特許 6075663 中継装置、搬送装置及び検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】6075663

(24)【登録日】2017年1月20日

(45)【発行日】2017年2月8日

(54)【発明の名称】中継装置、搬送装置及び検査装置

(51)【国際特許分類】

   B65G 47/91 20060101AFI20170130BHJP

   G01R 31/26 20140101ALI20170130BHJP

   B65G 47/86 20060101ALI20170130BHJP

【ＦＩ】

   B65G47/91 A

   G01R31/26 Z

   B65G47/86 G

【請求項の数】10

【全頁数】16

(21)【出願番号】特願2015-242087(P2015-242087)

(22)【出願日】2015年12月11日

【審査請求日】2016年2月15日

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】591048070

【氏名又は名称】上野精機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100081961

【弁理士】

【氏名又は名称】木内 光春

(72)【発明者】

【氏名】東 晋平

【審査官】 八板 直人

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０２−２９５８１４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−１８４１６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０８−１０８９２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１１６６２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０９−２５７８７３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｇ ４７／００−４７／２０；４７／８０；

４７／８４−４７／８６；４７／９０−４７／９６

Ｇ０１Ｒ ３１／２６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

電子部品を一列で搬送する搬送経路の搬送端と、電子部品を保持及び離脱させる２個の保持部を有し、２個の電子部品を一括して同時に処理する処理ユニットに電子部品を受け渡す保持装置との間に設けられ、電子部品の列の延長線に交差する直線方向に移動する移動体を有し、
前記移動体に、電子部品が一つずつ載置される載置部が、２個設けられ、
前記２個の載置部は、前記移動体の移動に従って前記搬送端に順次位置決めされることにより、前記搬送端から一つずつ受け取った電子部品を前記２個の保持部に一括で渡し、又は前記２個の保持部から一括で受け取った電子部品を前記搬送端に一つずつ渡し、
前記移動体は、
前記搬送経路の搬送端に、前記載置部のうち一方が対向する位置と、前記載置部のうち他方が対向する位置との間を往復移動し、
前記搬送経路の搬送端に接する受取位置と、前記保持部の直下に前記載置部に載置された前記電子部品が来る受渡位置との間を往復移動する
ことを特徴とする中継装置。

【請求項2】

前記２個の載置部は、前記移動体の移動方向と平行な方向に並べて配置されていることを特徴とする請求項１記載の中継装置。

【請求項3】

前記２個の載置部は、前記電子部品の方向を、同じ方向に揃える整列部を有することを特徴とする請求項１又は２記載の中継装置。

【請求項4】

前記移動体は、前記載置部間の前記電子部品の移動を規制する仕切部を有することを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の中継装置。

【請求項5】

前記載置部に前記電子部品を１つずつ吸引保持する吸引部と、
前記搬送端において、前記載置部に吸引保持される電子部品以外の電子部品の移動を抑制するストッパ部と、
を有することを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の中継装置。

【請求項6】

前記移動体は、単一のブロックにより形成され、
前記ブロックには、前記保持部側と前記搬送端側に、電子部品が移動する開口が形成されていることを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の中継装置。

【請求項7】

請求項１乃至６の何れかに記載の中継装置と、
回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転する回転体と、
を有し、
前記回転体に、前記保持装置が、前記回転軸周りに間欠回転の間隔と同間隔で複数配置されていることを特徴とする搬送装置。

【請求項8】

請求項７記載の搬送装置を有し、
前記回転体における前記保持装置の何れかの停止位置に、２個の電子部品を一括して処理する処理ユニットが配置されていることを特徴とする検査装置。

【請求項9】

前記処理ユニットは、加熱された電子部品の電気特性を検査する電気特性検査ユニットを含み、
前記電気特性検査ユニットは、前記保持部によって２個の電子部品が同時に搭載され、同時にピックアップされる加熱テーブルを有することを特徴とする請求項８記載の検査装置。

【請求項10】

電子部品を一列で搬送する搬送経路の搬送端と、電子部品を保持及び離脱させるＮ（Ｎ≧３）個の保持部を有し、Ｎ個の電子部品を一括して同時に処理する処理ユニットに電子部品を受け渡す保持装置との間に設けられ、
電子部品の列の延長線に交差する直線方向に移動する移動体を有し、
前記移動体に、電子部品が一つずつ載置される載置部が、Ｎ個設けられ、
前記Ｎ個の載置部は、前記移動体の移動に従って前記搬送端に順次位置決めされることにより、前記搬送端から一つずつ受け取った電子部品を前記Ｎ個の保持部に一括で渡し、又は前記Ｎ個の保持部から一括で受け取った電子部品を前記搬送端に一つずつ渡し、
前記移動体は、
前記保持装置の保持部の配置方向と平行な方向に並べて配置された前記Ｎ個の載置部のいずれかが、前記移動体の移動に従って前記搬送経路の搬送端に順次位置決めされるように前記保持装置の保持部の配置方向に対して平行移動し、
前記搬送経路の搬送端に接する受取位置と、前記保持部の直下に前記載置部に載置された前記電子部品が来る受渡位置との間を往復移動する
ことを特徴とする中継装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、電子部品の中継装置、搬送装置及び検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

電子部品の多様化及び高性能化が進む近年、テストハンドラなどの電子部品の検査装置に対しては、生産効率を高めることが求められている。例えば、半導体の複合検査装置であるテストハンドラでは、電子部品に対して、電気特性テスト、外観検査、捺印など複数の処理を実施する。

