接続される。

【0050】

以上に例示された構造の本発明の実施形態のプローブは、本発明のプローブの製造方法によって、例えば、シリコン結晶基板のような基台の上で、多数を一括的に製造することができる。
本発明のプローブの製造方法は、以下の第１〜第５の工程を有して構成される。

【0051】

（第１の工程）
表面に犠牲層の配置された基台を用い、プローブおよびそのプローブに連結する固定タブの平面形状に対応するように、レジストで、基台上の犠牲層上にその犠牲層が露出する凹所を形成する工程。
（第２の工程）
レジストで形成された凹所内にプローブ材料を堆積し、プローブおよびそのプローブに連結する固定タブを形成する工程。
（第３の工程）
基台上のレジストを除去する工程。
（第４の工程）
エッチング処理により、犠牲層の一部を残してその残部を除去し、その残存する犠牲層の一部により基台上に支持されたプローブおよび固定タブを形成する工程。
（第５の工程）
プローブを基台から取り外す工程。

【0052】

本発明のプローブの製造方法は、プローブを構成するプローブ材料を堆積する第２の工程で、プローブとともにそのプローブに連結する固定タブを形成する。そして、第３の工程でレジストを除去した後、第４の工程において、エッチング処理を行い、基台上に、犠牲層の一部により支持されたプローブと固定タブを形成する。このとき、プローブ下の犠牲層は第４の工程の最終段階で除去されており、犠牲層の一部は固定タブの下にのみ残存することになる。したがって、第４の工程の後の、基台上でのプローブの支持は、そのプローブに連結する固定タブが残存する犠牲層の一部によって固定タブが支持されることによって実現される。第２の工程で形成されたプローブは、第４の工程の後、固定タブに支持されて、基台上で浮いた状態になる。

【0053】

そのため、続く第５の工程では、プローブを基台から強い力で引きはがす作業は不要となり、例えば、プローブと固定タブの連結部分の脆弱な部分を折る等してプローブを固定タブから分離し、プローブを基台から取り外すことができる。

【0054】

以上の各工程を有して構成される本発明のプローブの製造方法は、第４の工程によって形成される基台上のプローブとそのプローブに連結する固定タブにおいて、従来技術にはない特徴を備える。

【0055】

すなわち、図１で説明した従来技術では、プローブ１００１に連結する固定タブ１００２と基台１００５との間に、犠牲層の一部として、支持部１００３を１点のみ残し、１点の支持部１００３により固定タブ１００２が基台１００５上に支持される構造を形成する。この１点支持の構造は、上述したように、加熱等によって発生する応力が、その１点の支持部１００３に集中して、反りを発生させる原因となる。

【0056】

一方、そのような従来技術に対し、本発明のプローブの製造方法では、プローブに連結する固定タブと基台との間で、離間した２点、３点またはそれ以上となる複数の支持部によって、複数点の固定タブの支持を実現する。その結果、固定タブに応力が発生しても、１点の支持点にその応力が集中することはない。固定タブでは、複数の支持点の間の連結部分にその応力を逃がすことができ、固定タブ等において反り等の発生を防止することができる。その結果、本発明のプローブの製造方法は、プローブが製造の途中で基台から脱落することを防止し、プローブを高い歩留まりで製造することができる。

【0057】

本発明のプローブの製造方法では、そうした複数の支持部による固定タブの支持を可能とするため、上述した第２の工程において形成される固定タブの構造を従来にはない新規な構造とする。そして、そのために、本発明のプローブの製造方法は、第１の工程において、レジストの凹所を、その新規な構造の固定タブの平面形状に対応する形状とする。

【0058】

以下、本発明の実施形態のプローブの製造方法について、詳しく説明する。尚、本発明の実施形態のプローブの製造方法では、基台上に多数のプローブを一括的に製造することができるが、図面および説明の簡素化のために、説明に使用する図面には、単一のプローブについての製造工程が便宜的に示されている。

【0059】

また、本発明の実施形態のプローブの製造方法では、途中段階で製造される、基台上に形成されたプローブとそのプローブに連結部を介して連結する固定タブの構造が、上述したように、従来技術にはない特徴的な構造となる。特に、基台上の固定タブの構造が特徴的なものとなる。したがって、本発明の実施形態のプローブの製造方法によって製造されるプローブは、例えば、上述した図３に示す構造を有するものであるが、図面においては、説明の便宜上、その構造を簡略化し、模式的に示すことがある。

【0060】

実施の形態１．
本発明の第１実施形態のプローブの製造方法は、途中の工程で製造される、基台上のプローブとそのプローブに連結する固定タブが、２つの支持部による、固定タブの２点支持によって基台上に固着される構造を有する。そして、本発明の第１実施形態のプローブの製造方法は、例えば、上述した図３に示す構造のプローブ１６を高い歩留まりで製造することができる。

【0061】

図４（ａ）〜（ｅ）は、本発明の第１実施形態のプローブの製造方法を示す工程図である。

【0062】

本発明の第１実施形態のプローブの製造方法では、第１の工程として、図４（ａ）に示すように、基台３２として、表面がエッチングにより鏡面処理されたシリコン結晶基板が準備される。

【0063】

そして、シリコン結晶基板である基台３２上には、犠牲層４２が形成される。犠牲層４２は、例えば、銅を用い、例えば、スパッタ法等により形成することができる。その場合、銅からなる犠牲層４２を成長するに先立って、犠牲層４２の成長を促進するために、例えば、ニッケルのような接着層（図示されない）を、スパッタ法等により、基台３２上に均一に形成することができる。

【0064】

基台３２上、または、基台３２上の接着層上には、上述したように、例えば、銅が、スパッタ法等により好適に堆積される。この銅等の堆積により、質および厚さ寸法が均一な犠牲層４２が形成される。犠牲層４２は、シード層等とも称され、形成材料としては、例えば、上述した銅の他に、銅とニッケルの合金等、後述するエッチング処理をする工程でエッチング可能な材料を選択して用いることができる。

【0065】

次に、犠牲層４２上に感光材料からなるフォトレジスト材料が、例えば、スピンコート法により均一な厚さに塗布される。これにより、基台３２の全面に均一な感光性のレジスト層（図示されない）が形成される。このレジスト層は、マスク（図示せず）を用いて選択露光され、その後、現像される。このマスクは、プローブ１６および後述する第１の連結部３４を介してプローブ１６に連結する固定タブ３６を含むそれら全体の平面形状に対応するパターンを有する。

【0066】

このマスクのパターンのレジスト層への転写により、基台３２上には、凹所４６ａを備えたレジスト４６が形成される。レジスト４６の凹所４６ａは、プローブ１６、第１の連結部３４および固定タブ３６からなる全体の平面形状に対応した平面形状を有する。そして、レジスト４６は、その凹所４６ａの底面に犠牲層４２を露出させるレジストパターンを形成している。

【0067】

このレジスト４６の凹所４６ａは、上述した図３に示すプローブ１６に対応する部分を有する。このプローブ１６に対応する部分は、プローブ１６の本体部２２、アーム部２４（一対のアーム部分２４ａ、２４ｂ）および針先部２６の平面形状に対応する各部分を有している。さらに、レジスト４６は、本体部２２に対応する部分およびアーム部２４に対応する部分において、開口部３０および開口部２８を形成するためパターンを形成している。

