特許6076739誘電体バリア式のプラズマ処理のための電極装置、および表面のプラズマ処理のための方法

発明の名称　誘電体バリア式のプラズマ処理のための電極装置、および表面のプラズマ処理のための方法

出願人　シノギー・ゲーエムベーハー　（識別番号 512158435）

　　　　特許公開件数ランキング 30460 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24686 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6076739

公報発行日　2017年2月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6076739

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