【0003】

このようなテストハンドラの生産効率を高めるためには、まず、これらの処理を高速化することが考えられる。しかし、検査性能の維持のためには、検査に一定の時間をかける必要があるため、検査時間の短縮化には限界がある。また、電子部品の搬送速度の高速化も考えられる。しかし、搬送時間には、検査時間や電子部品の位置決め時間も含まれることから、大幅な短縮化には限界がある。

【0004】

例えば、間欠回転するターンテーブルにより、電子部品を搬送する搬送装置の場合を考える。この場合の搬送時間は、間欠回転するターンテーブルが、回転している時間と停止している時間の和である。停止している時間には、電子部品を検査ユニットに位置決めしている時間と、検査ユニットで検査している時間が含まれる。位置決め時間を短縮すると、処理精度の低下を招き易い。つまり、ターンテーブルの回転速度を速めても、位置決め時間や検査時間の短縮が見込めないため、高速化には限界があった。

【0005】

これに対処するため、特許文献１に示すように、２本の吸着ノズルを有する保持ユニットを、ターンテーブルＴの外周に沿って等間隔離間して、複数取り付けた搬送機構が開示されている。この搬送機構は、２本の吸着ノズルによって２つの電子部品を同時並行に搬送し、検査等を行うことができるので、生産効率を高めることができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０１２−１１６６２１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、上記のような搬送機構では、２本の吸着ノズルに、それぞれ電子部品を供給する２台のフィーダユニットを配置する必要があった。フィーダユニットは、非常に高価である上に、占有面積が大きい。このため、２つの電子部品を同時搬送、同時検査することにより生産効率を高めることはできても、装置は高価となり、設置スペースも大きくなってしまう。

【0008】

本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたもので、生産効率を高めつつ、安価で設置スペースが小さい中継装置、搬送装置及び検査装置を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記のような課題を解決するため、本発明の中継装置は、電子部品を一列で搬送する搬送経路の搬送端と、電子部品を保持及び離脱させる２個の保持部を有し、２個の電子部品を一括して同時に処理する処理ユニットに電子部品を受け渡す保持装置との間に設けられ、電子部品の列の延長線に交差する直線方向に移動する移動体を有し、前記移動体に、電子部品が一つずつ載置される載置部が、２個設けられ、前記２個の載置部は、前記移動体の移動に従って前記搬送端に順次位置決めされることにより、前記搬送端から一つずつ受け取った電子部品を前記２個の保持部に一括で渡し、又は前記２個の保持部から一括で受け取った電子部品を前記搬送端に一つずつ渡し、前記移動体は、前記搬送経路の搬送端に、前記載置部のうち一方が対向する位置と、前記載置部のうち他方が対向する位置との間を往復移動し、前記搬送経路の搬送端に接する受取位置と、前記保持部の直下に前記載置部に載置された前記電子部品が来る受渡位置との間を往復移動することを特徴とする。

【0010】

前記２個の載置部は、前記移動体の移動方向と平行な方向に並べて配置されていてもよい。前記２個の載置部は、前記電子部品の方向を、同じ方向に揃える整列部を有していてもよい。前記移動体は、複数の前記載置部間の移動を規制する仕切部を有していてもよい。

【0011】

前記載置部に前記電子部品を１つずつ吸引保持する吸引部と、前記搬送端において、前記載置部に吸引保持される電子部品以外の電子部品の移動を抑制するストッパ部とを有していてもよい。

【0012】

前記移動体は、単一のブロックにより形成され、前記ブロックには、前記保持部側と前記搬送端側に、電子部品が移動する開口が形成されていてもよい。

【0013】

本発明の搬送装置は、前記中継装置と、回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転する回転体と、を有し、前記回転体に、前記保持装置が、前記回転軸周りに間欠回転の間隔と同間隔で複数配置されていることを特徴とする。

【0014】

本発明の検査装置は、前記搬送装置を有し、前記保持部の回転体の何れかの停止位置に、２個の電子部品を一括して処理する処理ユニットが配置されていることを特徴とする。前記処理ユニットは、加熱された電子部品の電気特性を検査する電気特性検査ユニットを含み、前記電気特性検査ユニットは、前記保持部によって２個の電子部品が同時に搭載され、同時にピックアップされる加熱テーブルを有していてもよい。

【0015】

なお、本発明の他の態様の中継装置は、電子部品を一列で搬送する搬送経路の搬送端と、電子部品を保持及び離脱させるＮ（Ｎ≧３）個の保持部を有し、Ｎ個の電子部品を一括して同時に処理する処理ユニットに電子部品を受け渡す保持装置との間に設けられ、電子部品の列の延長線に交差する直線方向に移動する移動体を有し、前記移動体に、電子部品が一つずつ載置される載置部が、Ｎ個設けられ、前記Ｎ個の載置部は、前記移動体の移動に従って前記搬送端に順次位置決めされることにより、前記搬送端から一つずつ受け取った電子部品を前記Ｎ個の保持部に一括で渡し、又は前記Ｎ個の保持部から一括で受け取った電子部品を前記搬送端に一つずつ渡し、前記移動体は、前記保持装置の保持部の配置方向と平行な方向に並べて配置された前記Ｎ個の載置部のいずれかが、前記移動体の移動に従って前記搬送経路の搬送端に順次位置決めされるように前記保持装置の保持部の配置方向に対して平行移動し、前記搬送経路の搬送端に接する受取位置と、前記保持部の直下に前記載置部に載置された前記電子部品が来る受渡位置との間を往復移動することを特徴とする。