【0068】

また、レジスト４６の凹所４６ａは、プローブ１６に対応する部分とともに、第１の連結部３４および固定タブ３６の平面形状にそれぞれ対応する各部分を有している。固定タブ３６は、続く第２工程を説明する際に図５を用いて説明するように、第１の支持板５１と第２の支持板５３とそれらの間を連結する第２の連結部５２とを有して構成される。したがって、本工程では、レジスト４６の凹所４６ａを、上述したようにプローブ１６の平面形状に対応するように形成するとともに、第１の支持板５１と第２の支持板５３とそれらの間を連結する第２の連結部５２とを有して構成される固定タブ３６の平面形状に対応するように形成する。

【0069】

次に、本発明の第１実施形態のプローブの製造方法では、第２の工程として、図４（ｂ）に示すように、レジスト４６の凹所４６ａ内に、プローブ材料を、例えば、電鋳法（電気メッキ法）により堆積する。その結果、本工程においては、凹所４６ａ内にプローブ１６、および、プローブ１６に第１の連結部３４を介して連結する固定タブ３６が、犠牲層４２上に固着して形成される。

【0070】

図５は、本発明の第１実施形態のプローブの製造方法によって製造されるプローブと第１の連結部と固定タブの構造を模式的に示す図である。

【0071】

図５では、プローブ１６の形状を模式的に示す。そして、図５に示すように、固定タブ３６は、第１の連結部３４を介してプローブ１６に連結する第１の支持板５１と、第２の連結部５２を介して第１の支持板５１に連結する第２の支持板５３とを含んで構成される。すなわち、固定タブ３６は、第１の支持板５１と第２の支持板５３とそれらの間を連結する第２の連結部５２とを有して構成される。第１の連結部３４はその中央部付近に、後述する第５の工程でプローブ１６が固定タブ３６から分離されるときに分断される、他に比べて幅の狭い脆弱部分３４ａを有する。そして、固定タブ３６は、図３に示したプローブ１６の本体部２２の、アーム部２４の形成側とは反対側の側部に、第１の連結部３４を介して連結する構造を有する。

【0072】

固定タブ３６の第１の支持板５１および第２の支持板５３はそれぞれ、後述する本実施形態のプローブの製造方法の第４の工程のエッチング処理によって、プローブ１６の本体部２２下の犠牲層４２部分が除去されたときに、第１の支持板５１および第２の支持板５３下の犠牲層４２部分が残るのに充分な平面形状を有する。例えば、第１の支持板５１および第２の支持板５３はそれぞれ、図３に示すプローブ１６の本体部２２の面積よりも大きな面積を有するように構成することができる。尚、その場合の本体部２２の面積とは、開口部３０を除いた本体部２２の面積となる。また、第１の支持板５１および第２の支持板５３はそれぞれ、図５に示す第１の連結部３４および第２の連結部５２のいずれよりも大きな平面形状を有する。

【0073】

上述した本実施形態のプローブの製造方法の第１の工程は、図４（ａ）に示すレジスト４６の凹所４６ａを、プローブ１６の本体部２２、アーム部２４（一対のアーム部分２４ａ、２４ｂ）および針先部２６の平面形状に対応するように形成する。そして、併せて、プローブ１６に連結する、第１の支持板５１と第２の支持板５３とそれらの間を連結する第２の連結部５２とを有して構成される固定タブ３６の平面形状に対応するように形成する。その結果、続く図４（ｂ）の第２の工程においては、上述した形状の固定タブ３６の第１の支持板５１（図４（ｂ）中には、図示されない。）と第２の支持板５３（図４（ｂ）中には、図示されない。）とが実現される。

【0074】

プローブ材料としては、一種の材料のみを用いることができ、また、異種材料を組み合わせて用いることもできる。例えば、プローブ材料として金属材料を用いる場合、単体の金属を用いることができ、また、合金を用いることもできる。プローブ材料に用いることができる金属材料としては、具体的には、ニッケル、金、銀、錫、亜鉛、ロジウム、タングステン等の金属単体や、それらを含む、例えば、ニッケル燐合金等の合金、または、それら金属単体や合金を複数種組み合わせて形成されたもの等を挙げることができる。

【0075】

次に、本発明の第１実施形態のプローブの製造方法では、第２の工程で、犠牲層４２上にプローブ１６、第１の連結部３４および固定タブ３６を一体的に形成した後、図４（ｃ）に示すように、第３の工程として、レジスト４６の除去が行われる。

【0076】

次に、本発明の第１実施形態のプローブの製造方法では、このレジスト４６の除去後、第４の工程として、エッチング処理を行う工程を有する。この第４の工程では、プローブ１６を基台３２上から取り外すために、犠牲層４２のプローブ１６下に位置する部分を除去するよう、エッチング液を用いたエッチング処理（ウェットエッチング処理）が施される。このウエットエッチング処理により、図４（ｄ）に示されているように、まず、犠牲層４２の、プローブ１６、第１の連結部３４および固定タブ３６から露出する部分が、それらの縁部より浸食を受ける。

【0077】

そして、本発明の第１実施形態のプローブの製造方法では、第４の工程における引き続きのエッチング処理により、図４（ｅ）に示すように、犠牲層４２がさらなる浸食を受ける。

【0078】

本発明の第１実施形態のプローブの製造方法の第４の工程のエッチング処理において、エッチング液による犠牲層４２の浸食は、プローブ１６、第１の連結部３４および固定タブ３６それぞれの縁部からそれぞれの中央部へ向けて進行する。このとき、上述したように、固定タブ３６の第１の支持板５１および第２の支持板５３はそれぞれ、例えば、図３に示すプローブ１６の本体部２２の面積よりも大きな面積となる形状を有する。そして、アーム部２４（一対のアーム部分２４ａ、２４ｂ）および針先部２６のいずれよりも、幅広の形状を有する。また、第１の支持板５１および第２の支持板５３はそれぞれ、図５に示す第１の連結部３４および第２の連結部５２のいずれよりも大きな平面形状を有する。

【0079】

その結果、図４（ｅ）に示すように、犠牲層４２は、プローブ１６下および第１の連結部３４下の部分で除去されても、固定タブ３６の第１の支持板５１下の中央部下の犠牲層部分４２ａが残存する。同様に、第２の支持板５３下の中央部下の犠牲層部分４２ｂが残存する。

【0080】

図６は、本発明の第１実施形態のプローブの製造方法の途中段階で製造される基台上のプローブと固定タブとを説明する図であり、図６（ａ）は、プローブと固定タブとを模式的に示す平面図であり、図６（ｂ）は基台上のプローブと固定タブとを模式的に示す断面図である。

【0081】

図６（ａ）および図６（ｂ）に示すように、第４の工程では、エッチング処理により、犠牲層４２の一部を残してその残部を除去し、その残存する犠牲層４２の一部によって基台３２上に支持されたプローブ１６および固定タブ３６を形成する。

【0082】

図４（ｅ）および図６（ｂ）に示すように、エッチング処理の後の状態では、基台３２から分離すべきプローブ１６は、第１の連結部３４と共に基台３２から浮いた状態にあり、第１の連結部３４に連結された固定タブ３６の第１の支持板５１および第２の支持板５３が残存する犠牲層部分４２ａ、４２ｂを介して基台３２に固着された状態にある。

