特許6070297周期表第１３族金属窒化物半導体結晶の製造方法

発明の名称　周期表第１３族金属窒化物半導体結晶の製造方法

出願人　三菱化学株式会社　（識別番号 5968）

　　　　特許公開件数ランキング 30447 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24615 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6070297

公報発行日　2017年2月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6070297

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