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、移動体の移動に従って、一列の電子部品を２箇所に振り分け又は２箇所の電子部品を一列にまとめることができるので、供給側、排出側に複数のユニットを設ける必要がなくなり、生産効率を高めつつ、安価で設置スペースが小さい中継装置、搬送装置及び検査装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本実施形態の検査装置の全体構成を示す簡略平面図である。

【図2】保持装置を示す側面図である。

【図3】加熱テーブルの載置手順例を示す説明図である。

【図4】中継装置における移動体の吸引部を示す説明図である。

【図5】中継装置の中継動作を示す説明図である。

【図6】中継装置の中継動作の他の例を示す説明図である。

【0018】

以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。本実施形態は、電子部品を搬送する搬送装置と、供給装置と搬送装置との間で電子部品を中継する中継装置、この搬送装置及び中継装置を用いた検査装置である。

【0019】

図１は、検査装置１の概略構成を示す平面図、図２は、保持装置２２の側面図、図３は、加熱テーブルの説明図、図４は中継装置５の平面図（Ａ）、側面図（Ｂ）、図５は中継装置５の動作説明図である。

【0020】

［電子部品］
本実施形態の検査対象となる電子部品は、電気製品に使用される部品であり、半導体素子等がパッケージングされてなる。半導体素子としては、トランジスタやダイオードやコンデンサや抵抗等のディスクリート半導体や集積回路等が挙げられる。

【0021】

［全体構成］
検査装置１は、図１に示すように、搬送装置２及び処理ユニット３を有する。搬送装置２は、電子部品Ｗを回転搬送する装置である。搬送装置２は、図１及び図２に示すように、回転体２１、保持装置２２を有する。回転体２１は、回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転する。保持装置２２は、電子部品Ｗを保持する装置である。保持装置２２は、回転体２１の回転軸周りに、間欠回転の間隔と同間隔で複数配置される。

【0022】

処理ユニット３は、回転体２１の周囲の停止位置に配置され、電子部品Ｗに各種の処理を行う装置である。この処理ユニット３は、２個の電子部品Ｗを一括して検査する検査ユニットを含む。

【0023】

さらに、検査装置１には、供給装置４、中継装置５が設けられている。供給装置４は、電子部品Ｗを一つずつ供給する装置である。供給装置４は、電子部品Ｗが一列で搬送される搬送経路４１を有する。

【0024】

中継装置５は、搬送経路４１の搬送端４１ａと、保持装置２２との間に設けられ、搬送端４１ａから保持装置２２へと電子部品Ｗを中継する装置である。以下、各装置の構成を詳説する。

【0025】

［搬送装置］
（回転体）
回転体２１は、ターンテーブルである。ターンテーブルは、水平な円盤状の部材である。回転体２１は、図示しない駆動源によって間欠回転する。駆動源は、例えば、ダイレクトドライブモータである。つまり、回転体２１の回転軸は、下方に配置されたダイレクトドライブモータの駆動軸で支持されており、ダイレクトドライブモータの作動に伴って間欠回転がなされる。

【0026】

（保持装置）
保持装置２２は、図２に示すように、２個の保持部２２１，２２２を有する。保持部２２１、２２２は、それぞれ電子部品Ｗを１個ずつ保持する部材である。保持部２２１、２２２は、例えば、回転体２１の下方に鉛直方向に伸びた２本の吸着ノズルである。

【0027】

吸着ノズルは、下方に向かう先端が開口した中空状の筒である。吸着ノズルの内部は、図示しない真空発生装置の空気圧回路に、チューブを介して連通している。このため、吸着ノズルは、真空発生装置による負圧の発生によって先端に電子部品Ｗを吸着し、真空破壊又は正圧の発生によって先端から電子部品Ｗを離脱させる。

【0028】

保持部２２１、２２２の上部は、回転体２１の下部に、支持部２２３により支持固定されている。保持部２２１、２２２は、Ｚ軸機構２２４により、回転体２１の回転平面に垂直な上下方向に、個別に移動可能に設けられている。Ｚ軸機構としては、シリンダ、カムとスプリングによるカム機構等、種々のものが適用可能である。

【0029】

複数の保持部装置２２の配置間隔は、回転体２１の間欠回転の１ピッチと等しい。また、２つの保持部２２１、２２２は、平面方向から見て、回転体２２の回転軸周りの円周の接線上に並んでいる。図１の例では、保持装置２２は１２個設けられており、保持部２２２、２２３は合計２４個ある。

【0030】

このような搬送装置２では、保持部２２１、２２２によって、電子部品Ｗを保持しつつ、回転体２１を間欠回転させることにより、電子部品Ｗが搬送される。また、この間欠回転における停止位置において、処理ユニット３による処理が行われる。

【0031】

（処理ユニット）
処理ユニット３は、図１に示すように、回転体２１の周囲における停止位置に配置されている。これらの処理ユニット３には、２個の電子部品を一括して同時に処理する装置が含まれる。本実施形態は、処理ユニットとして、回転体２１の回転方向に順に、裏面外観検査ユニット３１、排出ユニット３２、上面外観検査ユニット３３、方向変換ユニット３４、常温テストユニット３５ａ、３５ｂ、分類ユニット３６、高温テストユニット３７、分類ユニット３８、良品回収ユニット３９を有する。