【0083】

すなわち、第４の工程は、エッチング処理によって、プローブ１６下の犠牲層４２部分を残すことなく除去するとともに、固定タブ３６の第１の支持板５１および第２の支持板５３のぞれぞれの下に犠牲層部分４２ａ、４２ｂを残すように行われる。そして、第４の工程では、第１の支持板５１の下に残存する犠牲層部分４２ａを第１の支持点とし、第２の支持板５３の下に残存する犠牲層部分４２ｂを第２の支持点として、第１の支持点および第２の支持点の２点により基台３２上に支持されたプローブ１６および固定タブ３６を形成する。

【0084】

したがって、プローブ１６は、固定タブ３６の第１の支持板５１下の第１の支持点である犠牲層部分４２ａおよび第２の支持板５３下の第２の支持点である犠牲層部分４２ｂを用いて基台３２上に保持されており、プローブ１６が基台３２から脱離することはない。

【0085】

また、第１の支持点である犠牲層部分４２ａと第２の支持点である犠牲層部分４２ｂとは、それぞれ、固定タブ３６の第１の支持板５１の下と、第１の支持板５１に第２の連結部５２とを介して連結する第２の支持板５３の下に形成される。第１の支持板５１と第２の支持板５３とは離間するように設けられ、第２の連結部５２によって互いに連結されている。したがって、第１の支持点である犠牲層部分４２ａと第２の支持点である犠牲層部分４２ｂとは、固定タブ３６の下層で互いに離間して配置されている。

【0086】

このように、離間する２点の支持点として、第１の支持板５１の下に犠牲層部分４２ａを形成し、第２の支持板５３の下に犠牲層部分４２ｂを形成することにより、固定タブ３６に応力が生じても、その応力を、第１の支持板５１と第２の支持板５３との連結部分となる第２の連結部５２に逃がすことができる。

【0087】

例えば、プローブ１６の製造の工程でプローブ１６の加熱処理が行われた場合、プローブ１６や固定タブ３６の２点の支持点である犠牲層部分４２ａ、４２ｂで応力が発生することがある。しかし、犠牲層部分４２ａ、４２ｂで発生した応力は、その部分に集中することなく、第１の支持板５１および第２の支持板５３を介してそれらを連結する第２の連結部５２に逃げることができる。

【0088】

すなわち、本実施形態のプローブの製造方法の途中の工程で形成されるプローブ１６とプローブ１６に連結する固定タブ３６では、固定タブ３６が、犠牲層部分４２ａ、４２ｂを用いて、基台３２上に２点で支持される。そして、固定タブ３６を支持する犠牲層部分４２ａ、４２ｂに応力がかかっても、それらを連結する部分にその応力を逃がすことができ、反りの発生を抑えて、固定タブ３６とともにプローブ１６が基台３２から脱落するのを防ぐことができる。そして、プローブ１６の製造歩留まりの低下を抑制することができる。

【0089】

ここで、第１の支持板５１および第２の支持板５３の下に形成され、第１の支持点となる犠牲層部分４２ａと第２の支持点となる犠牲層部分４２ｂとは、それらの形状を多様な形状とすることができる。そして特に、犠牲層部分４２ａ、４２ｂの、基台３２面と平行な面の断面形状を、それぞれ独立に、多様な形状とすることができる。

【0090】

例えば、固定タブ３６を基台３２上に支持する犠牲層部分４２ａ、４２ｂは、それぞれ独立に、基台３２面と平行な断面が、円、楕円、多角形および星形よりなる群から選択されたいずれかの形状を有することができる。

【0091】

犠牲層部分４２ａ、４２ｂは、上述したように、第４工程のエッチング処理によって形成されており、そのため、犠牲層部分４２ａ、４２ｂの形状、特にその断面形状は、その上に配置される第１の支持板５１および第２の支持板５３の形状によって制御される。したがって、第２の工程で形成される固定タブ３６の第１の支持板５１と第２の支持板５３それぞれの形状を制御することで、第１の支持点である犠牲層部分４２ａと第２の支持点である犠牲層部分４２ｂの断面形状を制御することができる。

【0092】

そして、第２の工程で形成される固定タブ３６の第１の支持板５１と第２の支持板５３それぞれの形状は、図４（ａ）に示した第１の工程のレジスト４６の凹所４６ａの形状によって決められる。したがって、犠牲層部分４２ａ、４２ｂの断面形状の制御は、第４の工程のエッチング処理の条件とともに、第１の工程のレジスト４６の凹所４６ａの形状を制御することによって実現できる。

【0093】

すなわち、上述した第１の工程は、第４工程のエッチング処理によって２点の支持点となる犠牲層部分４２ａ、４２ｂのそれぞれが、上述した断面形状を有して構成されるように、レジスト４６の凹所４６ａの固定タブ３６の平面形状に対応する部分を形成することができる。

【0094】

また、第１の支持点である犠牲層部分４２ａと第２の支持点である犠牲層部分４２ｂとは、図６に示すように、基台３２面と平行な断面が等しい面積を有するように形成することが可能である。こうすることで、固定タブ３６を支持する犠牲層部分４２ａ、４２ｂに応力がかかっても、それらを連結する部分、すなわち第２の連結部５２に、その応力を効率よく逃がすことができる。

【0095】

しかし、第１の支持点である犠牲層部分４２ａと第２の支持点である犠牲層部分４２ｂの断面積は、必ずしも等しくする必要はなく、上述した応力を逃がすことが可能であれば、犠牲層部分４２ａ、４２ｂの基台３２の面と平行な断面が異なる面積を有するように形成することも可能である。

【0096】

その場合、上述した第１の工程は、第４工程のエッチング処理によって２点の支持点となる犠牲層部分４２ａ、４２ｂのそれぞれが、所望とする断面積を有して構成されるように、レジスト４６の凹所４６ａの固定タブ３６の平面形状に対応する部分を形成することができる。そのために、例えば、第１の支持板５１と第２の支持板５３とは、互いに、異なる面積および／または異なる形状となる。

【0097】

次に、本発明の第１実施形態のプローブの製造方法は、基台３２からのプローブ１６の取り外しを行う。すなわち、実施形態のプローブの製造方法は、第４の工程で犠牲層部分４２ａ、４２ｂが残存する状態でエッチング処理を終了した後、第５の工程（図４中、図示されない。）として、プローブ１６を、固定タブ３６の第１の支持板５１から分離し、基台３２から取り外す。

【0098】

この第５の工程においては、プローブ１６に従来のような強い剥離力を作用させることなく、プローブ１６を基台３２から取り外すことができる。このプローブ１６を固定タブ３６から分離するには、例えば、ピンセット、ヘラまたはナイフのような工具でプローブ１６を下から保持し、これを全体的に持ち上げることにより、図６に示した第１の連結部３４の最小幅部分、すなわち、第１の連結部３４に形成された脆弱部分３４ａで折り取ることができる。また、プローブ１６を形成するプローブ金属材料が磁性材料の場合、プローブ１６の取り扱いに磁石を用いることができる。

【0099】

以上の各工程により、本発明の第１の実施形態のプローブの製造方法は、プローブ１６の基台３２からの脱落を防止し、優れた製造歩留まりでプローブ１６の製造を行うことができが、さらに、その途中段階において、プローブ１６の強度を高める工程を設けることも可能である。

【0100】

例えば、第１実施形態のプローブの製造方法は、第４の工程のエッチング処理の途中で、加熱工程を設けること可能である。すなわち、図４（ｄ）に示すエッチング処理の後、図４（ｅ）に示す、さらなるエッチング処理の前に、加熱処理工程を設けることができる。基台３２上に支持されたプローブ１６に対して熱処理を施すことにより、プローブ１６の強度を高めることができる。

