特許6069654被処理基板のプラズマ処理用載置台及びこれを用いたプラズマ処理装置

発明の名称　被処理基板のプラズマ処理用載置台及びこれを用いたプラズマ処理装置

出願人　ＳＰＰテクノロジーズ株式会社　（識別番号 511265154）

　　　　特許公開件数ランキング 12270 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3397 位（4件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6069654

公報発行日　2017年2月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6069654

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