【0032】

裏面外観検査ユニット３１は、２つの電子部品Ｗの裏面を同時に検査するユニットである。裏面外観検査ユニット３１は、カメラによって電子部品Ｗを撮影し、撮影した画像を解析することにより、表面の傷や汚れの有無、吸着位置の不良の有無を検出する。

【0033】

排出ユニット３２は、裏面外観検査ユニット３１の検査結果が不良とされた電子部品Ｗを容器に排出するユニットである。排出ユニット３２の容器の上部に到着した保持部２２１、２２２は、不良とされた電子部品Ｗを離脱する。

【0034】

上面外観検査ユニット３３は、２つの電子部品Ｗの上面を同時に検査するユニットである。上面外観検査ユニット３３は、カメラによって電子部品Ｗを撮影し、撮影した画像から電極の方向を確認する。裏面に電極がある場合には、上面のマークを撮影し、電極の方向を確認する。

【0035】

方向変換ユニット３４は、後続の特性検査のために、２つの電子部品Ｗの方向を変換するユニットである。方向変換ユニット３４は、２つの電子部品Ｗを載置する２つのＸＹθステージを有する。各ＸＹθステージは、ステージ平面に沿った直交２軸方向に移動し、またステージ平面と垂直な軸で回転する。

【0036】

方向変換ユニット３４は、保持部２２１、２２２から渡された２つの電子部品ＷをＸＹθステージに載置し、ＸＹθステージを移動及び回転させることで、電子部品Ｗの向き及び位置を変換する。方向変換ユニット３４は、電子部品Ｗを撮像するカメラを備えており、画像内の電子部品Ｗの向き及び位置を解析して、ＸＹθステージの移動量及び回転量を制御する。本実施形態においては、方向変換ユニット３４は、電子部品Ｗを回転体２１の回転軸を中心とする同心円の接線方向から、半径に平行な方向に変換する。図１の回転体２１の内円の内側に記載された電子部品Ｗは、電子部品Ｗの搬送位置ではなく、電子部品Ｗの方向を示している。

【0037】

常温テストユニット３５ａ、３５ｂは、常温で電子部品Ｗの電気特性を測定する電気特性測定ユニットである。この電気特性測定ユニットは、２つの電子部品Ｗの電極にそれぞれ電気的に接触するコンタクトを有し、２つの電子部品Ｗに電圧印加又は電流注入を行うことにより、電気特性を検査する。電気特性は、電子部品Ｗへの電流注入又は電圧印加に対する電圧、電流、抵抗、又は周波数、ロジック信号に対する出力信号等である。２つの常温テストユニット３５ａ、３５ｂは、これらの電気特性の何れかを分担して行う。

【0038】

分類ユニット３６は、常温テストユニット３５ａ、３５ｂの測定結果に応じて、電子部品Ｗを分類し、それぞれを別箇の容器に排出するユニットである。この分類ユニット３６は、保持部２２１、２２２から離脱した電子部品Ｗの排出経路を、複数の分類に応じて用意された容器に振り分けるシフト機構を有している。

【0039】

高温テストユニット３７は、高温で、２つの電子部品Ｗの電気特性を測定する電気特性測定ユニットである。この電気特性測定ユニットは、加熱テーブル３７ａと測定部３７ｂを有する。加熱テーブル３７ａは、加熱源を有し、載置された電子部品Ｗを加熱する回転テーブルである。加熱テーブル３７ａは駆動源により間欠回転する。加熱テーブル３７ａには、図３に示すように、保持部２２１、２２２の間隔ｄと同等の間隔となる部分を含むポケットＰが、円周等配位置に設けられている。多数の電子部品Ｗの加熱時間を確保するために、隣接するポケットＰの間隔は、保持部２２１、２２２の間隔よりも狭くてもよい。但し、保持部２２１、２２２から同時にポケットＰに載置された２つの電子部品Ｗは、同時にピックアップされるように、ポケットＰが配置され、加熱テーブル３７ａの間欠回転のタイミングが設定される。測定部３７ａは、２つの電子部品Ｗの電極に電気的に接触するコンタクトを有し、加熱テーブル３７ａで加熱された電子部品Ｗに電圧印加又は電流注入を行い、電気特性を測定する測定部３７ａを有している。測定する電気特性は、上記の常温の場合と同様である。

【0040】

分類ユニット３８は、高温テストユニット３７の測定結果に応じて、電子部品Ｗを分類してそれぞれを容器に排出するユニットである。この分類ユニット３８は、保持部２２１から離脱した電子部品Ｗの排出経路を、複数の分類に応じて用意された容器に振り分けるシフト機構を有している。

【0041】

良品回収ユニット３９は、良品の電子部品Ｗを容器に収納するユニットである。

【0042】

上記の処理ユニット３のうち、裏面外観検査ユニット３１、上面外観検査ユニット３３、方向変換ユニット３４、常温テストユニット３５ａ、３５ｂ、高温テストユニット３７は、２つの電子部品Ｗを一括で同時に処理するユニットである。

【0043】

（供給装置）
供給装置４は、電子部品Ｗを検査装置１に供給するパーツフィーダである。パーツフィーダは、円形の振動パーツフィーダと直線型の供給振動フィーダとを組み合わせて、電子部品Ｗを１列に整列させて連続的に供給する装置である。供給装置４は、直線状で電子部品Ｗの移動が一列となるように左右方向及び上下方向がガイドされる搬送経路４１を有している。搬送経路４１の搬送端４１ａは、回転体２１の外周近傍の直下まで伸びている。