【0101】

このとき、加熱によってプローブ１６に反り返り力が導入される懸念がある。こうした反り返り力の導入は、プローブの製造歩留まりの低下の原因となるため、その対策が求められる。

【0102】

したがって、本発明の第１実施形態のプローブの製造方法は、こうした熱処理等により、基台３２上のプローブ１６に発生する反りを防止するため、プローブ１６を基台３２上で支持する補助支持部を設けることが可能である。例えば、図３のプローブ１６の、針先部２６のあるアーム部２４の先端部分と基台との間に、補助支持部を設けることが可能である。

【0103】

この補助支持部は、第４の工程において、プローブ１６下の犠牲層４２をエッチング処理して除去するときに、残存する犠牲層４２の一部として形成することができる。このような補助支持部を設けることにより、プローブ１６は、相離れた２点で基台３２上に支持されて、加熱による変形が抑制される。

【0104】

尚、プローブ１６下の、例えば、上述した針先部２６の下に犠牲層４２の一部として保持支持部を形成するため、図４（ｄ）に示すエッチング処理の前に、新たなレジスト形成処理を行い、そのレジストによる保護によって、エッチングの進行を抑え、犠牲層４２の一部として残存する補助支持部を形成することができる。そして、形成された補助支持部は、図４（ｅ）に示す、さらなるエッチング処理のより、除去することができる。

【0105】

以上の第１〜第５の工程により、本発明の第１実施形態のプローブの製造方法は、プローブ１６に連結する固定タブ３６と基台３２との間で、離間した２点の支持部による２点の支持を実現し、プローブ１６の基台３２からの脱落を防止し、優れた製造歩留まりでプローブ１６の製造を行う。

【0106】

そして、そのために、第１実施形態のプローブの製造方法は、基台３２上で第１の連結部３４を介してプローブ１６に連結する固定タブ３６が、上述したように、第１の連結部３４に連結する第１の支持板５１と、第２の支持板５３と、それらを連結する第２の連結部５２とから構成される。この場合、固定タブ３６の構造が重要となる。固定タブ３６は図５および図６に例示されるが、本発明の第１実施形態のプローブの製造方法では、固定タブ３６の構造は、図５および図６に示されたものに限られるわけではない。

【0107】

例えば、固定タブ３６において、第２の連結部５２の形状は、図６に示す直線形状のみではなく、曲線、または、直線と曲線の組合せからなる構造とすることができる。

【0108】

図７は、本発明の第１実施形態のプローブの製造方法で基台上に形成されるプローブと固定タブの別の例を模式的に示す平面図である。

【0109】

図７に示す別の例においては、第２の連結部５２−２の構造のみが図６に示した例と異なっている。したがって、その他の共通する構成要素については、同一の符号を付して重複する説明は省略する。尚、このことは、後述する図８に示す、さらに別の例についても同様である。

【0110】

図７に示す別の例において、基台（図示されない）上に形成されるプローブ１６と固定タブ３６−２では、第１の連結部３４に連結する第１の支持板５１と、第２の支持板５３と、それらを連結する第２の連結部５２−２とを有して構成される。第１の支持板５１の下には、犠牲層部分４２ａが第１の支持部として形成され、第２の支持板５３の下には、犠牲層部分４２ｂが第２の支持部として形成されている。

【0111】

固定タブ３６−２の第２の連結部５２−２は、湾曲する曲線状に形成される。固定タブ３６−２の第２の連結部５２−２がこのような構造を有することにより、固定タブ３６−２を支持する犠牲層部分４２ａ、４２ｂに応力がかかっても、それらを連結する第２の連結部５２−２にその応力を効率良く逃がすことができる。

【0112】

図８は、本発明の第１実施形態のプローブの製造方法で基台上に形成されるプローブと固定タブのさらに別の例を模式的に示す平面図である。

【0113】

図８に示すさらに別の例において、基台（図示されない）上に形成されるプローブ１６と固定タブ３６−３では、第１の連結部３４に連結する第１の支持板５１と、第２の支持板５３と、それらを連結する第２の連結部５２−３とを有して構成される。第１の支持板５１の下には、犠牲層部分４２ａが第１の支持部として形成され、第２の支持板５３の下には、犠牲層部分４２ｂが第２の支持部として形成されている。

【0114】

固定タブ３６−３の第２の連結部５２−３は、湾曲する曲線状に形成される。そして、第２の支持板５３の配置位置が、図６の例および図７の別の例と異なっている。すなわち、プローブ１６と第１の連結部３４の連結部分と、第１の支持板５１の中心部分との間を結ぶ直線上から、第２の支持板５３の中心部分が外れるように第２の支持板５３の配置がなされている。図８の例では、上述した直線上から上方に外れるように第２の支持板５３が設けられ、その第２の支持板５３と第１の支持板５１との間を湾曲する第２の連結部５２−３が連結する構造を有する。

【0115】

固定タブ３６−３の第２の連結部５２−３がこのような湾曲構造を有し、第２の支持板５３を上述の配置とすることにより、固定タブ３６−３を支持する犠牲層部分４２ａ、４２ｂに応力がかかっても、それらを連結する第２の連結部５２−３にその応力を効率良く逃がすことができる。そしてさらに、基台３２上での固定タブ３６−３の形成面積をより小さくすることができ、基台上により多くのプローブ１６を形成することができる。

【0116】

実施の形態２．
本発明の第２実施形態のプローブの製造方法は、途中の工程で製造される、基台上のプローブとそのプローブに連結する固定タブが、３つの支持部による、固定タブの３点支持によって基台上に固着される構造を有する。

【0117】

そして、本発明の第２実施形態のプローブの製造方法は、途中の工程で製造される、基台上のプローブとそのプローブに連結する固定タブが、上述した３点支持の構造であること以外、本発明の第１実施形態のプローブの製造方法と同様となる。すなわち、本発明の第２実施形態のプローブの製造方法は、上述した第１実施形態のプローブの製造方法と同様の第１の工程〜第５の工程を有する。そして、第４工程の後、基台上のプローブとそのプローブに連結する固定タブが、３つの支持部による、固定タブの３点支持によって基台上に固着された状態で製造される。

【0118】

そのため、第１の工程では、上述したのと同様の方法で、レジストの凹所の固定タブの平面形状に対応する部分を、固定タブの３点支持に対応する形状とする。その結果、第２の工程では、上述したのと同様の方法に従い、プローブおよびそのプローブに連結する固定タブの形状が、上述の３点支持に対応する形状となる。そして、第４の工程で、上述したのと同様の方法により、基台上のプローブとそのプローブに連結する固定タブが、３つの支持部による、固定タブの３点支持によって基台上に固着される構造を実現する。

【0119】

したがって、以下の本発明の第２実施形態のプローブの製造方法の説明においては、主に、途中の工程で製造される、基台上のプローブとそのプローブに連結する固定タブの形状について説明する。そのとき、第１実施形態のプローブの製造方法と共通する構成要素については、同一の符号を用いるようにし、重複する説明は省略する。

【0120】

本発明の第２実施形態のプローブの製造方法においては、第１実施形態と同様に、例えば、上述した図３に示す構造のプローブ１６を高い歩留まりで製造することができる。

【0121】

図９は、本発明の第２実施形態のプローブの製造方法で基台上に形成されるプローブと固定タブの第１例を模式的に示す平面図である。

【0122】

図９に第１例として示される、基台（図示されない）上に形成されるプローブ１６と固定タブ１３６は、上述したように、第１実施形態のプローブの製造方法と同様の第１工程〜第３の工程の後、第４の工程のエッチング処理によって形成される。尚、図９では、プローブ１６の形状を模式的に示す。

