特許第6071611号(P6071611)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6071611オリエンテーションフラット等切り欠き部を有する、結晶材料から成るウエハの周縁を、研磨テープを使用して研磨することにより円形ウエハを製造する方法
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