【0044】

（中継装置）
中継装置５は、図４（Ａ）、（Ｂ）に示すように、移動体５１、載置部５２を有する。移動体５１は、供給装置４が電子部品Ｗを一列で搬送する搬送経路４１の搬送端４１ａと、保持装置２２との間に設けられている。移動体５１が、搬送端４１ａと保持装置２２との間に設けられているとは、搬送端４１ａが水平方向で隣接し、保持装置２２が上方に来る位置に設けられていることをいう。

【0045】

移動体５１は、搬送経路４１における電子部品Ｗの列の延長線上に交差する直線方向に移動する。移動体５１は、単一のブロックにより形成されている。このブロックは、例えば、回転体２１が取り付けられた基台に設けられた直方体形状の部材である。

【0046】

載置部５２は、電子部品Ｗが一つずつ載置される箇所である。載置部５２は、移動体５１に、保持部２２１、２２２と同数の２個設けられている。２個の載置部５２は、移動体５１の移動に従って搬送端４１ａに順次位置決めされ、搬送端４１ａから一つずつ受け取った電子部品Ｗを２個の保持部２２１、２２２に一括で渡す位置に配置されている（図５参照）。さらに、２個の載置部５２は、移動体５１の移動方向と平行な方向に並べて配置されている。つまり、２つの保持部２２１、２２２の先端の間隔ｄは、それぞれが２つの載置部５２に対向する間隔となっている。これにより、載置部５２に載置された電子部品Ｗを、２つの保持部２２１、２２２が一括で保持できる。

【0047】

より具体的には、各載置部５２は、直方体形状の移動体５１における供給装置４側の２つの隅が、高さ方向に縮厚された切り欠き部分である。各載置部５２の内底面は、電子部品Ｗが１つずつ載置される載置面５２ａとなっている。各載置部５２は、少なくとも搬送端４１ａに対向する側部と、保持部２２１、２２２に対向する上部とは、電子部品Ｗが通過できる開口となっている。

【0048】

移動体５１には、電子部品Ｗの変位を規制する規制部が設けられている。この規制部は、整列部５２ｂ、仕切部５２ｃを有する。整列部５２ｂは、２個の電子部品の方向を、同じ方向に揃える。仕切部５２ｃは、２個の載置部５２間の移動を規制する。より具体的には、整列部５２ｂ、仕切部５２ｃは、両載置部５２を構成する垂直方向の内壁面である。つまり、整列部５２ｂは、移動体５１の移動方向と平行な壁面である。仕切部５２ｃは、電子部品Ｗの搬送方向に平行な壁面である。

【0049】

移動体５１は、図示しない基台に設けられた駆動機構によりＸ軸及びＹ軸方向に移動可能に設けられている。Ｙ軸方向は、搬送経路４１における電子部品Ｗの列の延長線上に、水平方向に直交する直線方向である。Ｘ軸方向は、Ｙ軸方向に水平方向に直交する直線方向である。

【0050】

駆動機構は、軌道やガイドに沿ってスライド移動するＸ軸移動機構及びＹ軸移動機構を有する。移動体５１のＸ軸方向、Ｙ軸方向への駆動は、カムとバネを有するサーボ機構により構成できる。つまり、バネは移動体５１を一方向に付勢している。そして、サーボモータにより回動する偏心カムが、バネの付勢力に抗して逆方向に付勢する位置と、一方向へのバネの付勢力を働かせる位置との間で回動する。なお、両方向への駆動をカムにより行うこともできる。また、電磁ソレノイドによって進退するピンやプローブ等によって駆動する構成とすることもできる。

【0051】

移動体５１は、Ｙ軸方向に移動することにより、供給装置４の供給端に、一方の載置部５２が対向する位置と、他方の載置部５２が対向する位置との間を往復移動する。また、移動体５１は、Ｘ軸方向に移動することにより、供給装置４の供給端に接する受取位置と、保持部２２１、２２２の直下に載置部５２に載置された電子部品Ｗが来る受渡位置との間を往復移動する。

【0052】

中継装置５は、吸引部５３を有している。吸引部５３は、各載置部５２に電子部品Ｗを一つずつ吸引保持する。吸引部５３は、吸着孔５３ａ、通気経路５３ｂを有する。吸着孔５３ａは、載置部５２に形成されている。例えば、載置面５２ａにおける整列部５２ｂとの境界部分に形成されている。通気経路５３ｂは、吸着孔５３ａから移動体５１の外部まで連通している経路である。通気経路５３ｂは、真空発生装置の空気圧回路とチューブを介して連通している。このため、吸着孔５３ａは、真空発生装置による負圧の発生によって電子部品Ｗを吸着し、真空破壊又は正圧の発生によって吸着を停止する。

【0053】

一方、供給装置４における搬送経路４１の搬送端４１ａの近傍には、ストッパ部５４が設けられている。ストッパ部５４は、供給される電子部品Ｗ以外の電子部品Ｗの移動を抑制する装置である。

【0054】

ストッパ部５４は、基台における供給経路４１の直下に設けられた通気経路５４ａと、これに連通した真空発生装置の空気圧回路とチューブを有する。通気経路５４ａの上端は、搬送経路４１の下部に形成された吸着孔４１ｂに連通している。この吸着孔４１ｂは、搬送端４１aにおいて供給される電子部品Ｗの後続の電子部品Ｗに対応する位置に形成されている。