【0123】

そして、図９に示すように、固定タブ１３６は、第１の連結部３４を介してプローブ１６に連結する第１の支持板１５１と、第２の連結部１５２を介して第１の支持板１５１に連結する第２の支持板１５３と、第３の連結部１６１を介して第２の支持板１５３と連結する第３の支持板１６２とを含んで構成される。すなわち、固定タブ１３６は、第１の支持板１５１、第２の支持板１５３、第３の支持板１６２、第１の支持板１５１と第２の支持板１５３との間を連結する第２の連結部１５２、および、第２の支持板１５３と第３の支持板１６２との間を連結する第３の連結部１６１を有して構成される。この固定タブ１３６は、図３に示したプローブ１６の本体部２２の、アーム部２４の形成側とは反対側の側部に、第１の連結部３４を介して連結する構造を有する。

【0124】

そして、第１の支持板１５１、第２の支持板１５３および第３の支持板１６２の下には、犠牲層４２の一部である、犠牲層部分４２ｃ、４２ｄ、４２ｅがそれぞれ形成され、それらが３つの支持部を構成している。すなわち、第１の支持板１５１の下には、犠牲層部分４２ｃが第１の支持部として形成され、第２の支持板１５３の下には、犠牲層部分４２ｄが第２の支持部として形成され、第３の支持板１６２の下には、犠牲層部分４２ｅが第３の支持部として形成されている。

【0125】

その結果、第１の支持板１５１、第２の支持板１５３および第３の支持板１６２の下の、これら犠牲層部分４２ｃ、４２ｄ、４２ｅの形成により、基台上のプローブ１６とそのプローブ１６に連結する固定タブ１３６が、３つの支持部による、固定タブ１３６の３点支持によって基台上に固着される構造を実現する。

【0126】

また、固定タブ１３６の第２の連結部１５２は、湾曲する曲線状に形成される。同様に、第３の連結部１６１も、湾曲する曲線状に形成される。
そして、プローブ１６と第１の連結部３４の連結部分、第１の支持板１５１の中心部分および、第２の支持板１５３の中心部分の間を結ぶ直線上から、第３の支持板１６２の中心部分が外れるように第３の支持板１６２の配置がなされている。図９の例では、上述した直線上から上方側に外れるように第３の支持板１６２が設けられる構造を有する。

【0127】

固定タブ１３６の第２の連結部１５２および第３の連結部１６１が上述のような湾曲構造を有し、また、第３の支持板１６２を上述の配置とすることにより、固定タブ１３６を支持する犠牲層部分４２ｃ、４２ｄ、４２ｅに応力がかかっても、それらを連結する第２の連結部１５２および第３の連結部１６１にその応力を効率良く逃がすことができる。その結果、本発明の第２実施形態のプローブの製造方法は、プローブ１６の基台からの脱落を防止し、優れた製造歩留まりでプローブの製造を行う。そしてさらに、基台上での固定タブ１３６の形成面積をより小さくすることができ、基台上により多くのプローブ１６を形成することができる。

【0128】

また、第２実施形態のプローブの製造方法は、途中の工程で製造される基台上に形成されるプローブ１６と固定タブ１３６において、第３の連結部１６１の形状を直線状に形成することも可能である。

【0129】

図１０は、本発明の第２実施形態のプローブの製造方法で基台上に形成されるプローブと固定タブの第２例を模式的に示す平面図である。

【0130】

図１０に第２例として示される、基台（図示されない）上に形成されるプローブ１６と固定タブ２３６は、第３の連結部１６１−２の構造が直線状とされているところが異なっている以外、上述した図９の第１例と同様の構造を有する。したがって、共通する構成要素に同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

【0131】

また、後述する、図１１に第３例として示される、基台（図示されない）上に形成されるプローブ１６と固定タブ３３６、および、図１２に第４例として示される、基台（図示されない）上に形成されるプローブ１６と固定タブ４３６においても、固定タブ３３６、４３６の構造が異なる以外、上述した図９の第１例と同様の構造を有する。したがって、共通する構成要素に同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

【0132】

固定タブ２３６の第２の連結部１５２は、湾曲する曲線状に形成される。一方、第３の連結部１６１−２は、直線状に形成される。
そして、プローブ１６と第１の連結部３４の連結部分、第１の支持板１５１の中心部分および、第２の支持板１５３の中心部分の間を結ぶ直線上から、第３の支持板１６２の中心部分が外れるように第３の支持板１６２の配置がなされている。図１０の例では、上述した直線上から上方側に外れるように第３の支持板１６２が設けられる構造を有する。

【0133】

固定タブ１３６の第２の連結部１５２および第３の連結部１６１−２が上述のような構造を有し、また、第３の支持板１６２を上述の配置とすることにより、固定タブ１３６を支持する犠牲層部分４２ｃ、４２ｄ、４２ｅに応力がかかっても、それらを連結する第２の連結部１５２および第３の連結部１６１−２にその応力を効率良く逃がすことができる。そしてさらに、基台上での固定タブ１３６の形成面積をより小さくすることができ、基台上により多くのプローブ１６を形成することができる。

【0134】

次に、本発明の第２実施形態のプローブの製造の途中段階で製造される基台上のプローブと固定タブとにおいては、固定タブの構造をさらに別の構成とすることが可能である。すなわち、第２実施形態のプローブの製造の途中段階で製造される基台上のプローブと固定タブは、固定タブを構成する各支持板の下に、離間する複数の犠牲層部分を残存させて、支持点を複数設けることが可能である。

【0135】

例えば、固定タブを第１の支持板と第２の支持板の２つの支持板から構成し、そのうちの一方の下に離間する２つの犠牲層部分を残存させ、もう一方の下に１つの犠牲層部分を残存させることができる。そして、第１の支持板と第２の支持板の下の、合計して３つの犠牲層部分を支持点とし、３つの支持部による、固定タブの３点支持によって基台上にプローブと固定タブが固着される構造を有することができる。

【0136】

図１１は、本発明の第２実施形態のプローブの製造方法で基台上に形成されるプローブと固定タブの第３例を模式的に示す平面図である。

【0137】

図１１に第３例として示される、基台（図示されない）上に形成されるプローブ１６と固定タブ３３６は、上述したように、第１実施形態のプローブの製造方法と同様の第１工程〜第３の工程の後、第４の工程のエッチング処理によって形成される。尚、図１１では、プローブ１６の形状を模式的に示す。

【0138】

そして、図１１に示すように、固定タブ３３６は、第１の連結部３４を介してプローブ１６に連結する第１の支持板３５１と、第２の連結部３５２を介して第１の支持板３５１に連結する第２の支持板３５３とを含んで構成される。すなわち、固定タブ３３６は、第１の支持板３５１、第２の支持板３５３、および、第１の支持板３５１と第２の支持板３５３との間を連結する第２の連結部３５２を有して構成される。この固定タブ３３６は、図３に示したプローブ１６の本体部２２の、アーム部２４の形成側とは反対側の側部に、第１の連結部３４を介して連結する構造を有する。

