特許6069454急冷チャンバ、凝縮装置及び冷却方法

発明の名称　急冷チャンバ、凝縮装置及び冷却方法

出願人　エスディーシーマテリアルズ，　インコーポレイテッド　（識別番号 506352359）

　　　　特許公開件数ランキング 30460 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24686 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6069454

公報発行日　2017年2月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6069454

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