【0055】

［動作］
以上のような本実施形態の動作を説明する。なお、本実施形態の検査装置１は、図示しない制御装置によって、回転体２１を回転させるダイレクトドライブモータ、保持部２２１、２２２を昇降させるＺ軸機構２２４、電磁弁を含む真空発生装置及び各種の処理ユニット３に電気信号を送出することで、これらの動作タイミングを制御している。

【0056】

（全体動作）
検査装置１全体の動作を説明する。まず、中継装置５の載置部５２は、搬送経路４１から電子部品Ｗを一つずつ受け取る。そして、保持部２２１、２２２が、２個の電子部品Ｗを一括で保持する。この動作の詳細は、後述する。

【0057】

このように保持部２２１、２２２によって保持された２つの電子部品Ｗは、回転体２１の間欠回転の１ピッチずつ、同時に搬送される。

【0058】

２つの電子部品Ｗの裏面は、裏面外観検査ユニット３１によって、同時に外観検査される。検査結果が不良と判断された電子部品Ｗは、排出ユニット３２の上部で、保持部２２１、２２２から離脱して、容器に排出される。さらに、２つの電子部品Ｗは、上面外観検査ユニット３２によって、同時に電極の方向が確認される。

【0059】

そして、２つの電子部品Ｗは、図１に示すように、方向変換ユニット３４によって方向が変換される。次に、２つの電子部品Ｗは、常温テストユニット３５ａ、３５ｂによって、常温で電気特性を測定される。分類ユニット３６においては、常温テストユニット３５ａ、３５ｂにおける検査結果に応じて、電子部品Ｗが分類されて、各容器に排出される。

【0060】

２つの電子部品Ｗは、高温テストユニット３７の加熱テーブル３７ａに、同時に載置される。加熱テーブル３７ａは間欠回転しており、図３に示すように、保持部２２１、２２２に対応する位置に停止した２つのポケットＰに、順次載置される。例えば、図３における(1)、(2)、(3)、(4)、(5)といった順に、電子部品Ｗが載置されて行く。そして、同時に載置された２つの電子部品Ｗは、所定の加熱時間が経過したら保持部２２１、２２２によって同時に取り出され、検査部３７ｂにおいて測定検査される。

【0061】

分類ユニット３８においては、高温テストユニット３７の測定結果に応じて、電子部品Ｗが分類されて、各容器に排出される。さらに、残った良品の電子部品Ｗは、良品回収ユニット３９において離脱され、容器に収納される。

【0062】

（中継動作）
上記の搬送経路４１から保持部２２１、２２２への中継装置５による電子部品Ｗの中継動作を、図４に加えて、図５を参照して説明する。

【0063】

まず、移動体５１は、搬送経路４１の搬送端４１ａから離隔して、一方の載置部５２に対向する初期位置にある（［１］）。この初期位置から、移動体５１は搬送端４１ａに向かって移動して、載置部５２の開口が搬送端４１ａに接する（［２］）。

【0064】

そして、一列の搬送経路４１を経て搬送端４１ａまで搬送されて来た電子部品Ｗのうち、先頭の電子部品Ｗは、吸引部５３による負圧の発生により吸引される。このため、電子部品Ｗは載置部５２に移動して、吸着孔５３ａにより吸着保持される。電子部品Ｗは載置部５２の整列部５２ｂに当接することにより、移動体５１の移動方向と平行な方向に整列される。

【0065】

また、このとき、搬送経路４１における後続の電子部品Ｗは、ストッパ部５４の負圧制御によって吸着孔４１ｂに保持されている。このため、一つの電子部品Ｗのみが載置部５２に渡される。そして、移動体５１は、搬送端４１ａから離れる方向に移動して、初期位置に戻る（［３］）。

【0066】

次に、移動体５１は、電子部品Ｗの列方向の延長線上に直交する方向に移動して、搬送端４１ａに、他方の載置部５２が離隔して対向する位置に来る（［４］）。この位置から、移動体５１は搬送端４１ａに向かって移動して、載置部５２の開口が搬送端４１ａに接する（［５］）。

【0067】

そして、搬送端４１ａで待機していた後続の電子部品Ｗに対して、ストッパ部５４が、吸気停止又は正圧とするとともに、吸引部５３が負圧とする。このため、電子部品Ｗが吸引されて載置部５２に移動して、吸着孔５３ａにより吸着保持される。電子部品Ｗは載置部５２の整列部５２ｂに当接することにより、移動体５１の移動方向と平行な方向に整列される。つまり、２つの載置部５２の２つの電子部品Ｗは、同じ方向に整列される。また、仕切部５２ｃによって、電子部品Ｗの移動が規制される。

【0068】

なお、先頭の電子部品Ｗが移動するとともに、ストッパ部５４が負圧とするので、次の電子部品Ｗが吸着孔４１ｂに保持される。このため、一つの電子部品Ｗのみが載置部５２に渡される。

【0069】

次に、移動体５１は、搬送端４１ａから離れる方向に移動する（［６］）。このとき、２つの載置部５２は、保持部２２１、２２２の直下に来る。保持部２２１、２２２は、下降して、載置部５２にある２つの電子部品Ｗを保持して上昇する。これにより、通過ポジション５２から保持部２２に２つの電子部品Ｗが一括して渡される（［７］）。その後、移動体５１は、初期位置に戻る（［８］）。

【0070】

このような中継動作を繰り返すことにより、回転体２１により搬送される保持装置２２の保持部２２１、２２２に対して、順次、一括して電子部品Ｗが渡される。そして、保持部２２１に整列して保持された２つの電子部品Ｗに対して、上記のように搬送しながら、各種の処理が行われる。