【0139】

そして、第１の支持板３５１は、小判状の形状を有し、第２の支持板３５３は円形状の形状を有する。

【0140】

そして、第１の支持板３５１の下には、犠牲層４２の一部である、第１の支持板３５１の長手方向に離間する２つの犠牲層分４２ｃ、４２ｄが形成されて第１の支持部と第２の支持部が形成される。第２の支持板３５３の下には、犠牲層４２の一部である、犠牲層部分４２ｅが形成され、第３の支持部が形成される。すなわち、第１の支持板３５１と第２の支持板３５３の下の、互いに離間する３つの犠牲層分４２ｃ、４２ｄ、４２ｅが、固定タブ３３６を基板上に支持する、３つの支持部を構成している。

【0141】

その結果、第１の支持板３５１および第２の支持板３５３の下の、これら互いに離間する犠牲層部分４２ｃ、４２ｄ、４２ｅの形成により、基台上のプローブ１６とそのプローブ１６に連結する固定タブ３３６が、３つの支持部による、固定タブ３３６の３点支持によって基台上に固着される構造を実現する。

【0142】

また、固定タブ３３６の第２の連結部３５２は、直線状に形成される。
そして、小判状の第１の支持板３５１の長手方向と第２の連結部３５２とが直交するように第２の支持板３５３が配置される。図１１の例では、上述した第１の支持板３５１の上方側に第２の支持板３５３が設けられる構造を有する。その結果、図１１に示す例では、犠牲層部分４２ｃの中心部分と犠牲層部分４２ｄの中心部分とを結ぶ直線が、犠牲層部分４２ｄの中心部分と犠牲層部分４２ｅの中心部分とを結ぶ直線と直交するようになる。

【0143】

固定タブ３３６の第１の支持板３５１、第２の支持板３５３および第２の連結部３５２が上述のような構造を有することにより、固定タブ３３６を支持する犠牲層部分４２ｃ、４２ｄ、４２ｅに応力がかかっても、それらを連結する第１の支持板３５１の部分および第２の連結部３５２にその応力を効率良く逃がすことができる。その結果、本発明の第２実施形態のプローブの製造方法は、プローブ１６の基台からの脱落を防止し、優れた製造歩留まりでプローブの製造を行う。そしてさらに、基台上での固定タブ３３６の形成面積をより小さくすることができ、基台上により多くのプローブ１６を形成することができる。

【0144】

図１２は、本発明の第２実施形態のプローブの製造方法で基台上に形成されるプローブと固定タブの第４例を模式的に示す平面図である。

【0145】

図１２に第４例として示される、基台（図示されない）上に形成されるプローブ１６と固定タブ４３６は、上述したように、第１実施形態のプローブの製造方法と同様の第１工程〜第３の工程の後、第４の工程のエッチング処理によって形成される。尚、図１２では、プローブ１６の形状を模式的に示す。

【0146】

そして、図１２に示すように、固定タブ４３６は、第１の連結部３４を介してプローブ１６に連結する第１の支持板４５１と、第２の連結部３５２を介して第１の支持板４５１に連結する第２の支持板３５３とを含んで構成される。すなわち、固定タブ４３６は、第１の支持板４５１、第２の支持板３５３、および、第１の支持板４５１と第２の支持板３５３との間を連結する第２の連結部３５２を有して構成される。この固定タブ４３６は、図３に示したプローブ１６の本体部２２の、アーム部２４の形成側とは反対側の側部に、第１の連結部３４を介して連結する構造を有する。

【0147】

そして、第１の支持板４５１は、図１１の第３例の第１の支持板３５１と同様の小判状の形状を有し、さらに、犠牲層部分４２ｃの形成部分と犠牲層部分４２ｄの形成部分と間の中央部分に開口部４６０を有している。このような開口部４６０を設けることにより、第２実施形態のプローブの製造方法の第４の工程のエッチング処理において、犠牲層部分４２ｃおよび犠牲層部分４２ｄの形成を促進することができる。

【0148】

このような開口部４６０を第１の支持板４５１設けること以外、固定タブ４３６は、図１１の第３例の固定タブ３３６と同様構造を有する。

【0149】

固定タブ４３６の第１の支持板４５１が、開口部４６０を備えた上述の構造を有することにより、第４の工程において、所望とする形状の犠牲層４２ｃ、４２ｄの形成を促進できる。そして、固定タブ４３６を支持する犠牲層部分４２ｃ、４２ｄ、４２ｅに応力がかかっても、それらを連結する第１の支持板４５１の部分および第２の連結部３５２にその応力を効率良く逃がすことができる。そしてさらに、基台上での固定タブ４３６の形成面積をより小さくすることができ、基台上により多くのプローブ１６を形成することができる。

【0150】

実施の形態３．
上述した本発明の第１実施形態のプローブの製造方法は、途中の工程で製造される、基台上のプローブおよび固定タブにおける固定タブが、プローブの本体部の側部に連結される構造を有する。そして、２つの支持部による、固定タブの２点支持によって、プローブとそれに連結する固定タブが基台上に固着される構造を有していた。

【0151】

それに対し、本発明の第３実施形態のプローブの製造方法は、途中の工程で製造される、基台上のプローブおよび固定タブにおいて、固定タブがプローブのアーム部に設けられた開口部内に配置されて、プローブと連結する構造を有する。そして、基台上のプローブおよび固定タブは、複数の支持部による、固定タブの複数点支持によって、プローブと固体タブとがその基台上に固着される構造を有する。

【0152】

本発明の第３実施形態のプローブの製造方法は、途中の工程で製造される、基台上のプローブとそのプローブに連結する固定タブが、上述の構造であること以外、本発明の第１実施形態のプローブの製造方法と同様となる。すなわち、本発明の第３実施形態のプローブの製造方法は、上述した第１実施形態のプローブの製造方法と同様の第１の工程〜第５の工程を有する。そして、第４工程の後、基台上のプローブとそのプローブに連結する固定タブが、複数の支持部による、固定タブの複数点支持によって基台上に固着された状態で製造される。

【0153】

そのため、第１の工程では、上述したのと同様の方法で、レジストの凹所の固定タブの平面形状に対応する部分を、固定タブがプローブのアーム部に設けられた開口部内に配置される構造に対応する形状とする。その結果、第２の工程では、上述したのと同様の方法にしたがい、プローブおよびそのプローブに連結する固定タブの形状が、上述の構造に対応する形状となる。そして、第４の工程で、上述したのと同様の方法により、基台上のプローブとそのプローブのアーム部に設けられた開口部内に配置されてプローブに連結する固定タブが、２つの支持部による、固定タブの２点支持によって基台上に固着される構造を実現する。

【0154】

したがって、以下の本発明の第３実施形態のプローブの製造方法の説明においては、主に、途中の工程で製造される、基台上のプローブとそのプローブに連結する固定タブの形状について説明する。そのとき、第１実施形態のプローブの製造方法と共通する構成要素については、同一の符号を用いるようにし、重複する説明は省略する。

【0155】

本発明の第３実施形態のプローブの製造方法においては、第１実施形態と同様に、例えば、上述した図３に示す構造のプローブ１６を高い歩留まりで製造することができる。

【0156】

図１３は、本発明の第３実施形態のプローブの製造方法で基台上に形成されるプローブと固定タブの第１例を模式的に示す平面図である。

【0157】

図１３は、特徴が明確となるように固定タブ５３６等を模式的に示しており、例えば、プローブ１６に対する固定タブ５３６の大きさの比率は、図１３に示すものに限られるわけではなく、適宜変更し得るものとなる。