【0071】

［作用効果］
以上のような本実施形態の中継装置５は、電子部品Ｗを一列で搬送する搬送経路４１の搬送端４１ａと、電子部品Ｗを保持及び離脱させる２個の保持部２２１、２２２を有する保持装置２２との間に設けられ、電子部品Ｗの列の延長線に交差する直線方向に移動する移動体５１を有する。移動体５１に、電子部品Ｗが一つずつ載置される載置部５２が２個設けられ、２個の載置部５２は、移動体５１の移動に従って搬送端４１ａに順次位置決めされることにより、搬送端４１ａから一つずつ受け取った電子部品Ｗを２個の保持部２２１、２２２に一括で渡す位置に配置されている。

【0072】

このため、一列で搬送されて来た電子部品Ｗを、２つの保持部２２１、２２２に一括で渡すことができる。このため、供給装置４を２台設ける必要がなくなり、所要スペースを大幅に削減することができる。また、２つの保持部２２１、２２２に電子部品Ｗを一括で渡すことができるので、搬送手段によって一つの電子部品を受け取る毎に一つの保持部２２１、２２２への渡しを行う場合に比べて、処理速度を向上させることができる。また、移動体５１の移動と位置決めのための構成を簡素化することができる。

【0073】

複数の載置部５２は、移動体５１の移動方向と平行な方向に並べて配置されている。このため、移動体５１の移動に従って、一定方向の配列で電子部品Ｗを受け取ることができる。

【0074】

複数の載置部５２は、２個の電子部品Ｗの方向を、同じ方向に揃える整列部５２ｂを有する。このため、２個の電子部品Ｗを、保持部２２１、２２２に同じ方向に揃えて渡すことができる。

【0075】

移動体５１は、複数の載置部５２間の移動を規制する仕切部５２ｃを有する。このため、２つの電子部品Ｗの位置ズレが防止される。

【0076】

また、本実施形態は、載置部５２に電子部品Ｗを１つずつ吸引保持する吸引部５３と、搬送端４１ａにおいて、受け取る電子部品Ｗ以外の電子部品Ｗの移動を抑制するストッパ部５４とを有する。このため、電子部品Ｗを載置部５２に対して１つずつ確実に保持することができるとともに、後続の電子部品Ｗから確実に切り分けることができる。

【0077】

また、本実施形態の搬送装置２は、回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転する回転体２１を有し、回転体２１に、保持装置２２１が、回転軸周りに間欠回転の間隔と同間隔で複数配置されている。そして、回転体２１における保持装置２２１の何れかの停止位置に、２個の電子部品Ｗを一括して処理する処理ユニット３が配置された検査装置１が構成されている。

【0078】

このため、中継装置５から一括で渡される２つの電子部品を、搬送装置２により搬送しながら、処理ユニット３によって一括で処理することができる。つまり、中継装置５以降の工程を、２個並列で同時処理することができるので、測定条件の均一化と高速処理の両立が可能となる。例えば、加熱テーブル３７ａへの載置と取り出しを、２個の電子部品Ｗで同じタイミングとすることができる。従って、２個の電子部品Ｗの加熱時間が一定となり、測定条件が揃うので、正確な検査が可能となる。

【0079】

［変形例］
載置部５２は、電子部品Ｗを一つずつ載置できればよいため、必ずしも整列部５２ｂ、仕切部５２ｃを設ける必要はない。例えば、吸引部５３による吸引によって保持され、移動が規制されるのであれば、平坦面若しくは緩やかに窪んだ受け皿形状としてもよい。

【0080】

一方、吸引部５３による吸引を省略することもできる。例えば、移動体５１が搬送端４１ａに接した後、搬送装置２から振動等により送り出された一つの電子部品Ｗが、載置部５２に嵌まり込んだ後、移動体２１が、列に交差する方向に移動することにより、電子部品Ｗを掻き取って後続する電子部品Ｗから切り分ける構成とすることも可能である。

【0081】

また、ストッパ部５４については、上記の態様には限定されず、機械的なシャッターとしたり、エアの吹き出しによるエアカーテンとすることもできる。

【0082】

また、中継装置５は、複数の電子部品Ｗを一括して受け取り、搬送経路４１の搬送端４１ａに一列で渡すこともできる。つまり、２個の載置部５２を、移動体５１の移動に従って搬送端４１ａに順次位置決めされることにより、２個の保持部２２１、２２２から一括で受け取った電子部品Ｗを搬送端４１ａに一つずつ渡す位置に配置してもよい。

【0083】

例えば、図６の［１］に示す初期状態にある移動体５１が、［２］に示すように保持部２２１、２２２からの受け取り位置に移動する。そして、［３］に示すように保持部２２１、２２２から、２個の載置部５２に、２個の電子部品Ｗを一括で受け取る。受け取った電子部品Ｗは、［４］〜［７］に示すように、移動体５１の移動により、載置部５２が搬送端４１ａに位置決めされる毎に、搬送端４１ａに渡される。渡された電子部品Ｗは、振動、傾斜等により移動する。

【0084】

渡し時には、ストッパ部５４を負圧として、吸引部５３を正圧とすることにより、電子部品Ｗは載置部５２から搬送端４１ａに移動する。このような搬送経路４１としては、テーピングユニットへの導入経路とすることが考えられる。これにより、テーピングユニットを複数設ける必要がなくなり、設置スペース、コストを低減できる。