【0158】

図１３に例示される、基台（図示されない）上に形成されるプローブ１６と固定タブ５３６は、上述したように、第１実施形態のプローブの製造方法と同様の第１工程〜第３の工程の後、第４の工程のエッチング処理によって形成される。そして、第５の工程によってプローブ１６と固定タブ５３６とが分離され、図３に示したのと同様のプローブ１６を得ることができる。

【0159】

全体に平板状を呈するプローブ１６は、図３にも示したように、開口部３０を備えた本体部２２と、本体部２２の下端から横方向に伸びるアーム部２４と、アーム部２４の先端から縦方向すなわち下方へ伸びる針先部２６とを備え、針先部２６の先端に針先２６ａが形成されている。

【0160】

アーム部２４には、本体部２２と針先部２６との間で、プローブ１６の板厚方向に貫通し、且つ、アーム部２４の長手方向に伸長する開口部２８が形成されている。この開口部２８により、アーム部２４は互いに間隔をおいて並行する一対のアーム部分２４ａ、２４ｂに区画されている。開口部２８の一端は、本体部２２に至っている。

【0161】

図１３に示す第１例では、固定タブ５３６は、プローブ１６のアーム部２４の開口部２８内に配置されて、プローブ１６の本体部２２の開口部２８を形成する側部と連結する構造を有する。

【0162】

そして、図１３に示すように、固定タブ５３６は、第１の連結部５３４を介してプローブ１６に連結する第１の支持板５５１と、第２の連結部５５２を介して第１の支持板５５１に連結する第２の支持板５５３とを含んで構成される。すなわち、固定タブ５３６は、第１の支持板５５１、第２の支持板５５３、および、第１の支持板５５１と第２の支持板５５３との間を連結する第２の連結部５５２を有して構成される。

【0163】

固定タブ５３６の第１の支持板５５１および第２の支持板５５３の下には、犠牲層４２の一部である、犠牲層部分４２ｆ、４２ｇがそれぞれ形成され、それらが２つの支持部を構成している。すなわち、第１の支持板５５１の下には、犠牲層部分４２ｆが第１の支持部として形成され、第２の支持板５５３の下には、犠牲層部分４２ｇが第２の支持部として形成されている。
以上の基台上の固定タブ５３６の構造は、第１実施形態のプローブの製造方法の途中の工程で製造される、図６の固定タブ３６の構造と同様である。

【0164】

その結果、第１の支持板５５１および第２の支持板５５３の下の、これらの犠牲層部分４２ｆ、４２ｇの形成により、基台上のプローブ１６とそのプローブ１６に連結する固定タブ５３６が、２つの支持部による、固定タブ５３６の２点支持によって基台上に固着される構造を実現する。

【0165】

固定タブ５３６が第１の支持板５５１と第２の支持板５５３とからなり、また、それらが第２の連結部５５２により連結される構造を有することにより、固定タブ５３６の第１の支持板を支持する犠牲層部分４２ｆと第２の支持板を支持する犠牲層部分４２ｇに応力がかかっても、それらを連結する第２の連結部１５２にその応力を逃がすことができる。その結果、本発明の第３実施形態のプローブの製造方法は、プローブ１６の基台からの脱落を防止し、優れた製造歩留まりでプローブ１６の製造を行うことができる。

【0166】

さらに、本発明の第３実施形態のプローブの製造方法は、基台上に形成する固体タブ５３６を、プローブ１６のアーム部２４の開口部２８内に配置することにより、基台上でのプローブ１６と固定タブ５３６の形成面積をより小さくすることができ、基台上により多くのプローブ１６を形成することができる。

【0167】

そして、本発明の第３実施形態のプローブの製造方法は、第４の工程において、図１３に示した基台上のプローブ１６と固定タブ５３６とを製造した後、上述した第１実施形態および第２実施形態と同様に、基台からのプローブ１６の取り外しを行うことができる。すなわち、実施形態のプローブの製造方法は、第４の工程で犠牲層部分４２ｆ、４２ｇが残存する状態でエッチング処理を終了した後、第５の工程で、プローブ１６を、固定タブ５３６の第１の支持板５５１から分離し、基台から取り外す。

【0168】

この第５の工程においては、プローブ１６に従来のような強い剥離力を作用させることなく、プローブ１６を基台から取り外すことができる。このプローブ１６を固定タブ３６から分離するには、上述した第１実施形態および第２実施形態と同様に、例えば、ピンセット、ヘラまたはナイフのような工具でプローブ１６を下から保持し、これを全体的に持ち上げることにより、第１の連結部５３４の最小幅部分で折り取ることができる。また、プローブ１６を形成するプローブ金属材料が磁性材料の場合、プローブ１６の取り扱いに磁石を用いることができる。

【0169】

以上のように、本発明の第３実施形態のプローブの製造方法においては、途中の工程で製造される基台上のプローブ１６と固定タブ５３６とにおいて、固定タブ５３６がプローブ１６のアーム部２４に設けられた開口部２８内に配置されて、プローブ１６と連結する構造を有するが、固定タブ５３６の構造は、図１３に示されたものに限られるわけではない。固定タブ５３６は、プローブ１６のアーム部２４に設けられた開口部２８内に配置され、犠牲層部分４２ｆ、４２ｇによる２点支持の構造を実現するものであれば多様な構造を有することができる。

【0170】

以下、本発明の第３実施形態のプローブの製造方法の途中の工程で製造される基台上のプローブと固定タブの構造の別の例について、具体的に説明する。

【0171】

図１４は、本発明の第３実施形態のプローブの製造方法で基台上に形成されるプローブと固定タブの第２例を模式的に示す平面図である。

【0172】

図１４に示す第２例においては、固定タブ６３６の構造のみが図１３に示した第１例と異なっており、その他の共通する構成要素については、同一の符号を付して重複する説明は省略する。尚、後述する図１５に示す、第３例についても同様である。

【0173】

基台上の形成される固定タブ６３６は、プローブ１６のアーム部２４に設けられた開口部２８内に配置されて、プローブ１６の本体部２２の開口部２８を形成する側部と連結する構造を有する。

【0174】

そして、図１４に示すように、固定タブ６３６は、第１の連結部６３４を介してプローブ１６に連結する第１の支持板６５１を含んで構成される。第１の支持板６５１は、小判状の形状を有する。

【0175】

第１の支持板６５１の下には、犠牲層４２の一部である、第１の支持板６５１の長手方向に離間する２つの犠牲層分４２ｆ、４２ｇが形成されて第１の支持部および第２の支持部が形成される。すなわち、第１の支持板６５１の下の２つの犠牲層部分４２ｆ、４２ｇが、固定タブ６３６を基板上に支持する、２つの支持部を構成している。

【0176】

その結果、第１の支持板６５１の下の犠牲層部分４２ｆ、４２ｇによって、基台上のプローブ１６とそのプローブ１６に連結する固定タブ６３６とが、固定タブ６３６の２点支持によって基台上に固着される構造を実現する。

【0177】

固定タブ６３６の第１の支持板６５１が上述のような構造を有することにより、固定タブ６３６を支持する犠牲層部分４２ｆ、４２ｇに応力がかかっても、それらを連結する第１の支持板６５１の部分にその応力を効率良く逃がすことができる。その結果、本発明の第３実施形態のプローブの製造方法は、プローブ１６の基台からの脱落を防止し、優れた製造歩留まりでプローブ１６の製造を行うことができる。