【0085】

また、電子部品Ｗの保持部２２１、２２２としては、真空の発生及び破壊又は正圧の発生により電子部品Ｗを吸着及び離脱させる吸着ノズルの他、静電吸着方式、ベルヌーイチャック方式、又は電子部品Ｗを機械的に挟持するチャック機構を配してもよい。

【0086】

載置部５２の数、保持部２２１、２２２の数、これらの間隔に対応する間隔となるポケットＰの数は、Ｎ（Ｎ≧３）であってもよく、以下のような態様も構成可能である。中継装置５が、電子部品Ｗを一列で搬送する搬送経路４１ａの搬送端４１ａと、電子部品Ｗを保持及び離脱させるＮ（Ｎ≧３）個の保持部２２１、２２２…を有する保持装置２２との間に設けられ、電子部品Ｗの列の延長線に交差する直線方向に移動する移動体５１を有する。移動体５１に、電子部品Ｗが一つずつ載置される載置部５２が、Ｎ個設けられ、Ｎ個の載置部５２は、移動体５１の移動に従って搬送端４１ａに順次位置決めされることにより、搬送端４１ａから一つずつ受け取った電子部品ＷをＮ個の保持部２２１、２２２…に一括で渡し、又はＮ個の保持部２２１、２２２…から一括で受け取った電子部品Ｗを搬送端に一つずつ渡す。

【0087】

この場合、Ｎ個の載置部５２は、移動体５１の移動方向と平行な方向に並べて配置されていてもよい。Ｎ個の載置部５２は、電子部品Ｗの方向を、同じ方向に揃える整列部５２ｂを有していてもよい。移動体５１は、複数の載置部５２間の移動を規制する仕切部５２ｃを有していてもよい。

【0088】

また、検査装置２についても、回転体２１における保持装置２２の何れかの停止位置に、Ｎ個の電子部品Ｗを一括して処理する処理ユニット３が配置されていてもよい。さらに、処理ユニット３は、加熱された電子部品Ｗの電気特性を検査する高温テストユニット３７を含み、高温テストユニット３７は、Ｎ個の保持部２２１、２２２…によってＮ個の電子部品Ｗが同時に搭載され、同時にピックアップされる加熱テーブル３７ａを有していてもよい。

【0089】

つまり、載置部５２は、２個には限定されず、３個以上であってもよく、これによって、生産効率をより一層高めることができる。なお、回転体２１より同時処理できる処理ユニット３の配置数等を考慮すると、２個が好ましい。

【0090】

さらに、検査装置１に含まれる各種の処理ユニット３の種類や数、配置順序などは適宜変更可能である。例えば、上記で例示したものの他、接着剤塗布、不良品の強制排出、基板への実装、加熱又は冷却といった温度調整、電子部品Ｗから延びる端子の形状加工、マーキング等、その他各種の処理ユニット３を設けることができる。

【0091】

つまり、これらの処理ユニット３や処理の内容は、一例を示すものに過ぎず、製品仕様やユーザの目的等に応じて適宜変更がなされるものであり、本発明の必須の構成要素ではない。さらに、例えば、搬送装置２は、直線搬送方式であってもよく、また複数のターンテーブルで一の搬送経路を構成するようにしてもよい。例えば、直線搬送方式の場合に、上記のＮ個の載置部５２の態様を適用することが考えられる。但し、一つの回転体２１に処理ユニット３を配置した場合には、２個の電子部品Ｗを同時搬送する搬送装置２が好ましい。

【0092】

［その他の実施形態］
以上のように本発明の各実施形態及び変形例を説明したが、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更、組み合わせを行うことができる。そして、これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0093】

１ 検査装置
２ 搬送装置
２１ 回転体
２２ 保持装置
２２１、２２２ 保持部
２２３ 支持部
２２４ Ｚ軸機構
３ 処理ユニット
３１ 裏面外観検査ユニット
３２ 排出ユニット
３３ 上面外観検査ユニット
３４ 方向変換ユニット
３５ａ、３５ｂ 常温テストユニット
３６ 分類ユニット
３７ 高温テストユニット
３７ａ 加熱テーブル
３７ｂ 検査部
３８ 分類ユニット
３９ 良品回収ユニット
４ 供給装置
４１ 搬送経路
４１ａ 搬送端
４１ｂ 吸着孔
５ 中継装置
５１ 移動体
５２ 載置部
５２ａ 載置面
５２ｂ 整列部
５２ｃ 仕切部
５３ 吸引部
５３ａ 吸着孔
５３ｂ 通気経路
５４ ストッパ部
５４ａ 通気経路
Ｐ ポケット

【要約】

【課題】生産効率を高めつつ、安価で設置スペースが小さい中継装置、搬送装置及び検査装置を提供する。
【解決手段】中継装置５は、電子部品Ｗを一列で搬送する搬送経路４１の搬送端４１ａと、電子部品Ｗを保持及び離脱させる２個の保持部２２１、２２２を有する保持装置２２との間に設けられ、電子部品Ｗの列の延長線に交差する直線方向に移動する移動体５１を有する。移動体５１に、電子部品Ｗが一つずつ載置される載置部５２が２個設けられ、２個の載置部５２は、移動体５１の移動に従って搬送端４１ａに順次位置決めされることにより、搬送端４１ａから一つずつ受け取った電子部品Ｗを２個の保持部２２１、２２２に一括で渡す位置に配置されている。
【選択図】図４

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】