【0178】

さらに、本発明の第３実施形態のプローブの製造方法においては、基台上に形成する固体タブ６３６を、プローブ１６のアーム部２４に設けられた開口部２８内に配置することにより、基台上でのプローブ１６と固定タブ６３６の形成面積をより小さくすることができ、基台上により多くのプローブ１６を形成することができる。

【0179】

そして、図１４の基台上のプローブ１６と固定タブ６３６は、上述した図１３の第１例と同様に、基台からのプローブ１６の取り外しを行うことができる。

【0180】

図１５は、本発明の第３実施形態のプローブの製造方法で基台上に形成されるプローブと固定タブの第３例を模式的に示す平面図である。

【0181】

基台上の形成される固定タブ７３６は、プローブ１６のアーム部２４に設けられた開口部２８内に配置されて、プローブ１６の本体部２２の開口部２８を形成する側部と連結する構造を有する。

【0182】

そして、図１５に示すように、固定タブ７３６は、第１の連結部７３４を介してプローブ１６に連結する第１の支持板７５１を含んで構成される。第１の支持板７５１は、図１４の第２例の第１の支持板６５１と同様の小判状の形状を有する。そして、第１の支持板７５１は、さらに、犠牲層４２の残存部分である犠牲層部分４２ｆの形成部分と、犠牲層４２の残存部分である犠牲層部分４２ｇの形成部分と間の中央部分に開口部７６０を有している。このような開口部７６０を設けることにより、第３実施形態のプローブの製造方法の第４の工程のエッチング処理において、犠牲層部分４２ｆおよび犠牲層部分４２ｇの形成を促進することができる。

【0183】

このような開口部７６０を第１の支持板７５１設けること以外、固定タブ７３６は、図１４の第２例の固定タブ６３６と同様構造を有する。

【0184】

固定タブ７３６の第１の支持板７５１が、開口部７６０を備えた上述の構造を有することにより、第４の工程のエッチング処理において、所望とする形状の犠牲層４２ｆ、４２ｇの形成を促進できる。

【0185】

そして、固定タブ７３６を支持する犠牲層部分４２ｆ、４２ｇに応力がかかっても、それらを連結する第１の支持板７５１の部分にその応力を効率良く逃がすことができる。その結果、本発明の第３実施形態のプローブの製造方法においては、プローブ１６の基台からの脱落を防止し、優れた製造歩留まりでプローブ１６の製造を行うことができる。

【0186】

さらに、本発明の第３実施形態のプローブの製造方法においては、基台上に形成する固体タブ７３６を、プローブ１６のアーム部２４に設けられた開口部２８内に配置することにより、基台上でのプローブ１６と固定タブ７３６の形成面積をより小さくすることができ、基台上により多くのプローブ１６を形成することができる。

【0187】

そして、図１５の基台上のプローブ１６と固定タブ７３６は、上述した図１３の第１例と同様に、基台からのプローブ１６の取り外しを行うことができる。

【実施例】

【0188】

以下、実施例に基づいて本発明の実施形態をより具体的に説明する。しかし、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではない。

【0189】

本発明の実施例においては、上述した本発明の第１実施形態のプローブの製造方法に従い、プローブを製造した。

【0190】

そして、製造工程の途中段階で製造される基台上のプローブと固定タブは、図３および図６に示したものとなるようにした。

【0191】

まず、表面がエッチングにより鏡面処理されたシリコン結晶基板を基台として準備した。

【0192】

準備された基台の上に、スパッタ法により銅からなる犠牲層を形成した。

【0193】

次に、犠牲層の上に、スピンコート法により、感光性材料からなるフォトレジスト材料を均一な厚さで塗布し、感光性のレジスト層を形成した。次いで、レジスト層に対し、マスクを用いた選択露光を行い、その後、現像を行った。このマスクは、プローブ、固定タブ、および、プローブと固定タブとを連結する第１の連結部を含むそれら全体の平面形状に対応するパターンを有する。このマスクのパターンのレジスト層への転写により、基台上には、プローブ、第１の連結部および固定タブからなる、それらの全体的な平面形状に対応した平面形状を有する凹所を備えたレジストが形成された。

【0194】

次に、レジストの凹所内に、ニッケルからなるプローブ材料を、電鋳法（電気メッキ法）により堆積した。そして、凹所内の犠牲層上に固着するように、プローブ、第１の連結部および固定タブを形成した。

【0195】

次に、レジストを除去し、犠牲層のウエットエッチング処理を行った。そして、このエッチング処理により、犠牲層の一部を残してその残部を除去し、その残存する犠牲層の一部によって基台上に支持されたプローブおよび固定タブを形成した。基台上のプローブおよび固定タブは、図６に示す構造を有する。すなわち、プローブは、固定タブの第１の支持板下の第１の支持点である犠牲層部分および第２の支持板下の第２の支持点である犠牲層部分を用い、基台上に保持された構造となる。

【0196】

次に、ピンセットを用いてプローブを下から保持し、これを全体的に持ち上げることにより第１の連結部で折り、プローブを固定タブから分離することで基台から取り外し、プローブを製造した。

【0197】

以上のプローブを製造する実施例において、製造途中のプローブの基台からの落下率は、２．１％と小さな値であった。

【0198】

次に、製造工程の途中段階で製造される基台上のプローブと固定タブが、図７に示したものとなるようにした以外は上述の例と同様の方法に従い、プローブを製造した。製造途中のプローブの基台からの落下率は、１．６％と小さな値であった。

【0199】

次に、製造工程の途中段階で製造される基台上のプローブと固定タブが、図８に示したものとなるようにした以外は上述の例と同様の方法に従い、プローブを製造した。製造途中のプローブの基台からの落下率は、２．１％と小さな値であった。

【0200】

次に、比較例として、製造工程の途中段階で製造される基台上のプローブと固定タブが、図１に示したものとなるようにした以外は上述の例と同様の方法に従い、プローブを製造した。尚、プローブの形状は、図３に示したものと同様とした。その結果、製造途中のプローブの基台からの落下率は、４．５％となり、上述の本発明の実施例と比べて大きな値であった。

【0201】

尚、本発明は上記各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、種々変形して実施することができる。

【産業上の利用可能性】

【0202】

本発明によれば、高い生産性でプローブの製造を行うことができ、高い生産性で電気的接続装置を製造することができる。したがって、本発明の電気的接続装置は、生産性の向上が強く求められる民生用の電子機器に用いられる半導体装置の検査に特に有効である。

【符号の説明】

【0203】

１０ プローブ組立体
１２ 配線基板
１２ａ 下面
１４ プローブ基板
１４ａ 面
１６、１００１ プローブ
２２ 本体部
２２ａ 取り付け端
２４ アーム部
２４ａ、２４ｂ アーム部分
２６ 針先部
２６ａ 針先
２８、３０、４６０、７６０ 開口部
３２、１００５ 基台
３４、５３４、６３４、７３４ 第１の連結部
３４ａ 脆弱部分
３６、３６−２、３６−３、１３６、２３６、３３６、４３６、５３６、６３６、７３６、１００２ 固定タブ
４２ 犠牲層
４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ、４２ｅ、４２ｆ、４２ｇ 犠牲層部分
４６ レジスト
４６ａ 凹所
５１、１５１、３５１、４５１、５５１、６５１、７５１ 第１の支持板
５２、５２−２、５２−３、１５２、３５２、５５２ 第２の連結部
５３、１５３、３５３、５５３ 第２の支持板
１６１、１６１−２ 第３の連結部
１６２ 第３の支持板
１００３ 支持部
１００４ 連結部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】